【技术实现步骤摘要】
201521124709
【技术保护点】
一种纳米材料真空镀膜一体机，其特征在于：设有一体机箱，一体机箱由四面侧板、顶盖和封闭连接的底板构成，所述一体机箱内设置有蒸发装置、裂解装置、真空镀膜装置和中央处理装置，所述蒸发装置的出口端与所述裂解装置的进口端连接，所述裂解装置的出口端与所述真空镀膜装置的进口端连接，所述中央处理装置分别与蒸发装置、裂解装置、真空镀膜装置电连接，所述四面侧板包括有机动侧门、用于开闭真空镀膜装置的前门、用于进入一体机箱的后门以及用于检测、维修总电路的电路侧门。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：肖桥兵，
申请(专利权)人：广东易能纳米科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44
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