A graphite boat feeding device and feeding method, device including manipulator, tray, telescopic rod and the rack, manipulator is connected with a bracket, a tray along the direction away from the graphite boat is equipped with bearing area, the first and second hinge hinge, the first hinge part and the bracket is articulated with the lower end of the second. The hinged part and the telescopic rod are hinged, and the upper end of the upper part of the bracket is hinged telescopic rod. The method comprises a bearing clearance step S1, mechanical hand motion to support the movement of the tray area is located above the graphite boat; S2, a telescopic rod contraction tray around the first hinge part is rotated downward, bearing movement to the graphite boat side; S3, mechanical hand moving tray vertical downward movement to the supporting area is located in the side below S4, bearing clearance; the telescopic link extends around the first hinge part, the tray rotates upward into the bearing clearance in the bearing area; S5, mechanical hand moving tray vertical movement will leave the boat from the graphite boat picked up position. The invention can successfully grab Shi Mozhou when the horizontal movement space is insufficient.
【技术实现步骤摘要】
一种石墨舟上下料装置及其上下料方法
本专利技术涉及太阳能硅电池片生产技术,尤其涉及一种石墨舟上下料装置及其上下料方法。
技术介绍
PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition,等离子体增强化学气相淀积设备)是太阳能硅电池片生产线上最重要的工艺设备之一,通过该设备可在硅电池片上镀一层抗反射膜,从而达到提高电池片效率的目的。石墨舟是工艺过程中硅电池片的承载工具,硅电池片通过自动插\取片机(自动插\取片机是实现硅电池片生产自动化的又一重要设备,用于硅片插放和取出石墨舟,实现硅片在花篮和石墨舟之间互换)装入石墨舟,再通过PECVD的自动上下料系统将石墨舟转移至推舟系统,推舟系统最终将石墨舟传输至反应炉管内。工艺完成后,再执行相反的传输过程,将完成工艺过程后的硅电池片取出。如附图1所示,传统的石墨舟自动上下料系统的主要工作过程为:机械手(图中未标示)带动托盘1从水平方向进入石墨舟2两端的承托间隙21中,通过机械手的向上动作将石墨舟2拾起,石墨舟2脱离取舟位置后,机械手运动至放舟目标位置,然后机械手向下运动将石墨舟2落下,最后机械手带动托盘1水平反向运动,退出承托间隙21。现有的硅电池片生产线上,自动插\取片机和PECVD之间的石墨舟2传送,需要生产人员操作载舟小车来实现。随着技术的不断进步,为了实现硅电池片生产线的自动化、提高生产效率,要求实现PECVD设备和自动插\取片机之间石墨舟2的自动传输,为此需要在PECVD底板上安装传送石墨舟2的导轨,利用自动上下料系统将石墨舟2从PECVD的缓存架抓取到导轨上,再通过导轨将石墨舟 ...
【技术保护点】
一种石墨舟上下料装置,包括机械手、托盘(1)及支架(3),所述机械手与所述支架(3)连接,其特征在于:石墨舟上下料装置还包括伸缩杆(4),所述托盘(1)上沿着远离石墨舟(2)的方向依次设有承托区(11)、第一铰接部(12)和第二铰接部(13),所述第一铰接部(12)与所述支架(3)下部铰接,所述第二铰接部(13)与所述伸缩杆(4)下端铰接,所述伸缩杆(4)上端与所述支架(3)上部铰接。
【技术特征摘要】
1.一种石墨舟上下料装置,包括机械手、托盘(1)及支架(3),所述机械手与所述支架(3)连接,其特征在于:石墨舟上下料装置还包括伸缩杆(4),所述托盘(1)上沿着远离石墨舟(2)的方向依次设有承托区(11)、第一铰接部(12)和第二铰接部(13),所述第一铰接部(12)与所述支架(3)下部铰接,所述第二铰接部(13)与所述伸缩杆(4)下端铰接,所述伸缩杆(4)上端与所述支架(3)上部铰接。2.根据权利要求1所述的石墨舟上下料装置,其特征在于:所述承托区(11)内设有用来检测有无石墨舟(2)的检测压块(5)。3.根据权利要求1所述的石墨舟上下料装置,其特征在于:所述承托区(11)内设有与石墨舟(2)拾取部位形状匹配的定位槽(14)。4.根据权利要求1所述的石墨舟上下料装置,其特征在于:所述伸缩杆(4)为电动推杆、气缸或液压缸。5.根据权利要求1所述的石墨舟上下料装置,其特征在于:所述托盘(1)上设有一对用来检测托盘(1)转动极限位置的挡片(6)。6.根据权利要求1至5中任一项所述的石墨舟上下料装置,其特征在于:所述支架(3)包括顶板(31)及设于顶板(31)下方的一对侧板(32),所述顶板(31)与所述侧板(32)固定连接,所述伸缩杆(4)位于一对侧板(32)之间且上端与所述顶板(31)铰接,所述托盘(1)上固设有一对吊耳(15),所述第一铰接部(12)为两个并分设于一对吊耳(15)上,所述吊耳(15)与所述侧板(32)一一对应铰接。7.根据权利要求6所述的石墨舟上下料装...
【专利技术属性】
技术研发人员:符慧能,
申请(专利权)人:湖南红太阳光电科技有限公司,
类型:发明
国别省市:湖南,43
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