一种带辅助加热装置的PECVD及加热控制方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种带辅助加热装置的PECVD，包括炉体，炉体包括炉壳以及设置在炉壳内的保温层、主加热组件、石英管，主加热组件绕设在石英管外壁，还包括辅助加热组件，辅助加热组件包括至少两块辅助加热板，辅助加热板分别布置在主加热组件的上方和下方。本发明专利技术还公开了一种加热控制方法。本发明专利技术具有加热均匀性更好、控温精度更高、安装维护便捷、加热板布置更灵活、能有效改善镀膜均匀性等优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术主要涉及光伏电池片生产，特指一种带辅助加热装置的pecvd及加热控制方法。

技术介绍

1、硅片经过制绒、扩散、刻蚀、退火、表面镀膜、钝化、丝印烧结等工序后成为电池片，不同工艺流程有所不一定。表面镀膜是光伏电池生产过程中的核心工序之一，而pecvd是表面镀膜的设备，pecvd设备包括炉体柜、净化台和源柜三大部分。反应室位于炉体柜内，是进行镀膜反应的场所，通常在400℃-600℃进行。现有的管式pecvd的炉体是圆柱体结构，加热丝环绕在石英管外壁，石英管内形成镀膜反应室，炉体以一个圆柱加热腔体对反应室进行加热；石墨舟位于反应室内，由于石墨舟的为竖直插片结构，因此石墨舟的外舟叶受热面积大，能够较容易的被炉体加热到；而中间的石墨舟的舟叶和硅片离加热体较远，且中间的舟叶接收加热体的辐射面积较少，因此较难被加热到；现有的解决办法通常是通过延长恒温时间来达到中间舟叶被均匀加热，但延长加热时间将较大程度降低设备镀膜产能。

2、为了减少工艺时间和提高镀膜均匀性，现有技术中一般会在反应室内增加辅助加热装置，单独对石墨舟上方和下方进行辅助加热，使得石墨舟及本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种带辅助加热装置的PECVD，包括炉体，所述炉体包括炉壳(1)以及设置在炉壳(1)内的保温层(2)、主加热组件(3)、石英管(4)，其特征在于，所述主加热组件(3)绕设在所述石英管(4)外壁，还包括辅助加热组件(5)，所述辅助加热组件(5)包括至少两块辅助加热板(51)，所述辅助加热板(51)分别布置在主加热组件(3)的上方和下方。

2.根据权利要求1所述的带辅助加热装置的PECVD，其特征在于，还包括辅热调功器(6)，所述辅热调功器(6)用于控制多块辅助加热板(51)输出不同的功率。

3.根据权利要求2所述的带辅助加热装置的PECVD，其特征在于，所述辅热...

【技术特征摘要】

1.一种带辅助加热装置的pecvd，包括炉体，所述炉体包括炉壳(1)以及设置在炉壳(1)内的保温层(2)、主加热组件(3)、石英管(4)，其特征在于，所述主加热组件(3)绕设在所述石英管(4)外壁，还包括辅助加热组件(5)，所述辅助加热组件(5)包括至少两块辅助加热板(51)，所述辅助加热板(51)分别布置在主加热组件(3)的上方和下方。

2.根据权利要求1所述的带辅助加热装置的pecvd，其特征在于，还包括辅热调功器(6)，所述辅热调功器(6)用于控制多块辅助加热板(51)输出不同的功率。

3.根据权利要求2所述的带辅助加热装置的pecvd，其特征在于，所述辅热调功器(6)包括第一辅热调功器(61)和第二辅热调功器(62)，所述第一辅热调功器(61)和第二辅热调功器(62)分别用于控制上方的辅助加热板51和下方的辅助加热板51输出的功率。

4.根据权利要求2所述的带辅助加热装置的pecvd，其特征在于，所述辅助加热板(51)包括加热炉丝(511)和固定板(512)，所述固定板(512)用于固定所述加热炉丝(511)。

5.根据权利要求4所述的带辅助加热装置的pecvd，其特征在于，所述固定板(512)开设有固定加热炉丝(511)的第一凹槽(7)。<...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘帅，周佑丞，张春成，肖洁，柳懿峰，
申请(专利权)人：湖南红太阳光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：