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本技术公开了一种PBN薄壁工件检测装置，包括支撑底台，支撑底台的顶面上设置有圆度支撑机构、升降机构及投影图像测量仪；圆度支撑机构包括下锥台及上锥台，上锥台通过支撑组件设置于下锥台的上方；升降机构设置于支撑底台的顶面上与下锥台的底面固定的连接...
该专利属于北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司授权不得商用。

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