斜承载面碳纤维载板制造技术

本实用新型专利技术提供了一种斜承载面碳纤维载板，是对板式PECVD工艺中的硅片载板的结构改进，在载板上开设有用于装载硅片的槽，槽的边沿具有用于托住硅片的承载面，承载面是向槽内倾斜的斜托面，斜托面布置在被承载硅片的至少两个侧边上。本实用新型专利技术将载板与硅片的接触面从现有的90°平台阶面改进成斜托面，进而将硅片和载板接触由面接触改成线接触，极大减少接触面，避免镀膜生产过程中的影响，避免膜层不利影响，提高了电池片的镀膜效率。

Carbon fiber bearing plate with inclined bearing surface

The utility model provides an inclined bearing surface of carbon fiber board, is to improve the structure of the silicon plate PECVD in the process of loading plate, is arranged on the carrier for loading the wafer groove, groove edge has a bearing surface to hold the silicon wafer, the bearing surface is inclined to support groove inclined surface. Oblique supporting surface is arranged on at least two side is carried on a silicon wafer. Contact surface of the existing 90 DEG platform order surface of the utility model the carrier plate and the wafer is improved into the oblique supporting surface, and then the silicon wafer and the carrier plate contact by surface contact into line contact, greatly reduce the contact surface, avoid the influence of coating in the production process, to avoid the adverse effects of film coating, improve the efficiency of the cells.

【技术实现步骤摘要】

本技术属于光伏产品的工艺设备
，涉及对板式PECVD镀膜、PERC电池背钝化和镀膜等太阳能电池片镀膜工艺中的载板的结构改进，具体涉及一种斜承载面碳纤维载板。
技术介绍
在太阳能电池的硅片制造工艺中，硅片通过碳纤维载板装载，再进入板式PECVD生产线进行镀膜，可见载板装载是硅片成为电池片的生产工序中的一道必要工序。现有载板的结构如图1所示，其工作时载板托住硅片的部分是台阶面，台阶面上立面与平面的夹角为90，而在生产过程中，硅片和载板上的承载面一直是接触的，经过高温以及相应的生产工艺后，在接触面位置，载板会对硅片所镀的膜层会产生一定的影响，比如边缘效应。对现有硅片载板结构进行改进，将其对硅片镀膜边缘部分的影响降到最低，就成为本领域亟待解决的技术问题。
技术实现思路
专利技术目的：为了克服现有技术中存在的不足，本技术提供一种斜承载面碳纤维载板。技术方案：为解决上述技术问题，本技术提供的斜承载面碳纤维载板，在载板上开设有用于装载硅片的槽，在槽的边沿具有用于托住硅片的承载面，所述承载面是向槽内倾斜的斜托面，所述斜托面布置在被承载硅片的至少两个侧边上。具体地，所述斜托面布置在硅片的四周，从而本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种斜承载面碳纤维载板，所述载板上开设有用于装载硅片的槽，在槽的边沿具有用于托住硅片的承载面，其特征在于：所述承载面是向槽内倾斜的斜托面，所述斜托面布置在被承载硅片的至少两个侧边上，所述斜托面的倾角是10‑50°。

【技术特征摘要】
1.一种斜承载面碳纤维载板，所述载板上开设有用于装载硅片的槽，在槽的边沿具有用于托住硅片的承载面，其特征在于：所述承载面是向槽内倾斜的斜托面，所述斜托面布置在被承载硅片的至少两个侧边上，所述斜托面的倾角是10-50°。2.根据权利要求1所述的斜承载面碳纤维载板，其特征在于：所述斜托面布置在硅片的四周。3.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：周桂宏，
申请(专利权)人：南京仁厚科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32