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本实用新型涉及气相沉积炉领域，更具体的说是一种便于清洁的气相沉积炉。本便于清洁的气相沉积炉可以自动将炉体进行分离工作，从而便于对沉积炉内部设置的结构进行清洁。本装置的主要功能实现部分有整体结构、沉积结构和传送结构。其中沉积结构设置在整体结构...
该专利属于浙江诺华陶瓷有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江诺华陶瓷有限公司授权不得商用。

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