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本实用新型公开了一种蒸镀用陶瓷加热器，包括：加热器基体，为圆筒状；第一加热区和第二加热区，分别具有加热电路，所述第一加热区和所述第二加热区沿所述加热器基体的轴向依次设置在所述加热器基体的侧面；其中，所述第一加热区的加热电路宽度大于所述第二加...
该专利属于北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司授权不得商用。

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