本发明公开了一种HWCVD镀膜设备及镀膜工艺，HWCVD镀膜设备包括镀膜室、载板及驱动模块，镀膜腔内设有沿第一方向间隔排布的多排丝行，平行于丝行延伸方向向镀膜腔通入工艺气体，载板用于承载待镀基底，驱动模块用于驱动载板沿第二方向移动，第二...

本发明公开了一种镀膜设备及镀膜方法，属于镀膜设备及镀膜方法领域，镀膜设备包括设备本体和输送机构，设备本体内设置有相连通的进出料腔、第一镀膜腔、第二镀膜腔、第三镀膜腔、第四镀膜腔和第五镀膜腔，第一镀膜腔内可以进行蒸镀镀膜，第二镀膜腔内可以...

本技术公开了一种反应炉及具有该反应炉的镀膜设备，反应炉，包括：炉单元，包括炉体、以及设置于炉体的端部的端盖，端盖设有装配孔；管单元，包括管件、SiC护套以及绝缘密封组件，管件穿设于炉体的内部、并穿设于装配孔且从炉体的内部伸出，SiC护套...

本技术公开了一种电动葫芦支架及电动葫芦移动机构，其中电动葫芦支架包括行走组件及安装组件，行走组件包括安装板、第一行走轮及第二行走轮，第一行走轮及第二行走轮均转动连接于安装板且分设于安装板的相对两侧，第一行走轮及第二行走轮的转动轴均垂直于...

本技术公开了一种辅助更换石英管的工装，包括工装底板、承载框架、和多个滑轮机构，工装底板上设置有调节组件，承载框架活动连接在工装底板上，承载框架连接调节组件，调节组件用于调节承载框架在工装底板上的位置，多个滑轮机构沿承载框架的长度方向间隔...

本技术公开了一种HWCVD设备，HWCVD设备，包括：腔盖，腔盖的内部形成有均气腔，且腔盖的顶部设有与均气腔连通的进气口，腔盖的底部设有与均气腔连通的多个布气孔；以及热丝模块，热丝模块包括连接单元以及热丝单元，连接单元固定在腔盖的底部、...

本技术公开了一种中转装置，包括：平移机构；与平移机构驱动连接的升降机构，平移机构用于驱动升降机构沿第一水平方向移动；与升降机构驱动连接的水平输送机构，升降机构用于驱动水平输送机构升降，水平输送机构包括与升降机构驱动连接的安装架、设置于安...

本技术提供了一种一种石墨舟石墨舟输送装置及石墨舟插片机，所述石墨舟机台包括石墨舟换向装置，所述石墨舟换向装置包括换向机构，用于使到达所述换向位的所述第一石墨舟上升，以使所述第一石墨舟脱离所述传送装置，并在所述第二石墨舟通过所述换向位后将...

本发明公开了一种TOPCon电池及其制备方法与应用。上述TOPCon电池，包括以下结构：N型基底；掺杂多晶硅层；第二钝化层；P‑N结；氧化铝钝化层；第一钝化层；其中，第一金属电极与第二金属电极分别设于N型基底的两侧。本发明取消了高温硼(...

本发明公开了一种立式HWCVD设备，包括：传输机构，包括传输组件以及驱动组件，传输组件具有传动轮，传动轮的轴向与传输组件的运输方向垂直，传动轮固定连接有与传动轮的轴线平行设置的传动杆，驱动组件设有传动孔，传动杆穿设于传动孔内、以使传输组...

本技术公开了一种布气装置以及化学气相沉积设备，布气装置，包括：布气组件，布气组件设有均气腔，且布气组件的其中一侧设有多个布气孔，布气组件的另一侧设有多个进气孔，多个布气孔以及多个进气孔均与均气腔连通，其中，多个布气孔和多个进气孔分别位于...

本技术公开了一种上料装置以及真空镀膜设备，其中上料装置包括：顶杆以及驱动机构。顶杆包括推杆以及支撑件，推杆与支撑件为分体式结构，支撑件连接于推杆，用于承载靶材，推杆由耐高温高强度的材料制成，支撑件为耐高温绝缘结构，驱动机构连接于推杆，用...

本技术公开了一种热丝模块以及镀膜设备，热丝模块，包括：安装板；连接单元，包括连接在安装板的下侧壁的多个连接座，多个连接座间隔设置；热丝单元，包括设置于安装板的下方的多根热丝，多根热丝间隔设置；其中，热丝与连接座交替连接、以使所有热丝串联...

本技术公开了载具，该载具用于载置基材，包括：第一支撑架和多个第二支撑架。第一支撑架具有：两个第一架体以及两个第一连接件，两个第一架体沿第一方向相互平行地对置，一个第一连接件连接两个第一架体的一端，另一个第一连接件连接两个第一架体的另一端...

本技术公开了一种硅片限位结构以及硅片载具，硅片限位结构，包括：承载部；安装部，安装部设置于承载部上，且安装部限定出用于供硅片放入的安装区，安装部上设置有围绕安装区间隔设置的多个限位部；其中，安装部包括用于构成安装区的侧壁的第一壁面、以及...

本技术公开了一种皮带线，包括型材、主动轮组件、从动轮组件和皮带，型材上表面沿长度方向设置有限位槽，主动轮组件包括主动轮，主动轮转动连接在型材的一端，主动轮上第一导向凸起，第一导向凸起两侧设置有第一齿部，从动轮组件包括从动轮，从动轮转动连...

本技术公开了一种热丝装置及HWCVD设备，热丝装置包括盖板和热丝馈入单元，盖板沿第一方向的相对端分别设置有第一安装孔和第二安装孔，热丝馈入单元包括连接组件、热丝组件和两个真空电极，连接组件连接在盖板下方，热丝组件连接在连接组件上，热丝组...

本技术公开了一种石墨舟转运装置，包括：平移机构；升降机构，升降机构包括与平移机构驱动连接的底架、设置于底架上的升降驱动件、以及设置于底架上的两组导向组件，平移机构用于驱动底架沿第一水平方向移动，两组导向组件沿与第一水平方向垂直的第二水平...

本技术公开了一种石墨舟装卸片机，包括接驳机构和硅片装卸机构，接驳机构上设置有第一石墨舟输送组件，硅片装卸机构与接驳机构并列设置，硅片装卸机构上设置有机器人和石墨舟循环输送组件，石墨舟循环输送组件围绕机器人设置，石墨舟循环输送组件包括第一...

本技术公开了一种平面基板贴合及分离装置，包括支架、第一驱动组件、第二驱动组件、第一吸片组件、第二吸片组件和分片机构，第一驱动组件安装在支架上，第二驱动组件和第二吸片组件连接第一驱动组件，第一吸片组件连接在第二驱动组件上，第一吸片组件用于...