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本实用新型提供了一种斜承载面碳纤维载板，是对板式PECVD工艺中的硅片载板的结构改进，在载板上开设有用于装载硅片的槽，槽的边沿具有用于托住硅片的承载面，承载面是向槽内倾斜的斜托面，斜托面布置在被承载硅片的至少两个侧边上。本实用新型将载板与硅...
该专利属于南京仁厚科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京仁厚科技有限公司授权不得商用。

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