一种PBN薄壁工件检测装置制造方法及图纸

本技术公开了一种PBN薄壁工件检测装置，包括支撑底台，支撑底台的顶面上设置有圆度支撑机构、升降机构及投影图像测量仪；圆度支撑机构包括下锥台及上锥台，上锥台通过支撑组件设置于下锥台的上方；升降机构设置于支撑底台的顶面上与下锥台的底面固定的连接，用于驱动下锥台进行上下升降运动；投影图像测量仪包括发射端及接收端，发射端及接收端分别设置于支撑底台的顶面上位于圆度支撑机构的两侧，用于对PBN薄壁工件图像投影后进行外径尺寸的测量。本技术公开了一种PBN薄壁工件检测装置，整个过程测量过程简单便捷，避免了PBN薄壁工件的因卡尺等工具产生的变形，同时还提高了检测精度。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及坩埚检测用设备，尤其涉及一种pbn薄壁工件检测装置。

技术介绍

1、pbn薄壁工件为顶部和底部均敞口的异形筒状结构，在其生产后需要对其外径大小进行检测，由于其结构特点为壁厚较薄，在通过卡尺检测时测量处易发生形变，不仅检测结果误差大，还容易损坏坩埚；故本申请提出一种pbn薄壁工件检测装置，用于解决上述提出的在其外径大小检测时对pbn薄壁工件易发生损坏且检测结果不准确的问题。

技术实现思路

1、鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种pbn薄壁工件检测装置。

2、本技术提供的一种pbn薄壁工件检测装置，包括支撑底台，所述支撑底台的顶面上设置有圆度支撑机构、升降机构及投影图像测量仪；其中，

3、所述圆度支撑机构，包括下锥台及上锥台，所述上锥台通过支撑组件设置于所述下锥台的上方；

4、所述升降机构，设置于所述支撑底台的顶面上与所述下锥台的底面固定的连接，用于驱动所述下锥台进行上下升降运动；

5、所述投影图像测量仪，包括发射端及接收端，所述发射端及接收端分别本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种PBN薄壁工件检测装置，其特征在于，包括支撑底台，所述支撑底台的顶面上设置有圆度支撑机构、升降机构及投影图像测量仪；其中，

2.根据权利要求1所述的PBN薄壁工件检测装置，其特征在于，所述下锥台的中部对应所述支撑组件设置有贯穿通道。

3.根据权利要求2所述的PBN薄壁工件检测装置，其特征在于，所述支撑组件包括固定的设置于所述支撑底台的顶面上的支撑柱，所述支撑柱沿竖直方向上设置；所述支撑柱的顶面的中部沿其轴线方向设置有插接槽；对应所述插接槽设置有插接柱。

4.根据权利要求3所述的PBN薄壁工件检测装置，其特征在于，所述上锥台的底面固定的设置于所述...

【技术特征摘要】

1.一种pbn薄壁工件检测装置，其特征在于，包括支撑底台，所述支撑底台的顶面上设置有圆度支撑机构、升降机构及投影图像测量仪；其中，

2.根据权利要求1所述的pbn薄壁工件检测装置，其特征在于，所述下锥台的中部对应所述支撑组件设置有贯穿通道。

3.根据权利要求2所述的pbn薄壁工件检测装置，其特征在于，所述支撑组件包括固定的设置于所述支撑底台的顶面上的支撑柱，所述支撑柱沿竖直方向上设置；所述支撑柱的顶面的中部沿其轴线方向设置有插接槽；对应所述插接槽设置有插接柱。

4.根据权利要求3所述的pbn薄壁工件检测装置，其特征在于，所述上锥台的底面固定的设置于所述插接柱的顶面上；所述上锥台的顶面上固定的设置有把手。

5.根据权利要求4所述的pbn薄壁工件检测装置，其特征在于，所述升降机...

【专利技术属性】
技术研发人员：何军舫，王军勇，
申请(专利权)人：北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司，
类型：新型
国别省市：