一种用于电子束蒸镀氧化铝薄膜的器皿制造技术

本实用新型专利技术涉及涉及电子束蒸镀领域，更具体的说是一种用于电子束蒸镀氧化铝薄膜的器皿；有益效果为能够得到不同尺寸的氧化铝薄膜。一种用于电子束蒸镀氧化铝薄膜的器皿，包括器皿本体，器皿本体内转动连接螺杆,与器皿本体内壁贴合的安装座螺纹连接在螺杆上，器皿本体上固定连接空心座，盖板配合连接在空心座上，盖板的两端皆设有插槽，器皿本体的两端皆插有挡板。所述空心座固定连接在水盒上，器皿本体位于水盒内。所述器皿本体内对称固定连接两个橡胶座。所述器皿本体的两端分别转动连接一个丝杠Ⅱ，两个挡板分别与两个丝杠Ⅱ螺纹连接。所述空心座内插有插架，盖板与插架配合连接。接。接。

【技术实现步骤摘要】
一种用于电子束蒸镀氧化铝薄膜的器皿


[0001]本技术涉及电子束蒸镀领域，更具体的说是一种用于电子束蒸镀氧化铝薄膜的器皿。

技术介绍

[0002]使用了电子束的蒸镀装置通过向配置在真空容器内的坩埚内的材料照射用规定电压加速了的电子来对所述材料进行加热，使坩埚内的材料蒸发，并且使蒸发了的材料附着在配置于真空容器内的、作为被蒸镀构件的基板的表面，由此形成薄膜。
[0003]蒸镀装置能对多种材料进行高速成膜，所以适合于各种用途，但是大多数通过向坩埚内的材料照射电子束所形成的薄膜的尺寸都是固定的，并不能对所形成的薄膜的尺寸进行调节。

技术实现思路

[0004]本技术提供一种用于电子束蒸镀氧化铝薄膜的器皿，其有益效果为能够得到不同尺寸的氧化铝薄膜。
[0005]一种用于电子束蒸镀氧化铝薄膜的器皿，包括器皿本体，器皿本体内转动连接螺杆,与器皿本体内壁贴合的安装座螺纹连接在螺杆上，器皿本体上固定连接空心座，盖板配合连接在空心座上，盖板的两端皆设有插槽，器皿本体的两端皆插有挡板。
[0006]所述空心座固定连接在水盒上，器皿本体位于水盒内。
[0007]所述器皿本体内对称固定连接两个橡胶座。
[0008]所述器皿本体的两端分别转动连接一个丝杠Ⅱ，两个挡板分别与两个丝杠Ⅱ螺纹连接。
[0009]所述空心座内插有插架，盖板与插架配合连接。
[0010]所述空心座和插架之间通过丝杠Ⅰ连接。
[0011]所述插架上固定连接调节板，调节板上插有L型架，盖板固定连接在L型架上。
[0012]所述水盒的一端固定连接并连通进水管。
[0013]所述水盒的另一端固定连接并连通出水管。
[0014]所述螺杆的前端密封转动连接在器皿本体和水盒上，水盒上固定连接能够驱动螺杆转动的减速电机。
附图说明
[0015]下面结合附图和具体实施方法对本技术做进一步详细的说明。
[0016]图1和图2为一种用于电子束蒸镀氧化铝薄膜的器皿的结构示意图；
[0017]图3为器皿本体内部的结构示意图；
[0018]图4为器皿本体与挡板配合的结构示意图；
[0019]图5为空心座的结构示意图；
[0020]图6为水盒的结构示意图；
[0021]图7为盖板的结构示意图。
具体实施方式
[0022]参看图1至3，示出了按照本技术中能够得到不同尺寸的氧化铝薄膜的实施例的示意图；
[0023]一种用于电子束蒸镀氧化铝薄膜的器皿，包括器皿本体101，器皿本体101内通过密封轴承转动连接有螺杆201,安装座202与器皿本体101的内壁贴合，安装座202螺纹连接在螺杆201上，器皿本体101上焊接空心座102，盖板107配合连接在空心座102上，盖板107的前后两端皆设有插槽108，器皿本体101的左右两端皆插有挡板204；
[0024]将用于制备氧化铝薄膜的靶材放入到器皿本体101内，将电子枪插入到安装座202上，并通过旋入螺钉将电子枪固定在安装座202上，使电子枪的枪口对准靶材，将基片插入到盖板107上的两个插槽108内，然后控制盖板107向下滑动，使得盖板107带动基片向下进入到器皿本体101内，盖板107上与器皿本体101贴合处设有密封胶垫，进而保证了加工过程中器皿本体101内的密封效果，通过转动螺杆201带动安装座202从后至前移动，安装座202带动电子枪移动，向器皿本体101内的靶材照射电子束，电子的动能转换成热能使靶材加热融化蒸发，过程中产生的二次电子和反射电子沉积在基片上，成膜得到氧化铝薄膜；
[0025]当盖板107上的基片位于器皿本体101内时，向内插入两个挡板204，使得两个挡板204能够挡在基片的底面上，进而能够改变基片上用于成膜的面积，进而能够得到不同尺寸的氧化铝薄膜；
[0026]其次，盖板107带动其上的基片进入到器皿本体101内进行蒸镀操作，盖板107将器皿本体101的上端盖住，也避免了蒸镀过程中发生，材料发生喷溅至器皿本体101外部，烫伤操作人员的现象。
[0027]参看图1至2以及图6，示出了按照本技术中对器皿本体101进行水冷的实施例的示意图；
[0028]所述空心座102通过螺钉固定连接在水盒205上，器皿本体101位于水盒205内；
[0029]向水盒205中注入冷水，将器皿本体101置于水冷的水盒205中，可避免器皿本体101材料的污染，避免加工过程中的高温造成器皿本体101损坏。
[0030]参看图3至4，示出了按照本技术中固定靶材的实施例的示意图；
[0031]所述器皿本体101内对称固定连接两个橡胶座109；由于橡胶座109为橡胶材质，具备一定的回弹性，将靶材插入到两个橡胶座109内，两个橡胶座109能够将靶材的两端夹紧固定住。
[0032]参看图4，示出了按照本技术中调整挡板204位置的实施例的示意图；
[0033]所述器皿本体101的两端分别通过轴承转动连接一个丝杠Ⅱ203，两个挡板204分别与两个丝杠Ⅱ203螺纹连接；
[0034]当转动两个丝杠Ⅰ103时，能够带动两个挡板204在器皿本体101内滑动，进而改变两个挡板204插入到器皿本体101内的宽度，进而改变对基片的遮挡面积，从而能够在基片上成型出不同尺寸的氧化铝薄膜；
[0035]其次，丝杠Ⅱ203具备自锁性，使得挡板204移动后的位置能够固定。
[0036]参看图5，示出了按照本技术中带动盖板107上下移动的实施例的示意图；
[0037]所述空心座102内插有插架104，盖板107与插架104配合连接；通过改变插架104插入到空心座102内的长度，进而改变盖板107的竖向位置，从而实现带动盖板107上的基片向下滑动进入到器皿本体101内，或者带动成型后的氧化铝薄膜向上从器皿本体101内提出。
[0038]参看图5，示出了按照本技术中改变盖板107的竖直位置的实施例的示意图；
[0039]所述空心座102上转动连接丝杠Ⅰ103，插架104螺纹连接在丝杠Ⅰ103上，空心座102上固定连接有驱动丝杠Ⅰ103转动的驱动电机，驱动电机启动带动丝杠Ⅰ103转动，丝杠Ⅰ103带动插架104在空心座102内上下滑动，进而改变盖板107的竖直位置。
[0040]参看图5和图7，示出了按照本技术中能够得到不同密度的氧化铝薄膜的实施例的示意图；
[0041]所述插架104上通过螺钉固定连接调节板105，调节板105上插有L型架106，调节板105和L型架106之间通过两个螺钉固定，盖板107通过螺钉固定连接在L型架106上；当盖板107位于器皿本体101内时，通过改变L型架106在调节板105上的位置，进而能够改变盖板107与靶材之间的间距，进而能够使得靶材蒸发后沉积在基片上的密度，进而能够得到不同密度的氧化铝薄膜。
[0042]参看图6，示出了按照本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于电子束蒸镀氧化铝薄膜的器皿，其特征在于：包括器皿本体(101)，器皿本体(101)内转动连接有螺杆(201),与器皿本体(101)内壁贴合的安装座(202)螺纹连接在螺杆(201)上，器皿本体(101)上固定连接空心座(102)，盖板(107)配合连接在空心座(102)上，盖板(107)的两端皆设有插槽(108)，器皿本体(101)的两端皆插有挡板(204)。2.根据权利要求1所述的一种用于电子束蒸镀氧化铝薄膜的器皿，其特征在于：所述空心座(102)固定连接在水盒(205)上，器皿本体(101)位于水盒(205)内。3.根据权利要求2所述的一种用于电子束蒸镀氧化铝薄膜的器皿，其特征在于：所述器皿本体(101)内对称固定连接两个橡胶座(109)。4.根据权利要求1所述的一种用于电子束蒸镀氧化铝薄膜的器皿，其特征在于：所述器皿本体(101)的两端分别转动连接一个丝杠Ⅱ(203)，两个挡板(204)分别与两个丝杠Ⅱ(203)螺纹连接。5.根据权利要求2所述的一种用于电子束蒸镀氧化铝薄膜...

【专利技术属性】
技术研发人员：董家海，斯超波，
申请(专利权)人：浙江诺华陶瓷有限公司，
类型：新型
国别省市：