一种便于清洁的气相沉积炉制造技术

本实用新型专利技术涉及气相沉积炉领域，更具体的说是一种便于清洁的气相沉积炉。本便于清洁的气相沉积炉可以自动将炉体进行分离工作，从而便于对沉积炉内部设置的结构进行清洁。本装置的主要功能实现部分有整体结构、沉积结构和传送结构。其中沉积结构设置在整体结构上方，沉积结构与整体结构滑动连接，沉积结构设置在传送结构的下方，沉积结构与传送结构滑动连接，传送结构设置在整体结构上，传送结构与整体结构转动连接。整体结构是本装置的主要控制支持结构，能够承载支撑其余工作结构的正常作业；沉积结构主要实现化学气相沉积的反应过程，并且获得所需的沉积薄膜；传送结构主要为工作装置输送反应所需的混合气体，并且为工作装置提供水冷冷却效果。供水冷冷却效果。供水冷冷却效果。

【技术实现步骤摘要】
一种便于清洁的气相沉积炉


[0001]本技术涉及气相沉积炉领域，更具体的说是一种便于清洁的气相沉积炉。

技术介绍

[0002]例如公开号CN107604340A，该专利技术涉及一种化学气相沉积炉，其包括自下而上组装的用于盛放原料的一坩埚、配合坩埚使用的一坩埚盖、一沉积室、一收料盒、一导气管；所述坩埚盖上开设了连通坩埚和沉积室的若干第一通孔，所述收料盒上开设有连通沉积室和收料盒的一第二通孔，所述化学气相沉积炉还包括给坩埚加热的一第一加热器，所述收料盒内置一集尘室和盖设在集尘室上方的一集尘室盖板，所述集尘室盖板上开设连通集尘室和收料盒的一第三通孔。本专利技术化学气相沉积炉，结构合理，多级收集硫化锌产品，所制得的硫化锌不产生雾斑、雾层、花纹等缺陷，且硫化锌产品的整体厚度偏差小，产品转化率高。但是该化学气相沉积炉不能够自动将炉体进行分离工作。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种便于清洁的气相沉积炉，可以自动将炉体进行分离工作。
[0004]本技术的目的通过以下技术方案来实现：
[0005]本便于清洁的气相沉积炉的主要功能实现部分有整体结构、沉积结构和传送结构。其中沉积结构设置在整体结构上方，沉积结构与整体结构滑动连接，沉积结构设置在传送结构的下方，沉积结构与传送结构滑动连接，传送结构设置在整体结构上，传送结构与整体结构转动连接。
[0006]本便于清洁的气相沉积炉的整体结构主要包括控制装置和传送轴体、微波发生器、波导通路、上盖体和沉积底座。其中传送轴体设置在控制装置上方，传送轴体与控制装置转动连接。微波发生器设置在传送轴体上方，微波发生器与传送轴体固定连接。波导通路设置在微波发生器上，波导通路与微波发生器固定连接，波导通路设置在上盖体上方，波导通路与上盖体固定连接。沉积底座设置在控制装置下方，沉积底座与控制装置固定连接。在控制装置上设置有明显的显示屏。其中上盖体上侧位置内部一般设置有模式转换器，上盖体内部通常设置有感应线圈，在上盖体与下侧结构相邻位置处应设置有一层石英窗。
[0007]本便于清洁的气相沉积炉的沉积结构主要包括沉积炉体、支撑座和观察窗。其中支撑座设置在沉积炉体中，支撑座与沉积炉体固定连接，沉积炉体设置在沉积底座上，沉积炉体与沉积底座滑动连接。观察窗固定设置在沉积炉体外壁上。通常等离子球与基片台的设置位置在支撑座下方。
[0008]本便于清洁的气相沉积炉的传送结构主要包括水冷环路和水冷管道、送气管道和传送支座。其中水冷管道设置在水冷环路上，水冷管道与水冷环路固定连接，水冷环路设置在上盖体上，水冷环路与上盖体固定连接。送气管道设置在水冷环路上，送气管道与水冷环路固定连接。传送支座固定设置在传送轴体上，水冷管道和送气管道均固定设置在传送支
座上。
[0009]本技术一种便于清洁的气相沉积炉的有益效果为：
[0010]本便于清洁的气相沉积炉可以自动将炉体进行分离工作，从而便于对沉积炉内部设置的结构进行清洁。本装置能够将分离的炉体位置固定，便于内部工作结构的装卸与清洗。整个分离装配过程均由装置自动进行，能够提高工作效率，并且一定程度上减少操作人员的安全隐患。同时本装置的结构设计合理，能够在多处对工作环境进行水冷降温工作，使得化学沉积反应更为可靠。综上所述，本装置工作原理简单、整体结构实用可靠、灵活性强且冷却效果好，可以投入到实际生产使用中。
附图说明
[0011]下面结合附图和具体实施方法对本技术做进一步详细的说明。
[0012]图1以立体图示意性显示了本技术的总装图；
[0013]图2以立体图示意性显示了本技术的整体结构；
[0014]图3以立体图示意性显示了本技术的沉积结构；
[0015]图4以立体图示意性显示了本技术的传送结构；
[0016]图5以立体图示意性显示了本技术的装置侧视图；
[0017]图6以立体图示意性显示了本技术的装置转动示意图；
[0018]图7以立体图示意性显示了本技术的装置滑动示意图。
[0019]图中：整体结构11；沉积结构12；传送结构13；控制装置21；传送轴体 22；微波发生器23；波导通路24；上盖体25；沉积底座26；沉积炉体31；支撑座32；观察窗33；水冷环路41；水冷管道42；送气管道43；传送支座44。
具体实施方式
[0020]具体实施方式将结合附图对本技术作进一步详细说明。
[0021]根据本技术一种便于清洁的气相沉积炉，实施方式结合图1至图7示出，其中可看出：
[0022]本便于清洁的气相沉积炉可以自动将炉体进行分离工作，从而便于对沉积炉内部设置的结构进行清洁。本装置的主要功能实现部分有整体结构11、沉积结构12和传送结构13。其中沉积结构12设置在整体结构11上方，沉积结构 12与整体结构11滑动连接，沉积结构12设置在传送结构13的下方，沉积结构 12与传送结构13滑动连接，传送结构13设置在整体结构11上，传送结构13 与整体结构11转动连接。整体结构11是本装置的主要控制支持结构，能够承载支撑其余工作结构的正常加工作业；沉积结构12主要实现化学气相沉积的反应过程，并且获得所需的沉积薄膜；传送结构13主要为工作装置输送反应所需的混合气体，并且为工作装置提供水冷冷却效果。
[0023]本便于清洁的气相沉积炉的整体结构11主要包括控制装置21和传送轴体 22、微波发生器23、波导通路24、上盖体25和沉积底座26。其中传送轴体22 设置在控制装置21上方，传送轴体22与控制装置21转动连接。微波发生器23 设置在传送轴体22上方，微波发生器23与传送轴体22固定连接。波导通路24 设置在微波发生器23上，波导通路24与微波发生器23固定连接，波导通路24 设置在上盖体25上方，波导通路24与上盖体25固定连接。沉积
底座26设置在控制装置21下方，沉积底座26与控制装置21固定连接。控制装置21主要负责控制本装置的化学反应各项环节，能够根据加工需要从而改变相关参数。在控制装置21上设置有明显的显示屏，能够将反应的实时进程显示在屏幕上，便于操作人员进行观察监控。传送轴体22不仅可以将冷却用水与反应所需混合气体进行传送，还可以相对于控制装置21进行转动，从而实现炉体的分离工作。微波发生器23首先进行工作，经由波导通路24到达上盖体25上侧位置。其中上盖体25上侧位置内部一般设置有模式转换器，上盖体25内部通常设置有感应线圈，在上盖体25与下侧结构相邻位置处应设置有一层石英窗，能够实现本装置的等离子化学气相沉积反应。
[0024]本便于清洁的气相沉积炉的沉积结构12主要实现化学气相沉积的反应过程，并且获得所需的沉积薄膜。沉积结构12主要包括沉积炉体31、支撑座32 和观察窗33。其中支撑座32设置在沉积炉体31中，支撑座32与沉积炉体31 固定连接，沉积炉体31设置在沉积底座26上，沉积炉体31与沉积底座26滑动连接。观察窗33固本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便于清洁的气相沉积炉，包括整体结构(11)、沉积结构(12)和传送结构(13)，其特征在于：所述沉积结构(12)设置在整体结构(11)上方，沉积结构(12)设置在传送结构(13)的下方，传送结构(13)设置在整体结构(11)上。2.根据权利要求1所述的一种便于清洁的气相沉积炉，其特征在于：所述整体结构(11)包括有控制装置(21)和传送轴体(22)，传送轴体(22)设置在控制装置(21)上方。3.根据权利要求2所述的一种便于清洁的气相沉积炉，其特征在于：所述整体结构(11)还包括有微波发生器(23)，微波发生器(23)设置在传送轴体(22)上方。4.根据权利要求3所述的一种便于清洁的气相沉积炉，其特征在于：所述整体结构(11)还包括有波导通路(24)和上盖体(25)，波导通路(24)设置在微波发生器(23)上，波导通路(24)设置在上盖体(25)上方。5.根据权利要求4所述的一种便于清洁的气相沉积炉，其特征在于：所述整体结构(11)还包括有沉积底座(26)，沉积底座(26)设置在控制装置(21)下方。6.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：董家海，
申请(专利权)人：浙江诺华陶瓷有限公司，
类型：新型
国别省市：