本技术公开了一种石墨舟装卸片机，包括接驳机构和硅片装卸机构，接驳机构上设置有第一石墨舟输送组件，硅片装卸机构与接驳机构并列设置，硅片装卸机构上设置有机器人和石墨舟循环输送组件，石墨舟循环输送组件围绕机器人设置，石墨舟循环输送组件包括第一...

本技术公开了一种平面基板贴合及分离装置，包括支架、第一驱动组件、第二驱动组件、第一吸片组件、第二吸片组件和分片机构，第一驱动组件安装在支架上，第二驱动组件和第二吸片组件连接第一驱动组件，第一吸片组件连接在第二驱动组件上，第一吸片组件用于...

本发明公开了一种太阳能电池及其制备方法与应用。上述太阳能电池，包括以下结构：N型基底；第一隧穿氧化层，其设于N型基底的下表面；第一本征多晶硅层，其设于第一隧穿氧化层的下表面；掺硼多晶硅层，其设于第一本征多晶硅层的下表面；第一氮化硅减反射...

本发明公开了一种舟的导向装置，包括底座、导向机构、定位组件和弹性组件，导向机构包括导向座、第一导向组件和第二导向组件，导向座转动连接在底座上，第一导向组件和第二导向组件连接在导向座上，第一导向组件用于支撑舟的底部并引导舟沿竖直方向向下调...

本发明公开了一种

本发明公开了一种硅片检测装置及硅片检测方法，硅片检测装置包括片篮上下料机构

本发明提供了一种输送线及镀膜设备，输送线包括：传送带，所述传送带用于承载并传送工件；驱动装置，所述驱动装置用于驱动所述传送带进行传送；所述驱动装置包括驱动轮，所述驱动轮用于驱动所述传送带进行传送，所述传送带套设在所述驱动轮上，所述传送带...

本发明公开了一种基片载具及输送系统，基片载具包括载具框架和多个托盘，载具框架包括第一导轨、第二导轨和多个横梁，多个横梁间隔设置在第一导轨和第二导轨之间，第一导轨包括用于定位载具框架的定位部，第一导轨和第二导轨用于引导载具框架移动，多个托...

本实用新型公开一种真空绝缘电极组件及热丝化学气相沉积镀膜设备，涉及镀膜设备技术领域。真空绝缘电极组件，包括：腔体盖板，用于盖装在腔体上，所述腔体盖板设有端子安装通孔；端子，与所述腔体盖板之间绝缘连接，所述端子设有热丝连接端，所述热丝连接...

本实用新型公开了一种盖板吊装装置，包括：水平导向机构，水平导向机构包括第一导轨、以及与第一导轨沿横向间隔设置的第二导轨，第一导轨的上表面形成有限位结构，第二导轨的上表面为平面；以及吊装机构，吊装机构包括可移动地设置于水平导向机构上的主架...

本实用新型公开了一种高温扩散炉，包括扩散炉管和加热丝，扩散炉管内部具有容纳通道；加热丝缠绕于扩散炉管的外周壁；其中，加热丝的横截面形状为非圆形。通过采用上述的结构，非圆形的加热丝在1050℃的高温工艺条件下仍具有良好的结构强度，加热丝在...

本发明公开了一种载具搬运装置及载具搬运方法，载具搬运装置包括XYZ移动机构、旋转组件和夹取机构，旋转组件安装在XYZ移动机构上，XYZ移动机构用于带动旋转组件沿X轴方向、Y轴方向和Z轴方向移动，夹取机构安装在旋转组件下端，旋转组件用于带...

本实用新型公开了一种吊装设备，包括：堆高机，堆高机包括机体、设置于机体上的机架、以及可升降地设置于机架上的叉具；以及吊装机构，吊装机构包括被叉具叉起的吊架、以及均与吊架连接的多个起吊组件，多个起吊组件间隔设置，且每个起吊组件均包括与吊架...

本实用新型公开了一种反应加热炉体，包括炉体外壳、石英管、加热炉丝和支撑组件，石英管位于炉体外壳内部，与炉体外壳间隔设置，石英管与炉体外壳之间形成容置间隙，加热炉丝设于容置间隙中，支撑组件设于容置间隙中，支撑组件支撑石英管，且不阻碍容置间...

本实用新型公开了一种扩散炉，包括：内设有反应腔的炉主体，反应腔的侧壁开设有废气排气口；位于反应腔外部的第一进气管和第二进气管，第一进气管的第一出气端延伸至反应腔内部且位于炉主体前侧；第二进气管的第二出气端延伸至反应腔内部且位于炉主体的中...

本实用新型公开了一种反应管及反应管组件，反应管包括炉体、炉口法兰和吹气单元，炉体内部设置有反应腔室，反应腔室一端设置有开口，炉口法兰上设置有通孔，炉口法兰套接在炉体上具有开口的一端，通孔与反应腔室连通，炉口法兰上设置有密封圈，密封圈围绕...

本实用新型公开了一种横梁结构，横梁结构包括横梁本体和抓手连接板，横梁本体包括多个方通，多个方通沿横梁本体的宽度方向并排固定连接，每个方通沿方通的长度方向的顶面设置有与方通的内部连通的开口槽，多个方通的开口槽形成容置槽，抓手连接板固定连接...

本实用新型公开了一种石墨舟承托桨调节结构及PECVD镀膜设备。石墨舟承托桨调节结构，包括：承托桨，用于承托石墨舟；承托管，所述承托桨的一端和所述承托管连接；承托框架，能够和镀膜设备主体连接，所述承托框架的横向两侧设有弧面支撑槽，所述弧面...

本实用新型公开了一种周转车，用于周转输送硅片，包括：支架、限位装置以及行走轮。支架包括支撑组件，支撑组件用于承载放置硅片的载板。限位装置包括限位件，限位件能够相对支架活动，用于可选择地对载板锁定以及解除锁定。在输送过程中能够通过限位件锁...

本发明公开了一种石墨舟装卸片机及硅片装卸方法，石墨舟装卸片机包括接驳机构和硅片装卸机构，接驳机构上设置有第一石墨舟输送组件，硅片装卸机构上设置有机器人、石墨舟循环输送组件和石墨舟缓存组件，石墨舟循环输送组件围绕机器人设置，石墨舟循环输送...