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本发明公开了一种带辅助加热装置的PECVD，包括炉体，炉体包括炉壳以及设置在炉壳内的保温层、主加热组件、石英管，主加热组件绕设在石英管外壁，还包括辅助加热组件，辅助加热组件包括至少两块辅助加热板，辅助加热板分别布置在主加热组件的上方和下方。...
该专利属于湖南红太阳光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南红太阳光电科技有限公司授权不得商用。

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