石墨舟陶瓷圈制造技术

本实用新型专利技术涉及一种石墨舟陶瓷圈，其为圆环状结构，包括外圆周面，内圆周面，在外圆周面上开设有导流槽，本实用新型专利技术结构简单，实用；开设导流槽能有效的使氢氟酸引流出去，能有效延长陶瓷圈的寿命。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种陶瓷圈，特别涉及一种石墨舟陶瓷圈。
技术介绍
太阳能硅片的生产加工中有一道程序叫做PECVD镀膜，其作用是提高硅片的太阳能转化率。这个工序就用到石墨舟。把硅片放到石墨舟中，经过一定的条件产生化学反映，在娃片表面镀上一层膜。石墨舟作为太阳能电池片镀减反射膜时的一种载体，其结构和大小直接影响硅片的转换效率和生产效率，现有石墨舟包括石墨舟片、陶瓷套、陶瓷杆、石墨杆、石墨隔块等石墨配件。其工作原理为将未镀膜的硅片放在石墨舟片的卡点上，每个舟片上可放固定数量的硅片，然后，将石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备的墙体内，采用PECVD工艺进行放电镀膜。镀膜结束后，取出石墨舟，将硅片从石墨舟上卸取下来。石墨舟上固定有不同数量的石墨舟片，石墨舟片是用陶瓷杆穿套起来的，石墨舟片之间依靠同样穿套在陶瓷杆上的陶瓷圈控制距离。石墨舟在使用一定次数后，石墨舟上各部分表面上会被镀上一层氮化硅，此时需要采用适当浓度的氢氟酸来清洗石墨舟，再用清水清洗，现有石墨舟陶瓷圈上没有排水的通道，使得氢氟酸不能有效排除，残留的氢氟酸加速了陶瓷圈的腐蚀速度，工业生产中需经常更换陶瓷圈。
技术实现思路
本技术的目的是解决上述不足，提供一种具有导流槽能有效排除氢氟酸的陶瓷圈。实现本技术目的技术方案是一种石墨舟陶瓷圈，其为圆环状结构，包括外圆周，内圆周，在外圆周上开设有导流槽。上述石墨舟陶瓷杆，所述导流槽为沿轴向水平开设。上述石墨舟陶瓷圈，其特征在于所述导流槽数量为一条以上。上述石墨舟陶瓷圈，其特征在于所述导流槽数量为一条。上述石墨舟陶瓷圈，其特征在于所述导流槽数量为两条。本技术具有积极的效果(1)结构简单，实用；(2)开设导流槽能有效的使氢氟酸引流出去，能有效延长陶瓷圈的寿命。附图说明为了使本技术的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本技术作进一步详细的说明，其中图I为本技术为一条导流槽的结构示意图；图2为本技术为两条导流槽的结构示意图。其中1外圆周面，2内圆周面，3导流槽。具体实施方式实施例(I)见图1，本技术石墨舟陶瓷圈，其为圆环状结构，包括外圆周面1，内圆周面2，在外圆周面2上开设有导流槽3。使用时，清洗完石墨舟后，残留的氢氟酸会顺着导流槽3流出，然后再用清水清洗石墨舟，清水也能快速从导流槽3中流出，再进行清洗的后续步骤。实施例(2) 见图2石墨舟陶瓷圈,其为圆环状结构,包括外圆周面I,内圆周面2,在外圆周面2上开设有2条导流槽3，。使用时，清洗完石墨舟后，残留的氢氟酸会顺着导流槽流出，然后再用清水清洗石墨舟，清水也能快速从导流槽中流出，再进行清洗的后续步骤。以上所述的具体实施例，对本技术的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本技术的具体实施例而已，并不用于限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。权利要求1.一种石墨舟陶瓷圈，其为圆环状结构，包括外圆周面(1)，内圆周面(2)其特征在于在外圆周面(2)上开设有导流槽(3)。2.根据权利要求I所述石墨舟陶瓷圈，其特征在于所述导流槽(3)为沿轴向水平开设。3.根据权利要求I所述石墨舟陶瓷圈，其特征在于所述导流槽(3)数量一条以上。4.根据权利要求I所述石墨舟陶瓷圈，其特征在于所述导流槽(3)数量为一条。5.根据权利要求I所述石墨舟陶瓷圈，其特征在于所述导流槽(3)数量为两条。专利摘要本技术涉及一种石墨舟陶瓷圈，其为圆环状结构，包括外圆周面，内圆周面，在外圆周面上开设有导流槽，本技术结构简单，实用；开设导流槽能有效的使氢氟酸引流出去，能有效延长陶瓷圈的寿命。文档编号C30B25/12GK202786421SQ20122040509公开日2013年3月13日 申请日期2012年8月15日 优先权日2012年8月15日专利技术者吴建洪 申请人:常州市立新石墨有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种石墨舟陶瓷圈，其为圆环状结构，包括外圆周面（1），内圆周面（2）其特征在于：在外圆周面（2）上开设有导流槽（3）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吴建洪，
申请(专利权)人：常州市立新石墨有限公司，
类型：实用新型
国别省市：