一种坩埚内模氧化用进气管制造技术

本实用新型专利技术公开了一种坩埚内模氧化用进气管，所述进气管道，其环形侧壁上沿螺旋状排布设置有出气孔，所述出气孔内部的环形壁面倾斜向下设置，倾斜角度设置为向下30～50

【技术实现步骤摘要】
一种坩埚内模氧化用进气管


[0001]本技术涉及坩埚生产
，尤其涉及一种坩埚内模氧化用进气管。

技术介绍

[0002]在收口式的坩埚的生产过程中，在收口坩埚的内部有空心的内模，由于坩埚为收口的，内模无法取出，需要向空心内模的内部输送气体对其进行氧化分解，从而将空心内模取出；在向空心内模的内部输送气体时，需要用到进气管插入到空心内模的内部，而现有的进气管一般仅底部设置有开口，气体从进气管的底部扩散至空心内模的内部，对空心内模的氧化速度较慢，效率低。

技术实现思路

[0003]鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种坩埚内模氧化用进气管。
[0004]本技术提供的一种坩埚内模氧化用进气管，包括进气管道、连接机构及底板；其中，
[0005]所述进气管道，其环形侧壁上沿螺旋状排布设置有出气孔，所述出气孔内部的环形壁面倾斜向下设置，倾斜角度设置为向下30～50
°
之间；
[0006]所述连接机构，设置于所述进气管道上，包括顶部套管及底部套管，用于连接两个所述进气管道的首尾端；
[0007]所述底板，设置于所述进气管道的底部，用于封堵进气管道的底部。
[0008]优选的，所述顶部套管固定的设置于所述进气管道的顶面上且与所述进气管道的内部连通设置；所述顶部套管的外侧的环形壁面上设置有外螺纹。
[0009]优选的，所述底部套管固定的设置于所述进气管道的底面上且与所述进气管道的内部连通设置；所述底部套管的内侧的环形壁面上对应所述外螺纹设置有内螺纹。
[0010]优选的，所述顶部套管可螺纹旋入所述底部套管的内部设置，用于连接两个所述进气管道的首尾端。
[0011]优选的，所述底板的板面上设置有通气孔，所述底板的顶面上位于所述通气孔的外侧对应所述底部套管固定的设置有螺纹套管，所述螺纹套管可螺纹旋入所述底部套管的内部设置。
[0012]相对于现有技术而言，本技术的有益效果是：
[0013]本技术的坩埚内模氧化用进气管，其进气管道上的出气孔设置为螺旋状排布，可顺应气流进入进气管道的方向排出，气体出气效果好，对空心内模的氧化效率高；另外，进气管道的首尾端分别设置有顶部套管及底部套管，可以将两个进气管道的首尾端连接起来，故可以调节整根进气管道的长短，可以适应不同高度的收口式坩埚的空心内模的氧化，通用性高。
[0014]应当理解，
技术实现思路
部分中所描述的内容并非旨在限定本技术的实施例的关键或重要特征，亦非用于限制本技术的范围。
[0015]本技术的其它特征将通过以下的描述变得容易理解。
附图说明
[0016]通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0017]图1为本技术实施例提供的一种坩埚内模氧化用进气管的结构示意图；
[0018]图2为进气管道首尾端连接的结构示意图；
[0019]图3为进气管道上出气孔位置的结构示意图；
[0020]图中标号：1、进气套管；2、出气孔；3、顶部套管；4、底部套管；5、底板；6、外螺纹；7、内螺纹；8、通气孔；9、螺纹套管；10、收口式坩埚；11、空心内模。
具体实施方式
[0021]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关技术，而非对该技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与技术相关的部分。
[0022]需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。
[0023]请参考图1～图3，本技术的实施例提供了一种坩埚内模氧化用进气管，包括进气管道1、连接机构及底板5；其中，
[0024]进气管道1，其环形侧壁上沿螺旋状排布设置有出气孔2，出气孔2内部的环形壁面倾斜向下设置，倾斜角度设置为向下20～60
°
之间；
[0025]连接机构，设置于进气管道1上，包括顶部套管3及底部套管4，用于连接两个进气管道1的首尾端；
[0026]底板5，设置于进气管道1的底部，用于封堵整个进气管的底部。
[0027]在一优选实施例中，顶部套管3固定的设置于进气管道1的顶面上且与进气管道1的内部连通设置；顶部套管3的外侧的环形壁面上设置有外螺纹6。
[0028]在一优选实施例中，底部套管4固定的设置于进气管道1的底面上且与进气管道1的内部连通设置；底部套管4的内侧的环形壁面上对应外螺纹6设置有内螺纹7。
[0029]在一优选实施例中，顶部套管3可螺纹旋入底部套管4的内部设置，用于连接两个进气管道1的首尾端；可以按照需求组装进气管的总长度，以适用不同规格的收口式坩埚10的空心内模11的氧化。
[0030]在一优选实施例中，底板5的板面上设置有通气孔8，底板5的顶面上位于通气孔8的外侧对应底部套管4固定的设置有螺纹套管9，螺纹套管9可螺纹旋入底部套管4的内部设置。螺纹套管9为外螺纹套管。
[0031]其中，底板5用于封堵进气管最底端的端口，其上设置的通气孔8不宜过大过多，避免氧化气体从出气孔出去的速度及量，影响空心内模11内部的氧化速度。
[0032]本技术的工作原理：按照收口式坩埚10的型号，组装进气管的总长度；将氧化气体从进气管道1的顶口输送进进气管道1的内部，氧化气体呈螺旋旋转方式进入到进气管道1的内部后，由于进气管道1上的出气孔2为顺应氧化气体进入进气管道1内部螺旋方向设
置，可以加快进气管道1内部的氧化气体通过出气孔2快速均匀的进入到空心内模11的内部，提高对空心内模11的氧化速度；另外，进气管道1内部的氧化气体通过螺旋状排布的出气孔2进入到空心内模11后同样呈螺旋气流，流动速度快，可以加快空心内模11内部的氧化后的废气的排出。
[0033]在本说明书的描述中，术语“连接”、“安装”、“固定”等均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0034]在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本申请的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
[0035]以上仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种坩埚内模氧化用进气管，其特征在于，包括进气管道、连接机构及底板；其中，所述进气管道，其环形侧壁上沿螺旋状排布设置有出气孔，所述出气孔内部的环形壁面倾斜向下设置，倾斜角度设置为向下30～50
°
之间；所述连接机构，设置于所述进气管道上，包括顶部套管及底部套管，用于连接两个所述进气管道的首尾端；所述底板，设置于所述进气管道的底部，用于封堵进气管道的底部。2.根据权利要求1所述的坩埚内模氧化用进气管，其特征在于，所述顶部套管固定的设置于所述进气管道的顶面上且与所述进气管道的内部连通设置；所述顶部套管的外侧的环形壁面上设置有外...

【专利技术属性】
技术研发人员：何军舫，王军勇，
申请(专利权)人：北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司，
类型：新型
国别省市：