【技术实现步骤摘要】
多角石墨舟卡钉
本技术涉及一种太阳电池生产的过程中使用的石墨舟。
技术介绍
太阳能电池生产工艺流程中，PECVD工艺过程形成减反射膜，膜的作用是既能降低对太阳光的反射，又能对电池有很好的钝化效果。此工艺过程需要高的洁净度和长时间的高温等离子体反应过程，膜直接沉积在硅片表面，卡钉的覆盖面积越大，对膜的质量影响越大。长时间的等离子过程，对卡钉的表面也有腐蚀，从而影响硅片的固定。传统的PECVD用石墨舟卡钉采用的是圆形的或菱形(有两个角为钝角)的设计，要么对膜的覆盖面积过大，要么使用寿命较短。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种结构合理，可以减小卡钉对膜的覆盖尺寸、延长卡钉使用寿命的多角石墨舟卡钉。本技术的技术解决方案是一种多角石墨舟卡钉，其特征是包括圆形本体，圆形本体的两侧设置多角形卡钉件，且所述多角形卡钉件的每个角均为锐角，圆形本体为可旋转形式。相邻两个锐角的连接段为弧形段。本技术结构合理，既可以减小卡钉对膜的覆盖尺寸，提高膜的质量，又可以延长卡钉的使用寿命。附图说明以下结合附图和实施例对本技术作进一步说明。图1是本技术实施例1的结构示意图。图2是图1的侧面...
【技术保护点】
一种多角石墨舟卡钉，其特征是：包括圆形本体，圆形本体的两侧设置多角形卡钉件，且所述多角形卡钉件的每个角均为锐角，圆形本体为可旋转形式。
【技术特征摘要】
1.一种多角石墨舟卡钉，其特征是包括圆形本体，圆形本体的两侧设置多角形卡钉件，且所述多角形卡钉件的每个角均...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵福祥，林佳继，赵同荣，崔美丽，
申请(专利权)人：韩华新能源启东有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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