蒸镀掩膜板、蒸镀装置及蒸镀方法制造方法及图纸

本公开提供了一种蒸镀掩膜板、蒸镀装置及蒸镀方法，属于蒸镀技术领域。该蒸镀掩膜板包括掩膜板本体，以及贯穿掩膜板本体的多个蒸镀通孔。其中，多个蒸镀通孔与待蒸镀基板具有的间隔排布的多个子像素区一一对应，以供蒸镀源在多个子像素区蒸镀形成不同颜色的多个子像素。因每个蒸镀通孔靠近待蒸镀基板一侧的开口的孔径小于远离待蒸镀基板一侧的开口的孔径，且能够延伸至所形成子像素颜色不同且相邻的至少一个子像素区，故可以通过灵活设置蒸镀通孔的通孔夹角，并配合调整蒸镀源的蒸镀角，使得多个蒸镀源向待蒸镀基板上可靠蒸镀不同材料，且蒸镀的不同材料能够可靠共掺，蒸镀效果较好。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及蒸镀，特别涉及一种蒸镀掩膜板、蒸镀装置及蒸镀方法。

技术介绍

1、有机发光二极管(organic light emitting diode，oled)显示面板的制备过程中，常采用蒸镀装置结合蒸镀工艺在待蒸镀基板上蒸镀形成所需功能膜层。

2、其中，蒸镀装置一般包括：蒸镀源和蒸镀掩膜板(mask)。蒸镀掩膜板具有垂直于待蒸镀基板的蒸镀通孔。蒸镀源用于通过蒸镀通孔向待蒸镀基板上蒸镀材料，以形成所需功能膜层。并且，对于目前需要掺杂不同材料所形成的功能膜层而言，蒸镀装置一般包括能够蒸镀不同材料的多个蒸镀源，该多个蒸镀源用于通过同一个蒸镀通孔向待蒸镀基板上共同蒸镀不同材料。

3、但是，受多个蒸镀源中每相邻两个蒸镀源之间的间距，以及蒸镀源与蒸镀掩膜板之间的间距影响，不同材料无法可靠实现掺杂，蒸镀效果较差。

技术实现思路

1、提供了一种蒸镀掩膜板、蒸镀装置及蒸镀方法，可以解决相关技术中蒸镀效果较差的问题。所述技术方案如下：

2、一方面，提供了一种蒸镀掩膜板，所述蒸镀掩膜板用于设置本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种蒸镀掩膜板，其特征在于，所述蒸镀掩膜板用于设置在待蒸镀基板的一侧，且所述待蒸镀基板具有间隔排布的多个子像素区；所述蒸镀掩膜板包括：

2.根据权利要求1所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，所述多个子像素区阵列排布，在所述多个子像素区蒸镀形成的多个子像素包括：三种颜色的多个子像素，且在行方向上，各个子像素按照每三个不同颜色的子像素的顺序依次排布；每个蒸镀通孔远离所述待蒸镀基板一侧的开口均延伸至相邻的两个子像素区。

3.根据权利要求1所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，每相邻两个蒸镀通孔远离所述待蒸镀基板一侧的开口之间的间距，大于在与所述每相邻两个蒸镀通孔对应的两个子像素区...

【技术特征摘要】

1.一种蒸镀掩膜板，其特征在于，所述蒸镀掩膜板用于设置在待蒸镀基板的一侧，且所述待蒸镀基板具有间隔排布的多个子像素区；所述蒸镀掩膜板包括：

2.根据权利要求1所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，所述多个子像素区阵列排布，在所述多个子像素区蒸镀形成的多个子像素包括：三种颜色的多个子像素，且在行方向上，各个子像素按照每三个不同颜色的子像素的顺序依次排布；每个蒸镀通孔远离所述待蒸镀基板一侧的开口均延伸至相邻的两个子像素区。

3.根据权利要求1所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，每相邻两个蒸镀通孔远离所述待蒸镀基板一侧的开口之间的间距，大于在与所述每相邻两个蒸镀通孔对应的两个子像素区中形成的两个子像素之间的间距。

4.根据权利要求1至3任一所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，在平行于所述待蒸镀基板的方向上，每个蒸镀通孔具有相对的两个通孔夹角；

5.根据权利要求4所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，每个蒸镀通孔具有的两个通孔夹角中，一个通孔夹角为直角，另一个通孔夹角为锐角；

6.根据权利要求5所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，每个蒸镀通孔具有的两个通孔夹角中，最小的通孔夹角大于等于所述掩膜板本体的厚度与第一孔径的比值的反正切值，且小于等于所述掩膜板本体的厚度与第二孔径的比值的反正切值；

7.根据权利要求1至3任一所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，沿垂直于所述待蒸镀基板的方向，所述蒸镀通孔的横截面呈喇叭状。

8.根据权利要求1至3任一所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，所述蒸镀通孔包括沿平行于所述待蒸镀基板的方向间隔排布的多个子通孔；

9.根据权利要求8所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，所述多个子通孔中，每个子通孔在平行于所述待蒸镀基板的方向上，均具有相对的两个通孔夹角，并且，每个子通孔具有的两个通孔夹角相等，各个子通...

【专利技术属性】
技术研发人员：李晓虎，曲燕，康亮亮，靳倩，王路，王伟杰，焦志强，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：