一种管式气相沉积炉制造技术

本实用新型专利技术涉及气相炉设备技术领域，更具体的说是一种管式气相沉积炉。本实用新型专利技术提供一种管式气相沉积炉，其有益效果为可以实现使待加工物体均匀分布在管内，无法使得气体与待加工物体充分接触。一种管式气相沉积炉，包括管体、进料口、气孔、加热箱、连接板和底座，管体两端均设有进料口和气孔，加热箱滑动连接在管体上，管体连接在连接板上，连接板转动连接在底座上。一种管式气相沉积炉还包括挡片、固定螺栓和固定环，管体上可拆卸连接有两个挡片，多个固定螺栓分别螺纹连接在两个挡片上，两个固定环均固定连接在连接板上，两个固定环上设有多个螺纹孔，管体能够穿过两个固定环。管体能够穿过两个固定环。管体能够穿过两个固定环。

【技术实现步骤摘要】
一种管式气相沉积炉


[0001]本技术涉及气相炉设备
，更具体的说是一种管式气相沉积炉。

技术介绍

[0002]申请号为CN201821903801.9公开的一种LPCVD沉积炉，涉及沉积炉领域。该LPCVD沉积炉，包括底座，所述底座的顶部包括箱体、左支架和右支架，所述箱体的底部与底座的顶部固定连接，所述左支架位于箱体的左侧设置，所述左支架的底部与底座的顶部固定连接，左支架的右侧与箱体的左侧固定连接，右支架位于箱体的右侧设置，右支架的左侧与箱体的右侧固定连接，左支架的顶部包括左卡块，左卡块的底部后侧通过铰链与左支架的顶部后侧转动连接。该LPCVD沉积炉，通过在箱体的两侧设置左支架、左卡块、右支架和右卡块，从而达到了将沉积炉固定的目的，通过在箱体的两侧设置卡炉口和橡胶垫，在箱体的正面设置插板，从而解决了沉积炉体在箱体中不方便取出和放置的问题。但是该专利无法实现使待加工物体均匀分布在管内，无法使得气体与待加工物体充分接触。

技术实现思路

[0003]本技术提供一种管式气相沉积炉，其有益效果为可以实现使待加工物体均匀分布在管内，无法使得气体与待加工物体充分接触。
[0004]一种管式气相沉积炉，包括管体、进料口、气孔、加热箱、连接板和底座，管体两端均设有进料口和气孔，加热箱滑动连接在管体上，管体连接在连接板上，连接板转动连接在底座上。
[0005]一种管式气相沉积炉还包括挡片、固定螺栓和固定环，管体上可拆卸连接有两个挡片，多个固定螺栓分别螺纹连接在两个挡片上，两个固定环均固定连接在连接板上，两个固定环上设有多个螺纹孔，管体能够穿过两个固定环。
[0006]一种管式气相沉积炉还包括减速电机和丝杠，丝杠固定连接在减速电机的输出轴上，丝杠转动连接在两个固定环上，加热箱螺纹连接在丝杠上。
[0007]本技术一种管式气相沉积炉的有益效果为：
[0008]本技术能够使待加工物体均匀分布在管内，无法使得气体与待加工物体充分接触，并且使得物体能够与加热箱发出的热量均匀接触，提升沉积加工效果。
附图说明
[0009]下面结合附图和具体实施方法对本技术做进一步详细的说明。
[0010]图1为一种管式气相沉积炉的整体结构示意图一；
[0011]图2为一种管式气相沉积炉的整体结构示意图二；
[0012]图3为管体和分隔板的结构示意图；
[0013]图4为连接板和固定环的结构示意图；
[0014]图5为连接板和底座的结构示意图；
[0015]图6为加热箱和连接板的结构示意图；
[0016]图7为固定部的结构示意图。
[0017]图中：管体101；进料口102；气孔103；挡片104；固定螺栓105；均分板106；分隔板107；加热箱201；连接板301；固定环302；减速电机303；丝杠304；限位条305；滑槽306；底座401；液压缸402；传动部403；气缸404；固定部405。
具体实施方式
[0018]参看图1
‑
2，示出了按照本技术中使得落入管式气相沉积炉内的物料均匀分布在管内的实施例的示意图，进一步地，
[0019]由于两个进料口102和两个气孔103分布设置在管体101两端，管体101上滑动连接有加热箱201，连接板301上连接有管体101，底座401上转动连接有连接板301，通过两个进料口102将待加工物体加入至管体101内部，随后操作连接板301反复转动，从而使得待加工物体均匀分布在管体101内，随后通过两个气孔103将管体101内抽成真空，随后通过两个气孔103加入加工所需气体，随后对管体101进行密封并启动加热箱201，随后操作加热箱201在管体101上滑动，由于待加工物体均匀分布在管体101内，能够使得气体与待加工物体充分接触，并且使得物体能够与加热箱201发出的热量均匀接触，进一步提升沉积加工效果。
[0020]参看图3，示出了按照本技术中对管体101进行固定的实施例的示意图，进一步地，
[0021]由于两个挡片104可拆卸连接在管体101上，两个挡片104上均螺纹连接有多个固定螺栓105，连接板301上固定连接有两个固定环302，多个螺纹孔设置在两个固定环302上，两个固定环302内能够穿过管体101，工作人员将管体101穿过两个固定环302，随后将两个挡片104连接在管体101上，使得两个挡片104与两个固定环302接触，随后通过向两个固定环302上设有的多个螺纹孔内拧入多个固定螺栓105，从而对管体101进行固定，从而避免在转动连接板301时管体101发生不受控制的滑动，从而造成管体101跌落对管体101造成损坏的情况出现。
[0022]参看图4，示出了按照本技术中驱动加热箱201左右移动的实施例的示意图，进一步地，
[0023]由于减速电机303的输出轴上固定连接有丝杠304，两个固定环302上转动连接有丝杠304，丝杠304上螺纹连接有加热箱201，当待加工物品和气体加入管体101内部并启动加热箱201后，启动减速电机303从而使得丝杠304转动，丝杠304转动从而使得加热箱201在管体101上移动，从而对管体101内部的物品进行均匀加热，进一步提高沉积加工的效果。
[0024]参看图4，示出了按照本技术中对加热箱201滑动进行的移动进行限位的实施例的示意图，进一步地，
[0025]由于连接板301上固定连接有两个限位条305，两个限位条305上滑动连接有加热箱201，当工作人员操作减速电机303转动从而使得丝杠304转动，从而使得加热箱201能够在两个限位条305的限位下在两个限位条305上滑动，从而确保加热箱201能够在管体101上移动的进行。
[0026]参看图3，示出了按照本技术中将管体101内部进行分割的实施例的示意图，进一步地，
[0027]由于分隔板107固定连接在管体101内中部，分隔板107将管体101内分成两部分，从而使得在管体101两侧加入的物品能够更加均匀的分布在管体101内，防止由于管道过长，操作连接板301反复转动无法将待加工物品分布在管的中间部位。导致中间部位物体存量较少，从而无法保证加工效果。
[0028]参看图3，示出了按照本技术中进一步加强物体均匀分布效果的实施例的示意图，进一步地，
[0029]由于管体101内固定连接有多个均分板106，当操作连接板301反复转动从而使得管体101转动时，位于管体101内部的物料通过多个均分板106的遮挡均匀的落在多个均分板106之间，并且每两个均分板106之间的物品含量大致相同，从而进一步加强物体均匀分布效果。
[0030]参看图4，示出了按照本技术中操作连接板301转动的实施例的示意图，进一步地，
[0031]由于两个滑槽306设置在连接板301上，两个滑槽306内分别滑动连接有两个传动部403，使用本装置时，能够操作两个传动部403在竖直方本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种管式气相沉积炉，其特征在于：包括管体(101)、进料口(102)、气孔(103)、加热箱(201)、连接板(301)和底座(401)，管体(101)两端均设有进料口(102)和气孔(103)，加热箱(201)滑动连接在管体(101)上，管体(101)连接在连接板(301)上，连接板(301)转动连接在底座(401)上。2.根据权利要求1所述的一种管式气相沉积炉，其特征在于：还包括挡片(104)、固定螺栓(105)和固定环(302)，管体(101)上可拆卸连接有两个挡片(104)，多个固定螺栓(105)分别螺纹连接在两个挡片(104)上，两个固定环(302)均固定连接在连接板(301)上，两个固定环(302)上设有多个螺纹孔，管体(101)能够穿过两个固定环(302)。3.根据权利要求2所述的一种管式气相沉积炉，其特征在于：还包括减速电机(303)和丝杠(304)，丝杠(304)固定连接在减速电机(303)的输出轴上，丝杠(304)转动连接在两个固定环(302)上，加热箱(201)螺纹连接在丝杠(304)上。4.根据权利要求3所述的一种管式气相沉积炉，其特征在于：还包括限位条(305)，两个限位条(305)固定连接在连接板(301)上，加热箱...

【专利技术属性】
技术研发人员：董家海，
申请(专利权)人：浙江诺华陶瓷有限公司，
类型：新型
国别省市：