【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种冷却系统,尤其涉及一种用于太阳能硅片的设备炉管温度控制的冷却系统。属于太阳能光伏
技术介绍
PECVD技术原理是利用低温等离子体作能量源,样品置于低气压下辉光放电的阴极上,利用辉光放电(或另加发热体)使样品升温到预定的温度,然后通入适量的反应气体,气体经一系列化学反应和等离子体反应,在样品表面形成固态薄膜,以增加入射在硅片上的光的透射,减少反射,氢原子搀杂在氮化硅中附加了氢的钝化作用。炉管温度控制是该工艺重要影响因素之一,温度控制不好会导致产品外观颜色、膜厚以及折射率等不合要求。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是针对上述现有技术提供一种设备炉管温度控制的冷却系统,能有效的进行炉管温度控制,提高产品的质量。本技术解决上述问题所采用的技术方案为:一种设备炉管温度控制的冷却系统,它包括相互独立分隔的冷却箱,在每个冷却箱的侧壁上开设有炉管接入口,且在每个冷却箱内设置有冷却水盘管,在冷却箱的顶部设置有主冷却箱,主冷却箱内设置有主冷却水盘管,在所述主冷却箱上设置有五个进水管和五个出水管,其中一对进水管和出水管与主冷却盘管相连,另外四对进水管和出水管分别成对进入每层的冷却箱中,出水管与冷却水盘管相连,进水管分别连接前炉门法兰、冷却水盘管和后炉门法兰。优选地,在每层冷却箱的进水管和出水管上安装进回水阀门,每根进水管上加装流量计。与现有技术相比,本技术的优点在于:1、不同管间无热干涉,可独立调整冷却效果;2、炉管环境的温度没有被热空气所提升;3、空气运动(通风装置)没有使房间污染;4、噪音水平低。附图说明图1为本技术的结构示意图。具体实施方式以下结 ...
【技术保护点】
一种设备炉管温度控制的冷却系统,其特征在于:它包括相互独立分隔的冷却箱(1),在每个冷却箱(1)的侧壁上开设有炉管接入口(2),且在每个冷却箱(1)内设置有冷却水盘管(3),在冷却箱(1)的顶部设置有主冷却箱(4),主冷却箱(4)内设置有主冷却水盘管(5),在所述主冷却箱(4)上设置有五个进水管(6)和五个出水管(7),其中一对进水管(6)和出水管(7)与主冷却盘管(5)相连,另外四对进水管(6)和出水管(7)分别成对进入每层的冷却箱(1)中,出水管(7)与冷却水盘管(3)相连,进水管(6)分别连接前炉门法兰(8)、冷却水盘管(3)和后炉门法兰(9)。
【技术特征摘要】
1.一种设备炉管温度控制的冷却系统,其特征在于:它包括相互独立分隔的冷却箱(1),在每个冷却箱(1)的侧壁上开设有炉管接入口(2),且在每个冷却箱(1)内设置有冷却水盘管(3),在冷却箱(1)的顶部设置有主冷却箱(4),主冷却箱(4)内设置有主冷却水盘管(5),在所述主冷却箱(4)上设置有五个进水管(6)和五个出水管(7),其中一对进水管(6)和出水管(7)与主冷却盘...
【专利技术属性】
技术研发人员:梁跃,赵卫东,赵雅,赵枫,赵龙宝,
申请(专利权)人:江苏东鋆光伏科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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