【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀用陶瓷加热器
[0001]本技术涉及蒸镀用陶瓷加热器
，特别涉及一种蒸镀用陶瓷加热器。
技术介绍
[0002]目前不同行业对于加热器有特殊的要求，比如在制作太阳能薄膜电池和OLED柔性面板这种真空蒸镀工艺中，因为是在高真空环境下生产制作，所以对于加热器的要求更是极为严苛，对于具有多个加热区蒸镀加热装置，需要控制不同加热区的凝固结晶，因此，需要研发一种能够实现控制不同加热区的凝固结晶的蒸镀用陶瓷加热器。
技术实现思路
[0003](一)技术目的
[0004]本技术的目的是提供一种能够实现控制不同加热区的凝固结晶的蒸镀用陶瓷加热器。
[0005](二)技术方案
[0006]为解决上述问题，本技术实施例提供了一种蒸镀用陶瓷加热器，包括：加热器基体，为圆筒状；第一加热区和第二加热区，分别具有加热电路，所述第一加热区和所述第二加热区沿所述加热器基体的轴向依次设置在所述加热器基体的侧面；其中，所述第一加热区的加热电路宽度大于所述第二加热区的加热电路宽度，所述第一加热区和所述第二加热相邻的...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种蒸镀用陶瓷加热器，其特征在于，包括：加热器基体(10)，为圆筒状；第一加热区(11)和第二加热区(12)，分别具有加热电路，所述第一加热区(11)和所述第二加热区(12)沿所述加热器基体(10)的轴向依次设置在所述加热器基体(10)的侧面；其中，所述第一加热区(11)的加热电路宽度大于所述第二加热区(12)的加热电路宽度，所述第一加热区(11)和所述第二加热相邻的两个所述加热区间隔为10
‑
30mm。2.根据权利要求1所述的蒸镀用陶瓷加热器，其特征在于，还包括：电极(13)，位于所述加热器基体(10)的底面；其中，所述电极(13)两两相对设置，两个相对设置的所述电极(13)与所述加热器基体(10)底面的圆心连线夹角为150
°‑
180
°
。3.根据权利要求2所述的蒸镀用陶瓷加热器，其特征在于，所述电极(13)包括：导电层露出部(14)；安装孔(15)，位于所述导电层露出部(14)；其中，所述导电层露出部(14)的面积大于等于所述安装孔(15)面积。4.根据权利要求2或3所述的蒸镀用陶瓷加热器，其特征在于，多个所述电极(13)不重合设置。5.根据权利要求2所述的蒸镀用陶瓷加热器，其特征在于，所述加热器基体(...
【专利技术属性】
技术研发人员：何军舫，
申请(专利权)人：北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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