有机层沉积设备、有机发光显示装置及其制造方法制造方法及图纸

公开了有机发光显示装置、用于沉积有机发光显示装置的有机层的设备，以及通过使用该设备制造有机发光显示装置的方法。用于沉积有机层的设备包括沉积部，沉积部包括与衬底间隔开的沉积组件。沉积组件包括配置为加热沉积材料的沉积源、安装在沉积源上的沉积源喷嘴单元、面对沉积源喷嘴单元的多个图案板以及布置在沉积源与多个图案板之间的源遮板。沉积源喷嘴单元包括沉积喷嘴。多个图案板包括多个第一图案化缝隙和多个第二图案化缝隙中的至少一个。源遮板配置为根据沉积源与衬底的相对位置允许沉积材料穿过多个图案板中的一个。

Organic layer deposition apparatus, organic light emitting display device and method of manufacturing the same

Organic light emitting display device, apparatus for depositing organic layer of organic light emitting display device, and method of manufacturing organic light emitting display device using the same. An apparatus for depositing an organic layer includes a deposition portion including a deposition assembly spaced from the substrate. The sedimentary component includes heating deposition material deposition source, installed in the sedimentary source on the sedimentary source, sedimentary source facing the nozzle unit nozzle unit plate and a plurality of patterns arranged in a deposition source and a plurality of pattern plate between the source cover plate. The source nozzle unit includes a deposition nozzle. A plurality of pattern plates include at least one of a plurality of first patterned gaps and a plurality of second patterned gaps. The source shield is configured to allow the deposition material to pass through one of the plurality of pattern plates according to the relative position of the deposition source and the substrate.

【技术实现步骤摘要】
相关申请的交叉引用本申请要求于2015年10月27日提交的第10-2015-0149735号韩国专利申请的优先权和权益，该韩国专利申请通过引用并入本文，就各方面而言都如同在本文中完全阐述一样。
示例性实施方式涉及装置、设备和方法。更具体地，示例性实施方式涉及有机发光显示装置、用于沉积有机发光显示装置的有机层的设备、以及通过使用该设备制造有机发光显示装置的方法。
技术介绍
有机发光显示装置具有可视角度宽、对比度优良以及响应速度快的优点。由于这些优点，有机发光显示装置被定位为下一代显示装置。通常，有机发光显示装置具有这样的层，该层通过将具有图案的开口的精细金属掩模(FMM)紧密附接在衬底上以及将该层沉积在衬底上而形成，其中该图案与待形成的层的图案相同或者相似。然而，因为由大尺寸掩模的重量产生掩模的扭曲以及可由扭曲产生的图案的变形，所以使用精细金属掩模的方法具有不适于制造具有大尺寸母玻璃的大尺寸有机发光显示装置的限制。这与需要高清图案的当前趋势相对立。另外，执行将衬底与精细金属掩模对准和紧密附接的过程、执行沉积的过程以及随后将衬底与精细金属掩模分离的过程花费相当多的时间。因此，制造花费时间长并且生产效率低。在本
技术介绍
部分中公开的以上信息仅用于增强对本专利技术构思的背景的理解，以及因此，其可包括不形成在本国家中对于本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
技术实现思路
示例性实施方式提供了有机发光显示装置、用于沉积有机层的设备、以及通过使用该设备制造有机发光显示装置的方法。将在以下具体实施方式部分中陈述附加方面，以及附加方面将部分地通过本公开而变得显而易见或者可部分地通过对本专利技术构思的实践而习得。示例性实施方式公开了用于沉积有机层的设备，该设备具有沉积部，沉积部包括与衬底间隔开的沉积组件。沉积组件包括配置为加热沉积材料的沉积源、安装在沉积源上的沉积源喷嘴单元、面对沉积源喷嘴单元的多个图案板以及布置在沉积源与多个图案板之间的源遮板。沉积源喷嘴单元包括沉积喷嘴。多个图案板包括多个第一图案化缝隙和多个第二图案化缝隙中的至少之一。源遮板配置为根据沉积源与衬底的相对位置允许沉积材料穿过多个图案板中的一个。另一示例性实施方式公开了制造有机发光显示装置的方法。该方法包括：在装载部将衬底固定至移动部；通过使用设备的第一传送部在腔室内传送移动部，设备的第一传送部安装为穿过腔室；加热来自沉积组件的沉积源喷嘴单元的沉积材料；将加热的沉积材料穿过由源遮板开放的图案板；当衬底相对于沉积组件移动时，将沉积材料沉积在衬底的不同区域上，沉积组件间隔地布置在腔室内；以及通过使用第二传送部将移动部传送至装载部，第二传送部安装为穿过腔室。图案板面对沉积源喷嘴单元以及包括多个第一图案化缝隙和多个第二图案化缝隙中的至少之一，其中，多个第一图案化缝隙允许沉积材料到达衬底的不同区域中的第一区域，多个第二图案化缝隙允许沉积材料到达衬底的不同区域中的第二区域。示例性实施方式也公开了有机发光显示装置，该有机发光显示装置包括基衬底、布置在基衬底上的薄膜晶体管、布置在薄膜晶体管上的多个像素电极、布置在多个像素电极上的多个有机层以及布置在多个有机层上的多个相对电极。薄膜晶体管包括半导体活性层、与半导体活性层绝缘的栅电极、与半导体活性层接触的源电极以及与半导体活性层接触的漏电极。布置在基衬底上的多个有机层中的至少一个是通过使用如上所述的用于沉积有机层的设备形成的。以上概括性描述和以下详细描述是示例性的和解释性的，以及旨在提供对所要求保护的主题的进一步解释。附图说明附图示出了专利技术构思的示例性实施方式以及与说明书一起用来解释专利技术构思的原理，其中附图被包括以提供对专利技术构思的进一步理解以及被并入本说明书中并构成本说明书的一部分。图1是示出了根据示例性实施方式的用于沉积有机层的设备的平面概念图。图2是示出了图1中示出的用于沉积有机层的设备的部分的立体剖视图。图3是示出了图1中示出的用于沉积有机层的设备的沉积部的部分的剖视图。图4是示出了图1中示出的用于沉积有机层的设备的沉积组件和图案板的概念图。图5是示出了图4中示出的用于沉积有机层的设备的沉积源、图案板和源遮板的立体图。图6是示出了根据示例性实施方式的图5的图案板的平面概念图。图7是示出了根据示例性实施方式的图5的图案板的平面概念图。图8是示出了根据示例性实施方式的图5的图案板的平面概念图。图9是示出了根据示例性实施方式的图5的图案板的平面概念图。图10是示出了根据示例性实施方式的图5的图案板的平面概念图。图11、图12、图13、图14和图15是示出了在沉积工艺期间源遮板的操作的平面概念图。图16是示出了通过使用图1中示出的用于沉积有机层的设备制造的有机发光显示装置的部分的剖视图。具体实施方式为解释的目的，在以下描述中，为了提供对多种示例性实施方式的彻底理解而陈述许多具体细节。然而显而易见的是，多种示例性实施方式可在没有这些具体细节的情况下或者在具有一个或多个同等布置的情况下实行。在其它的情况下，为了避免不必要地模糊多种示例性实施方式，以框图形式示出了公知的结构和装置。在附图中，出于清晰和描述性目的，层、膜、面板、区域等的尺寸和相对尺寸可被夸大。另外，相同的附图标记表示相同的元件。当元件或层称为在另一元件或层“上(on)”、“连接至(connectedto)”另一元件或层或者“联接至(coupledto)”另一元件或层时，该元件或层可直接位于该另一元件或层上、直接连接至该另一元件或层或者直接联接至该另一元件或层，或者可存在中间元件或中间层。然而，当元件或层称为直接在另一元件或层上、直接连接至另一元件或层或者直接联接至另一元件或层时，则不存在中间元件或中间层。出于本公开的目的，“X、Y和Z中的至少一个”和“从由X、Y和Z组成的群组中选出的至少一个”可解释为仅X、仅Y、仅Z，或者X、Y和Z中的两个或者多个的任意组合，诸如，例如XYZ、XYY、YZ和ZZ。如本文中所使用的，术语“和/或”包括相关所列项目中的一个或者多个的任一组合或全部组合。虽然术语“第一”、“第二”等在本文中可用于描述多种元件、部件、区域、层和/或段，但是这些元件、部件、区域、层和/或段不应被这些术语所限制。这些术语用于将一个元件、部件、区域、层和/或段与另一元件、部件、区域、层和/或段区分开。因此，不背离本公开的教导的情况下，以下讨论的第一元件、第一部件、第一区域、第一层和/或第一段可称作第二元件、第二部件、第二区域、第二层和/或第二段。出于描述性目的，本文中可使用诸如“在……下方(beneath)”、“在……之下(below)”、“下方的(lower)”、“在……之上(above)”、“上方的(upper)”、“右方的(right)”、“左方的(left)”等与空间相关的术语，以及，从而以描述如图所示的一个元件或者特征相对于另一元件或者特征的关系。除了包括图中所描绘的定向之外，空间相关的术语旨在还包括设备在使用、操作和/或制造中的不同的定向。例如，如果图中的设备翻转，则描述为在其它元件或者特征“之下”或者“下方”的元件将定向在该其它元件或者特征“之上”。因此，该示例性术语“之下”可包括定向之上和定向之下两者。另外，设备可另外定向(旋转90本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于沉积有机层的设备，包括：沉积部，包括与衬底间隔开的沉积组件，其中，所述沉积组件包括：沉积源，配置为加热沉积材料；沉积源喷嘴单元，安装在所述沉积源上，所述沉积源喷嘴单元包括沉积喷嘴；多个图案板，面对所述沉积源喷嘴单元，所述多个图案板包括多个第一图案化缝隙和多个第二图案化缝隙中的至少之一；以及源遮板，布置在所述沉积源与所述多个图案板之间，所述源遮板配置为根据所述沉积源与所述衬底之间的相对位置允许所述沉积材料穿过所述多个图案板中的一个。

【技术特征摘要】
2015.10.27 KR 10-2015-01497351.用于沉积有机层的设备，包括：沉积部，包括与衬底间隔开的沉积组件，其中，所述沉积组件包括：沉积源，配置为加热沉积材料；沉积源喷嘴单元，安装在所述沉积源上，所述沉积源喷嘴单元包括沉积喷嘴；多个图案板，面对所述沉积源喷嘴单元，所述多个图案板包括多个第一图案化缝隙和多个第二图案化缝隙中的至少之一；以及源遮板，布置在所述沉积源与所述多个图案板之间，所述源遮板配置为根据所述沉积源与所述衬底之间的相对位置允许所述沉积材料穿过所述多个图案板中的一个。2.根据权利要求1所述的设备，其中：所述多个图案板排列在相同平面上；以及所述源遮板配置为允许所述沉积材料沉积在所述衬底的第一区域和所述衬底的第二区域中的至少之一上。3.根据权利要求1所述的设备，其中，所述多个图案板中的相邻图案板相对于与经过所述相邻图案板之间的空间的所述衬底的移动方向平行的任意直线交替地布置。4.根据权利要求1所述的设备，其中，所述多个第一图案化缝隙中的每个以第一间隔间隔开，以及所述多个第二图案化缝隙中的每个以第二间隔间隔开，所述第二间隔与所述第一间隔相同或者不同。5.根据权利要求1所述的设备，其中所述衬底的第一区域的面积与所述衬底的第二区域的面积不同。6.根据权利要求1所述的设备，其中：所述源遮板包括第一遮板和第二遮板；以及所述源遮板配置为根据所述第一遮板和所述第二遮板的相对移动阻挡或者开放所述沉积材料的从所述沉积源起的路径。7.制造有机发光显示装置的方法，所述方法包括：在装载部将衬底固定至移动部；通过使用第一传送部在腔室内传送所述移动部，所述第一传送部安装为穿过所述腔室；加热来自沉积组件的沉积源喷嘴单元的沉积材料；使所加热的沉积材料穿过由源遮板开放的图案板；当所述衬底相对于所述沉积组件移动时，将所述沉积材料沉积在所述衬底的不同区域上，所述沉积组件间隔地布置在所述腔室内；在卸载部将具有所述沉积材料的所述衬底与...

【专利技术属性】
技术研发人员：金旻首，金武谦，瓦列里·普罗什金斯基，金茂显，李东规，李丙国，河在秀，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR