【技术实现步骤摘要】
本技术涉及坩埚模具,尤其涉及一种坩埚生产用吊装模具。
技术介绍
1、坩埚在生产过程中,需要用到吊装模具,为了保证生产出来的坩埚的壁面之间薄厚均匀,采用坩埚吊装模具公转及自转的方式,但是吊装模具在自转时,由于基体与挂盘悬挂轴之间为螺纹连接,会导致基体与挂盘悬挂轴松脱的现象发生,导致生产出来的坩埚品质不好,或者基体掉落,坩埚直接报废;本申请提出一种坩埚生产用吊装模具,用于解决上述提出的基体与挂盘悬挂轴之间在旋转的过程中发生松脱的问题。
技术实现思路
1、鉴于现有技术中的上述缺陷或不足,期望提供一种坩埚生产用吊装模具。
2、本技术提供的一种坩埚生产用吊装模具,包括基体,所述基体的顶面上固定的设置有凸台;所述基体及凸台的顶端的中部螺纹设置有悬挂轴,所述悬挂轴与所述基体之间设置有防转机构,用于避免所述基体相对于所述悬挂轴转动导致松脱现象的发生;所述防转机构包括环形挡片,所述环形挡片与所述悬挂轴之间设置有键槽结构,用于防止所述环形挡片相对于所述悬挂轴的转动;所述环形挡片与所述基体之间设置有销钉组件,用于防止所述基体相对于所述环形挡片的转动。
3、优选的,所述键槽结构包括条形键及键槽,所述条形键固定的设置于所述悬挂轴的外侧壁面上,所述键槽设置于所述环形挡片的内圈面上与所述条形键相配合。
4、优选的,所述销钉组件包括销钉,所述基体的顶面上位于所述凸台的外侧对应所述销钉设置有销孔,所述环形挡片上对应所述销钉设置有通孔,所述销钉的一端穿过所述通孔并插入所述销孔的内部
5、优选的,所述条形键沿所述悬挂轴的轴线方向设置。
6、优选的,所述悬挂轴、凸台、环形挡片及基体同轴设置。
7、相对于现有技术而言,本技术的有益效果是:
8、本技术的坩埚生产用吊装模具,通过设置的防转机构,避免了基体与悬挂轴之间的转动;其中,通过设置于悬挂轴外侧壁面上的条形键,条形键与环形挡片上豁口形式的键槽相配合,防止了环形挡片相对于悬挂轴之间的转动;通过设置的销钉,销钉穿过通孔并插入销孔的内部,防止了基体相对于环形挡片的转动,进而实现了基体相对于悬挂轴的转动,避免了基体相对于悬挂轴因转动发生的松脱的现象,进而提高坩埚生产的合格率及品质。
9、应当理解,
技术实现思路
部分中所描述的内容并非旨在限定本技术的实施例的关键或重要特征,亦非用于限制本技术的范围。
10、本技术的其它特征将通过以下的描述变得容易理解。
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1.一种坩埚生产用吊装模具,其特征在于,包括基体,所述基体的顶面上固定的设置有凸台;所述基体及凸台的顶端的中部螺纹设置有悬挂轴,所述悬挂轴与所述基体之间设置有防转机构,用于避免所述基体相对于所述悬挂轴转动导致松脱现象的发生;所述防转机构包括环形挡片,所述环形挡片与所述悬挂轴之间设置有键槽结构,用于防止所述环形挡片相对于所述悬挂轴的转动;所述环形挡片与所述基体之间设置有销钉组件,用于防止所述基体相对于所述环形挡片的转动。
2.根据权利要求1所述的坩埚生产用吊装模具,其特征在于,所述键槽结构包括条形键及键槽,所述条形键固定的设置于所述悬挂轴的外侧壁面上,所述键槽设置于所述环形挡片的内圈面上与所述条形键相配合。
3.根据权利要求1所述的坩埚生产用吊装模具,其特征在于,所述销钉组件包括销钉,所述基体的顶面上位于所述凸台的外侧对应所述销钉设置有销孔,所述环形挡片上对应所述销钉设置有通孔,所述销钉的一端穿过所述通孔并插入所述销孔的内部设置。
4.根据权利要求1所述的坩埚生产用吊装模具,其特征在于,所述条形键沿所述悬挂轴的轴线方向设置。
5.根据
...【技术特征摘要】
1.一种坩埚生产用吊装模具,其特征在于,包括基体,所述基体的顶面上固定的设置有凸台;所述基体及凸台的顶端的中部螺纹设置有悬挂轴,所述悬挂轴与所述基体之间设置有防转机构,用于避免所述基体相对于所述悬挂轴转动导致松脱现象的发生;所述防转机构包括环形挡片,所述环形挡片与所述悬挂轴之间设置有键槽结构,用于防止所述环形挡片相对于所述悬挂轴的转动;所述环形挡片与所述基体之间设置有销钉组件,用于防止所述基体相对于所述环形挡片的转动。
2.根据权利要求1所述的坩埚生产用吊装模具,其特征在于,所述键槽结构包括条形键及键槽,所述条形键固定的设置...
【专利技术属性】
技术研发人员:何军舫,王军勇,
申请(专利权)人:北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司,
类型:新型
国别省市:
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