一种金属化薄膜加工用真空镀膜机制造技术

本发明专利技术公开一种金属化薄膜加工用真空镀膜机，包括真空室以及设置在所述真空室中的喂入机构、镀膜机构、卷绕机构。喂入机构包括第一升降机构、喂入装置；在喂入机构与镀膜机构之间设置有预热机构；第一蒸发舟的顶部开口区域设置有调节第一蒸发舟开口大小的第一活动板组件；第二蒸发舟的顶部开口区域设置有调节第二蒸发舟开口大小的第二活动板组件；在喂入机构与镀膜机构之间、镀膜机构与卷绕机构之间均设置有薄膜限位装置；卷绕机构包括第五升降机构、卷绕装置；第五升降机构的伸缩端与卷绕装置配合用以带动卷绕装置上下运动。本发明专利技术具有的自动化程度高、补料/收料方便、及时、预热均匀、预热量可调、适用多种型号膜的加工、镀膜厚度可调的优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及镀膜机
，尤其涉及一种金属化薄膜加工用真空镀膜机。
技术介绍
金属化薄膜作为电容器的主要部件，其质量的好坏直接影响电容器的使用寿命。目前，金属化薄膜主要通过真空镀膜机加工制备，包括绝缘薄膜喂入机构、镀膜机构、以及镀入金属层后的薄膜卷绕机构。然而，现有技术的真空镀膜机存在以下不足之处：（1）由于镀上的金属层如铝容易氧化，所以整个加工设备均在真空条件下进行，而作为喂入绝缘薄膜的喂入机构通常采用喂入辊，其卷绕绝缘薄膜的量有限，当喂入辊上的绝缘薄膜快退绕结束时，需要重新换辊子或者重新卷绕薄膜，如专利申请公开的201320431310.X超高方阻金属化膜用真空镀膜机、专利申请201310324470.9公开的一种软绕蒸发式真空镀膜机均存在上述问题。专利申请200910303404.7公开的真空镀膜机通过载盘载入薄膜配合传送机构实现薄膜的不间断喂入，但是用载盘载入薄膜毕竟量少，无法满足工业的大量生产要求，在补料的方便性、及时性方面均有待提高。（2）现有真空镀膜机在喂入装置喂入后，直接通过镀膜机构进行镀膜的话，绝缘薄膜表面的温度较低，镀膜稳定性差。解决方法是通过设置预热装置来提高其表面的界面作用。但是，预热装置大都是固定型的，不可调，造成预热不均匀。现有技术如专利申请201520245919.7公开的一种真空镀膜设备虽然提供了可沿着弧形导轨运动的加热装置并通过金属挠性软管实现加热装置角度可调，但是，该结构是利用金属挠性软管自身的物理性质进行弯曲，不方便自动调节的实现；另外，弧形导轨运动能带动加热装置运动只能实现线性二维调节，不能满足立体三维的调节，难以实现预热强度的控制，预热均匀性也有待提高。（3）镀膜机构通过蒸发舟熔融金属，使得金属蒸发至蒸镀鼓表面的绝缘薄膜，形成金属层，实现镀膜工艺。但是，传统的镀膜机构其蒸镀鼓与蒸发舟之间的距离多为定值；而且，蒸发舟的开口大小也是固定的，根据基膜上金属镀层的厚度t0=w0/（πph2），可知，通过调节蒸发舟的开口大小以及蒸镀鼓与蒸发舟之间的距离能控制金属镀层的厚度。（4）有的金属化薄膜在铝膜的基础上，再在中间区域再镀入一层加强层，通过二次镀膜提高薄膜的耐压性能以及自愈性能，因此，要求对应的镀膜配制两套蒸发舟，其中，与加强层对应蒸发舟的开口处需要设置屏蔽装置，如专利申请200810200949.0一种铝加厚金属化电容器用薄膜的真空蒸发镀膜机、专利申请201310324470.9一种软绕蒸发式真空镀膜机，通过屏蔽装置实现区域加厚效果。但是，现有的技术的屏蔽装置也多为固定式，另外屏蔽装置上的通槽结构、形状不可变，导致一台设置只能加工一种型号的膜，若能实现屏蔽装置自动可换、蒸发舟开口面积以及其与蒸镀鼓之间的间距可调，则能满足多种型号膜的生产。（5）卷绕装置存在的问题与喂入装置如出一辙，在收料的方便性、及时性方面均有待提高。（6）绝缘薄膜在运输过程中，若张力不均，会发现浮起的现象，影响薄膜的正常传输。
技术实现思路
本专利技术针对现有技术的不足，提供一种的自动化程度高、补料/收料方便、及时、预热均匀、预热量可调、适用多种型号膜的加工、镀膜厚度可调、传输平稳的金属化薄膜加工用真空镀膜机。本专利技术通过以下技术手段实现解决上述技术问题的：一种金属化薄膜加工用真空镀膜机，包括真空室以及设置在所述真空室中的喂入机构、预热机构、镀膜机构、卷绕机构；所述喂入机构、预热机构、镀膜机构、卷绕机构按照工艺流程从前至后依次设置；在所述喂入机构与镀膜机构之间、所述镀膜机构与卷绕机构之间均设置有薄膜限位装置；所述薄膜限位装置包括上薄膜限位组件以及下薄膜限位组件；所述上薄膜限位组件位于绝缘薄膜的上方，所述下薄膜限位组件位于薄膜的下方；所述上薄膜限位组件、下薄膜限位组件相向运动用以对薄膜进行限位；所述喂入机构包括第一升降机构、喂入装置；所述第一升降机构的伸缩端与所述喂入装置配合用以带动所述喂入装置上下运动；所述卷绕机构包括第五升降机构、卷绕装置；所述第五升降机构的伸缩端与卷绕装置配合用以带动所述卷绕装置上下运动；所述预热机构设置在所述真空室的内顶壁上；所述预热机构包括连杆传动机构、加热器、第一伸缩装置；所述连杆传动机构包括固定杆、传动杆；所述固定杆中位置较高的一端通过第二升降机构设置在所述真空室的内顶壁上，所述固定杆中位置较低的一端与所述传动杆中位置较高的一端铰接，所述传动杆中位置较低的一端安装有所述加热器；所述第一伸缩装置的固定端铰接在所述第二升降机构与所述固定杆的连接区域上，所述第一伸缩装置的另一端与所述传动杆铰接；所述镀膜机构包括第一蒸发镀膜装置、第二蒸发镀膜装置；所述第一蒸发镀膜装置包括第一蒸镀鼓、第一蒸发舟；所述第一蒸发舟设置在所述第一蒸镀鼓的下方；所述第一蒸发舟的顶部开口区域设置有调节所述第一蒸发舟开口大小的第一活动板组件；所述第二蒸发镀膜装置包括第二蒸镀鼓、第二蒸发舟、屏蔽装置；所述第二蒸发舟设置在所述第二蒸镀鼓的下方；所述第二蒸发舟的顶部开口区域设置有调节所述第二蒸发舟开口大小的第二活动板组件；所述屏蔽装置用以限定从所述第二蒸发舟的开口处蒸发出的金属落在绝缘薄膜上的宽度、区域。优选地：所述一接触件包括第一连接杆、第一滚轮，所述第一滚轮与所述绝缘薄膜的最外层滚动接触，所述第一连接杆位置较高的一端与所述第一挡板中位置较低的一端连接，所述第一连接杆位置较底的一端与所述第一滚轮滚动配合；述第二接触件包括第二连接杆、第二滚轮，所述第二滚轮与金属化薄膜的最外层滚动接触；所述第二连接杆位置较高的一端与所述第二挡板中位置较低的一端连接，所述第二连接杆位置较底的一端与所述第二滚轮转动配合。优选地：所述喂入机构还包括第一接近感应机构、第一自动输送装置；所述第一接近感应机构包括第一挡板、第一接触件；所述第一挡板中位置较高的一端转动配合地套设在第一支撑架上端的固定横杆上，所述第一挡板中位置较低的一端与所述第一接触件中位置较高的一端连接，所述第一接触件中位置较低的一端能与所述喂入辊中的绝缘薄膜的最外层接触；所述第一接近开关相对所述挡板设置在所述第一支撑架的固定横杆上；所述第一自动输送装置包括第一壳体、第一滚动轮；所述第一升降机构设置在所述第一壳体上，所述第一滚动轮安装在上述第一壳体的底部，所述第一滚动轮通过第二驱动装置驱动；在所述真空室中设置有第二接近开关，所述第二接近开关用以监测所述喂入机构在所述真空室中的位置，所述真空室外侧靠近所述真空室的进入端处设置有第三接近开关，所述第三接近开关用以监测所述喂入机构在真空室外的位置；在所述真空室的进入端处设置有进室门；所述卷绕机构还包括与第一自动输送装置结构相同的第二自动输送装置、第二接近感应机构；所述第二接近感应机构包括第二挡板、第二接触件；所述第二挡板中位置较高的一端转动配合地套设在第二支撑架上端的固定横杆上，所述第二挡板中位置较低的一端与所述第二接触件中位置较高的一端连接，所述第二接触件中位置较低的一端能与所述卷绕辊中的金属化薄膜的最外层接触；所述第四接近开关相对所述第二挡板设置在所述第二支撑架的固定横杆上；在所述真空室中设置有第五接近开关，所述第五接近开关用以监测所述卷绕机构在所述真空室中的位置，所述真空室外侧靠近所述真空室的出口端处设置有第六接近开关本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种金属化薄膜加工用真空镀膜机，包括真空室以及设置在所述真空室中的喂入机构、预热机构、镀膜机构、卷绕机构；所述喂入机构、预热机构、镀膜机构、卷绕机构按照工艺流程从前至后依次设置；其特征在于：在所述喂入机构与镀膜机构之间、所述镀膜机构与卷绕机构之间均设置有薄膜限位装置；所述薄膜限位装置包括上薄膜限位组件以及下薄膜限位组件；所述上薄膜限位组件位于绝缘薄膜的上方，所述下薄膜限位组件位于薄膜的下方；所述上薄膜限位组件、下薄膜限位组件相向运动用以对薄膜进行限位；所述喂入机构包括第一升降机构、喂入装置；所述第一升降机构的伸缩端与所述喂入装置配合用以带动所述喂入装置上下运动；所述卷绕机构包括第五升降机构、卷绕装置；所述第五升降机构的伸缩端与卷绕装置配合用以带动所述卷绕装置上下运动；所述预热机构设置在所述真空室的内顶壁上；所述预热机构包括连杆传动机构、加热器、第一伸缩装置；所述连杆传动机构包括固定杆、传动杆；所述固定杆中位置较高的一端通过第二升降机构设置在所述真空室的内顶壁上，所述固定杆中位置较低的一端与所述传动杆中位置较高的一端铰接，所述传动杆中位置较低的一端安装有所述加热器；所述第一伸缩装置的固定端铰接在所述第二升降机构与所述固定杆的连接区域上，所述第一伸缩装置的另一端与所述传动杆铰接；所述镀膜机构包括第一蒸发镀膜装置、第二蒸发镀膜装置；所述第一蒸发镀膜装置包括第一蒸镀鼓、第一蒸发舟；所述第一蒸发舟设置在所述第一蒸镀鼓的下方；所述第一蒸发舟的顶部开口区域设置有调节所述第一蒸发舟开口大小的第一活动板组件；所述第二蒸发镀膜装置包括第二蒸镀鼓、第二蒸发舟、屏蔽装置；所述第二蒸发舟设置在所述第二蒸镀鼓的下方；所述第二蒸发舟的顶部开口区域设置有调节所述第二蒸发舟开口大小的第二活动板组件；所述屏蔽装置用以限定从所述第二蒸发舟的开口处蒸发出的金属落在绝缘薄膜上的宽度、区域。...

【技术特征摘要】
1.一种金属化薄膜加工用真空镀膜机，包括真空室以及设置在所述真空室中的喂入机构、预热机构、镀膜机构、卷绕机构；所述喂入机构、预热机构、镀膜机构、卷绕机构按照工艺流程从前至后依次设置；其特征在于：在所述喂入机构与镀膜机构之间、所述镀膜机构与卷绕机构之间均设置有薄膜限位装置；所述薄膜限位装置包括上薄膜限位组件以及下薄膜限位组件；所述上薄膜限位组件位于绝缘薄膜的上方，所述下薄膜限位组件位于薄膜的下方；所述上薄膜限位组件、下薄膜限位组件相向运动用以对薄膜进行限位；所述喂入机构包括第一升降机构、喂入装置；所述第一升降机构的伸缩端与所述喂入装置配合用以带动所述喂入装置上下运动；所述卷绕机构包括第五升降机构、卷绕装置；所述第五升降机构的伸缩端与卷绕装置配合用以带动所述卷绕装置上下运动；所述预热机构设置在所述真空室的内顶壁上；所述预热机构包括连杆传动机构、加热器、第一伸缩装置；所述连杆传动机构包括固定杆、传动杆；所述固定杆中位置较高的一端通过第二升降机构设置在所述真空室的内顶壁上，所述固定杆中位置较低的一端与所述传动杆中位置较高的一端铰接，所述传动杆中位置较低的一端安装有所述加热器；所述第一伸缩装置的固定端铰接在所述第二升降机构与所述固定杆的连接区域上，所述第一伸缩装置的另一端与所述传动杆铰接；所述镀膜机构包括第一蒸发镀膜装置、第二蒸发镀膜装置；所述第一蒸发镀膜装置包括第一蒸镀鼓、第一蒸发舟；所述第一蒸发舟设置在所述第一蒸镀鼓的下方；所述第一蒸发舟的顶部开口区域设置有调节所述第一蒸发舟开口大小的第一活动板组件；所述第二蒸发镀膜装置包括第二蒸镀鼓、第二蒸发舟、屏蔽装置；所述第二蒸发舟设置在所述第二蒸镀鼓的下方；所述第二蒸发舟的顶部开口区域设置有调节所述第二蒸发舟开口大小的第二活动板组件；所述屏蔽装置用以限定从所述第二蒸发舟的开口处蒸发出的金属落在绝缘薄膜上的宽度、区域。2.根据权利要求1所述的一种金属化薄膜加工用真空镀膜机，其特征在于：所述一接触件包括第一连接杆、第一滚轮，所述第一滚轮与所述绝缘薄膜的最外层滚动接触，所述第一连接杆位置较高的一端与所述第一挡板中位置较低的一端连接，所述第一连接杆位置较底的一端与所述第一滚轮滚动配合；述第二接触件包括第二连接杆、第二滚轮，所述第二滚轮与金属化薄膜的最外层滚动接触；所述第二连接杆位置较高的一端与所述第二挡板中位置较低的一端连接，所述第二连接杆位置较底的一端与所述第二滚轮转动配合。3.根据权利要求1所述的一种金属化薄膜加工用真空镀膜机，其特征在于：所述喂入机构还包括第一接近感应机构、第一自动输送装置；所述第一接近感应机构包括第一挡板、第一接触件；所述第一挡板中位置较高的一端转动配合地套设在第一支撑架上端的固定横杆上，所述第一挡板中位置较低的一端与所述第一接触件中位置较高的一端连接，所述第一接触件中位置较低的一端能与所述喂入辊中的绝缘薄膜的最外层接触；所述第一接近开关相对所述挡板设置在所述第一支撑架的固定横杆上；所述第一自动输送装置包括第一壳体、第一滚动轮；所述第一升降机构设置在所述第一壳体上，所述第一滚动轮安装在上述第一壳体的底部，所述第一滚动轮通过第二驱动装置驱动；在所述真空室中设置有第二接近开关，所述第二接近开关用以监测所述喂入机构在所述真空室中的位置，所述真空室外侧靠近所述真空室的进入端处设置有第三接近开关，所述第三接近开关用以监测所述喂入机构在真空室外的位置；在所述真空室的进入端处设置有进室门；所述卷绕机构还包括与第一自动输送装置结构相同的第二自动输送装置、第二接近感应机构；所述第二接近感应机构包括第二挡板、第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈艺辉，
申请(专利权)人：铜陵市铜创电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34