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一种管式气相沉积炉制造技术
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下载一种管式气相沉积炉的技术资料
文档序号:31133047
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本实用新型涉及气相炉设备技术领域,更具体的说是一种管式气相沉积炉。本实用新型提供一种管式气相沉积炉,其有益效果为可以实现使待加工物体均匀分布在管内,无法使得气体与待加工物体充分接触。一种管式气相沉积炉,包括管体、进料口、气孔、加热箱、连接板...
该专利属于浙江诺华陶瓷有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江诺华陶瓷有限公司授权不得商用。
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