下载用于太阳能电池的金属有机化学气相沉积设备的技术资料

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一种用于太阳能电池的金属有机化学气相沉积设备,其包括沉积单元。所述沉积单元包括:基座,基板被安装在所述基座上;以及喷头,所述喷头用于通过将用于沉积所需的多种原料气体相混合来制备反应气体并且向所述基座提供所述反应气体。...
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