【技术实现步骤摘要】
本技术涉及制备热解氮化硼制品的设备的
，具体地说是一种制备热解氮化硼制品用的挡板式固定架。技术背景 热解氮化硼具有纯度高、耐高温、耐酸碱、耐盐及耐有机溶剂、性质稳定等等诸多优点。所以热解氮化硼制备的坩埚、板材等各种仪器、器材广泛应用于多个领域。气相沉积炉是制备热解氮化硼制品的核心设备。制备高质量的氮化硼制品的关键是在高温条件下反应生成的氮化硼均匀地沉积在模具的表面，从而形成质地均匀的氮化硼制品。由于位于炉腔内的模具的不同部位到原料气体进气口的距离不同，所以会导致靠近进气口的部位沉积的氮化硼的厚度要大于远离进气口的部位沉积的氮化硼的厚度。有鉴于上述现有的热解氮化硼制品制造存在的诸多问题，本技术的设计人依靠多年的工作经验和丰富的专业知识积极加以研究和创新，最终研发出一种制备热解氮化硼制品用的挡板式固定架，有效调整沉积到模具上的氮化硼的厚度，使氮化硼制品的厚度更加均一。
技术实现思路
为了解决现有技术中存在的上述问题，本技术提供了一种制备热解氮化硼制品用的挡板式固定架，有效调整沉积到模具上的氮化硼的厚度，使氮化硼制品的厚度更加均一。为了解决上述技术问题，本技术采用了如下技术方案制备热解氮化硼制品用的挡板式固定架，包括用于固定模具的架本体，所述架本体上设有位于模具与沉积炉进气口之间的挡板。进一步，所述架本体具有两平行的调节杆，所述挡板的两端分别活动连接于所述两平行的调节杆。进一步，所述架本体包括转轴和与转轴连接的连接板，所述连接板上设有固定模具的连接柱，两平行的调节杆设于连接板上。进一步，所述架本体包括转轴和与转轴连接的固定模具的连接框，所述连接框具有用于固定...
【技术保护点】
制备热解氮化硼制品用的挡板式固定架，包括用于固定模具的架本体，其特征在于，所述架本体上设有位于模具与沉积炉进气口之间的挡板。
【技术特征摘要】
1.制备热解氮化硼制品用的挡板式固定架，包括用于固定模具的架本体，其特征在于，所述架本体上设有位于模具与沉积炉进气口之间的挡板。2.根据权利要求1所述的制备热解氮化硼制品用的挡板式固定架，其特征在于，所述架本体具有两平行的调节杆，所述挡板的两端分别活动连接于所述两平行的调节杆。3.根据权利要求2所述的制备热解氮化硼制品用的挡板式固定架，其特征在于，所述架本体包括转轴和与转轴连接的连接板，所述连接板上设有固定模具的连接柱，两...
【专利技术属性】
技术研发人员：何军舫，王军勇，
申请(专利权)人：北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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