The invention discloses a rewind detection device of graphite boat lateral boat mechanism, graphite boat placed in a graphite boat boat body lateral bearing seat, a plurality of slots are arranged along the entire width of the graphite boat, each slot along the entire length of the Shi Mozhou extension, each slot is placed in the silicon lateral mechanism drives the graphite boat boat movement, the rewind detection device comprises a plurality of reflective seat and a plurality of photoelectric switch, the lower part of the graphite boat along the entire length of the interval of the plurality of reflective seat, the upper part of the Shi Mozhou along the entire width of the plurality of photoelectric switch, each photoelectric the switch corresponds to a slot in the graphite on the boat. The detection device has the rewind graphite boat lateral boat mechanism can detect the graphite boat in advance and the graphite boat and will have to rewind back boat and return to the automatic inserting machine to avoid manual correction, due to the existence of the rewind graphite boat resulted in silicon and silicon coating caused by poor waste.
【技术实现步骤摘要】
一种具有倒片检测装置的石墨舟侧向出舟机构
本专利技术涉及PECVD设备的侧向出舟机构
,更具体地说是涉及一种具有倒片检测装置的石墨舟侧向出舟机构。
技术介绍
目前PECVD设备的侧向出舟机构与自动插片机进行衔接,实现了全自动化作业。侧向出舟机构设置在PECVD设备的暂存区下方,侧向出舟机构通过同步带传输与自动插片机进行衔接并进行自动插片,进行自动插片后侧向出舟机构在传输至侧出舟同步带的过程中,由于机械振动,硅片在石墨舟内会出现倒片的情况,如果此时继续进行工艺,就会导致硅片镀膜不良而造成硅片浪费。因此亟待一种能够检测到石墨舟内出现倒片的装置。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种具有倒片检测装置的石墨舟侧向出舟机构,能够检测到石墨舟内的倒片,从而对具有倒片的石墨舟进行退舟,避免因石墨舟中存在倒片而导致硅片镀膜不良而造成硅片浪费。本专利技术的技术方案为:一种具有倒片检测装置的石墨舟侧向出舟机构,石墨舟放置于侧向出舟机构的石墨舟承载座上,石墨舟上沿其整个宽度并列设置有多个槽,每个槽沿所述石墨舟的整个长度延伸,每个槽内放置有硅片,侧向出舟机构带动石墨舟运动,该倒片检测装置包括多个反光座和多个光电开关,所述石墨舟的下方沿其整个长度间隔设置所述多个反光座,所述石墨舟的上方沿其整个宽度设置所述多个光电开关,每个光电开关对应于所述石墨舟上的一个槽。所述倒片检测装置还包括底座、顶座和用于固定所述多个光电开关的固定组件,所述底座呈门拱形,具有顶板和分别设于所述顶板两端的两个侧板,所述顶板位于所述石墨舟的上方并横跨所述石墨舟的整个宽度,所述两个侧板的下端固定在所 ...
【技术保护点】
一种具有倒片检测装置的石墨舟侧向出舟机构,石墨舟放置于侧向出舟机构的石墨舟承载座上,石墨舟上沿其整个宽度并列设置有多个槽,每个槽沿所述石墨舟的整个长度延伸,每个槽内放置有硅片,侧向出舟机构带动石墨舟运动,其特征在于,该倒片检测装置包括多个反光座和多个光电开关,所述石墨舟的下方沿其整个长度间隔设置所述多个反光座,所述石墨舟的上方沿其整个宽度设置所述多个光电开关,每个光电开关对应于所述石墨舟上的一个槽。
【技术特征摘要】
1.一种具有倒片检测装置的石墨舟侧向出舟机构,石墨舟放置于侧向出舟机构的石墨舟承载座上,石墨舟上沿其整个宽度并列设置有多个槽,每个槽沿所述石墨舟的整个长度延伸,每个槽内放置有硅片,侧向出舟机构带动石墨舟运动,其特征在于,该倒片检测装置包括多个反光座和多个光电开关,所述石墨舟的下方沿其整个长度间隔设置所述多个反光座,所述石墨舟的上方沿其整个宽度设置所述多个光电开关,每个光电开关对应于所述石墨舟上的一个槽。2.根据权利要求1所述的石墨舟侧向出舟机构,其特征在于,所述倒片检测装置还包括底座、顶座和用于固定所述多个光电开关的固定组件,所述底座呈门拱形,具有顶板和分别设于所述顶板两端的两个侧板,所述顶板位于所述石墨舟的上方并横跨所述石墨舟的整个宽度,所述两个侧板的下端固定在所述侧向出舟机构上;所述顶座固定在所述底座的顶板上,所述顶座具有容...
【专利技术属性】
技术研发人员:文鸥,张勇,
申请(专利权)人:深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司,
类型:发明
国别省市:广东,44
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