一种便于清洁的气相沉积炉制造技术

本实用新型专利技术涉及气相沉积炉领域，更具体的说是一种便于清洁的气相沉积炉。本便于清洁的气相沉积炉可以自动将炉体进行分离工作，从而便于对沉积炉内部设置的结构进行清洁。本装置的主要功能实现部分有整体结构、沉积结构和传送结构。其中沉积结构设置在整体结构上方，沉积结构与整体结构滑动连接，沉积结构设置在传送结构的下方，沉积结构与传送结构滑动连接，传送结构设置在整体结构上，传送结构与整体结构转动连接。整体结构是本装置的主要控制支持结构，能够承载支撑其余工作结构的正常作业；沉积结构主要实现化学气相沉积的反应过程，并且获得所需的沉积薄膜；传送结构主要为工作装置输送反应所需的混合气体，并且为工作装置提供水冷冷却效果。供水冷冷却效果。供水冷冷却效果。

【技术实现步骤摘要】
一种便于清洁的气相沉积炉


[0001]本技术涉及气相沉积炉领域，更具体的说是一种便于清洁的气相沉积炉。

技术介绍

[0002]例如公开号CN107604340A，该专利技术涉及一种化学气相沉积炉，其包括自下而上组装的用于盛放原料的一坩埚、配合坩埚使用的一坩埚盖、一沉积室、一收料盒、一导气管；所述坩埚盖上开设了连通坩埚和沉积室的若干第一通孔，所述收料盒上开设有连通沉积室和收料盒的一第二通孔，所述化学气相沉积炉还包括给坩埚加热的一第一加热器，所述收料盒内置一集尘室和盖设在集尘室上方的一集尘室盖板，所述集尘室盖板上开设连通集尘室和收料盒的一第三通孔。本专利技术化学气相沉积炉，结构合理，多级收集硫化锌产品，所制得的硫化锌不产生雾斑、雾层、花纹等缺陷，且硫化锌产品的整体厚度偏差小，产品转化率高。但是该化学气相沉积炉不能够自动将炉体进行分离工作。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种便于清洁的气相沉积炉，可以自动将炉体进行分离工作。
[0004]本技术的目的通过以下技术方案来实现：
[0005]本便于清洁的气相沉本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便于清洁的气相沉积炉，包括整体结构(11)、沉积结构(12)和传送结构(13)，其特征在于：所述沉积结构(12)设置在整体结构(11)上方，沉积结构(12)设置在传送结构(13)的下方，传送结构(13)设置在整体结构(11)上。2.根据权利要求1所述的一种便于清洁的气相沉积炉，其特征在于：所述整体结构(11)包括有控制装置(21)和传送轴体(22)，传送轴体(22)设置在控制装置(21)上方。3.根据权利要求2所述的一种便于清洁的气相沉积炉，其特征在于：所述整体结构(11)还包括有微波发生器(23)，微波发生器(23)设置在传送轴体(22)上方。4.根据权利要求3所述的一种便于清洁的气相沉积炉，其特征在于：所述整体结构(11)还包括有波导通路(24)和上盖体(25)，波导通路(24)设置在微波发生器(23)上，波导通路(24)设置在上盖体(25)上方。5.根据权利要求4所述的一种便于清洁的气相沉积炉，其特征在于：所述整体结构(11)还包括有沉积底座(26)，沉积底座(26)设置在控制装置(21)下方。6.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：董家海，
申请(专利权)人：浙江诺华陶瓷有限公司，
类型：新型
国别省市：