金属化薄膜专用真空镀膜机制造技术

本实用新型专利技术涉及金属化薄膜专用真空镀膜机，包括卷绕室和镀膜室，卷绕室中设置有放卷辊、放膜过渡辊、第一张力调节辊、第一展平辊、冷却辊、压辊、第二张力调节辊、导辊、第二展平辊、牵引辊和收券辊，冷却辊包括两端均敞开的筒体，筒体的尾端设置有后闷盖，后闷盖的内侧中央设置有转轴，转轴外设置有吊链和配重球，吊链和配重球均设置在筒体的内部。所述金属化薄膜专用真空镀膜机中的冷却辊散热效率高，冷却水与冷却辊的热交换效率高，冷却辊中的水压低，冷却辊的使用寿命提高；通过冷却辊能够及时将薄膜上的热量迅速散发，避免持续高温使得薄膜发生变形，提高金属化薄膜的质量。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及金属化薄膜专用真空镀膜机，属于电容器

技术介绍
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要技术是分成蒸发和溅射两种。在真空镀膜机中，需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点-岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。在真空镀膜机中，冷却辊能控制真空镀膜机中的温度，避免蒸镀时持续的高温使得镀件（金属化薄膜）发生变形，以保证镀件（金属化薄膜）的高质量。但是，现有的冷却辊散热效率有限，冷却辊中的冷却水与冷却辊本身的热交换效率较低。
技术实现思路
本技术针对现有技术存在的不足，提供了金属化薄膜专用真空镀膜机，具体技术方案如下：金属化薄膜专用真空镀膜机，包括卷绕室和镀膜室，所述卷绕室中设置有放卷辊、放膜过渡辊、第一张力调节辊、第一展平辊、冷却辊、压辊、第二张力调节辊、导辊、第二展平辊、牵引辊和收券辊，所述镀膜室中设置有蒸发坩埚，蒸发坩埚设置在冷却辊的正下方；所述冷却辊包括两端均敞开的筒体，筒体的尾端设置有后闷盖，后闷盖与筒体固定连接；所述筒体的首端设置有前闷盖，前闷盖与筒体固定连接；前闷盖中央设置有安装孔，所述筒体的内部设置有两端均敞开的内管，内管与筒体之间设置有连杆，内管与筒体之间通过连杆固定连接；所述前闷盖的外侧设置有定接头，定接头与筒体之间设置有旋转接头，旋转接头的尾端设置在筒体的内部且旋转接头的尾端与内管的出水端之间设置有间隙，所述定接头中设置有进水腔、排水腔、冷却水入口和冷却水出口，冷却水入口与进水腔连通，冷却水出口与排水腔连通，所述旋转接头的首端伸入进水腔，进水腔与旋转接头的内腔连通，旋转接头的内腔与筒体的内腔连通，旋转接头与定接头之间设置有第一轴承，旋转接头与定接头之间通过第一轴承活动连接；所述旋转接头的中央设置有横管，横管的首端伸入内管的出水端，横管的首端与内管的出水端之间设置有第二轴承，横管与内管之间通过第二轴承活动连接，横管的尾端与定接头固定连接且横管的内腔与排水腔连通，横管的内腔与内管的内腔连通；所述内管的进水端与后闷盖之间设置有间隙，后闷盖的内侧中央设置有转轴，转轴外设置有吊链和配重球，吊链和配重球均设置在筒体的内部，吊链的一端与转轴固定连接，吊链的另一端与配重球固定连接。作为上述技术方案的改进，所述筒体的内壁上设置有多个斜板，斜板的尾端与筒体的内壁固定连接，斜板的首端与内管的外壁之间设置有间隙，斜板上设置有若干个通孔。本技术所述金属化薄膜专用真空镀膜机中的冷却辊散热效率高，冷却水与冷却辊的热交换效率高，冷却辊中的水压低，冷却辊的使用寿命提高；通过冷却辊能够及时将薄膜上的热量迅速散发，避免持续高温使得薄膜发生变形，提高金属化薄膜的质量。附图说明图1为本技术所述金属化薄膜专用真空镀膜机结构示意图；图2为本技术所述冷却辊结构示意图。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。如图1~2所示，所述金属化薄膜专用真空镀膜机，包括卷绕室1和镀膜室20，所述卷绕室1中设置有放卷辊2、放膜过渡辊3、第一张力调节辊4、第一展平辊5、冷却辊6、压辊7、第二张力调节辊8、导辊9、第二展平辊10、牵引辊11和收券辊12，所述镀膜室20中设置有蒸发坩埚13，蒸发坩埚13设置在冷却辊6的正下方，所述冷却辊6包括两端均敞开的筒体60，筒体60的尾端设置有后闷盖601，后闷盖601与筒体60固定连接；所述筒体60的首端设置有前闷盖602，前闷盖602与筒体60固定连接；前闷盖602中央设置有安装孔，所述筒体60的内部设置有两端均敞开的内管61，内管61与筒体60之间设置有连杆62，内管61与筒体60之间通过连杆62固定连接；所述前闷盖602的外侧设置有定接头63，定接头63与筒体60之间设置有旋转接头64，旋转接头64的尾端设置在筒体60的内部且旋转接头64的尾端与内管61的出水端之间设置有间隙，所述定接头63中设置有进水腔631、排水腔632、冷却水入口633和冷却水出口634，冷却水入口633与进水腔631连通，冷却水出口634与排水腔632连通，所述旋转接头64的首端伸入进水腔631，进水腔631与旋转接头64的内腔连通，旋转接头64的内腔与筒体60的内腔连通，旋转接头64与定接头63之间设置有第一轴承65，旋转接头64与定接头63之间通过第一轴承65活动连接；所述旋转接头64的中央设置有横管66，横管66的首端伸入内管61的出水端，横管66的首端与内管61的出水端之间设置有第二轴承67，横管66与内管61之间通过第二轴承67活动连接，横管66的尾端与定接头63固定连接且横管66的内腔与排水腔632连通，横管66的内腔与内管61的内腔连通；所述内管61的进水端与后闷盖601之间设置有间隙，后闷盖601的内侧中央设置有转轴68，转轴68外设置有吊链39和配重球610，吊链39和配重球610均设置在筒体60的内部，吊链39的一端与转轴68固定连接，吊链39的另一端与配重球610固定连接。进一步地，所述筒体60的内壁上设置有多个斜板611，斜板611的尾端与筒体60的内壁固定连接，斜板611的首端与内管61的外壁之间设置有间隙，斜板611上设置有若干个通孔6111。放卷辊2中放出薄膜21，薄膜21依次经过放膜过渡辊3、第一张力调节辊4、第一展平辊5、冷却辊6、压辊7、第二张力调节辊8、导辊9、第二展平辊10和牵引辊11后在收券辊12处收卷；其中，第一张力调节辊4和第二张力调节辊8调节薄膜21在运行时的张力；第一展平辊5和第二展平辊10具有弯曲的薄膜21再次展平的能力；蒸发坩埚13中产生的金属蒸气被镀在薄膜21上，冷却辊6能将正在镀膜的薄膜21上的热量迅速散发，避免持续高温使得薄膜21发生变形。冷却辊6的工作过程如下：当筒体60旋转时，在第一轴承65的作用下，定接头63可固定不动，第一轴承65可选用防水密封轴承，具有防漏水效果，第二轴承67可选用全封闭式轴承；冷却水从冷却水入口633进入到进水腔631中，然后通过旋转接头64的内腔进入到筒体60的内腔中，筒体60的外壁与正在蒸镀的薄膜21发生热交换且筒体60的内壁与筒体60中的冷却水也发生热交换，给在蒸镀的薄膜21冷却，发生热交换的冷却水从内管61的进水端进入，从内管61的出水端进入到横管66，横管66中的冷却水流到排水腔632、从冷却水出口634中向外排出，完成循环。其中，在筒体60旋转时，在惯性的作用下，带动配重球610也随之沿着转轴68发生转动，配重球610在旋转过程中不但产生离心力使得靠近后闷盖601处的冷却水被不断搅拌，使得筒体60中的冷却水被充分搅拌，冷却辊6的换热效果进一步提高，而且在离心力的作用下，使得靠近后闷盖601处的冷却水更易被压入内管61的进水端，便于冷却水排出，使得冷却水的水压可进一步降低，降低第一轴承65的压力，本文档来自技高网...

【技术保护点】
金属化薄膜专用真空镀膜机，包括卷绕室（1）和镀膜室（20），所述卷绕室（1）中设置有放卷辊（2）、放膜过渡辊（3）、第一张力调节辊（4）、第一展平辊（5）、冷却辊（6）、压辊（7）、第二张力调节辊（8）、导辊（9）、第二展平辊（10）、牵引辊（11）和收券辊（12），所述镀膜室（20）中设置有蒸发坩埚（13），蒸发坩埚（13）设置在冷却辊（6）的正下方，其特征在于：所述冷却辊（6）包括两端均敞开的筒体（60），筒体（60）的尾端设置有后闷盖（601），后闷盖（601）与筒体（60）固定连接；所述筒体（60）的首端设置有前闷盖（602），前闷盖（602）与筒体（60）固定连接；前闷盖（602）中央设置有安装孔，所述筒体（60）的内部设置有两端均敞开的内管（61），内管（61）与筒体（60）之间设置有连杆（62），内管（61）与筒体（60）之间通过连杆（62）固定连接；所述前闷盖（602）的外侧设置有定接头（63），定接头（63）与筒体（60）之间设置有旋转接头（64），旋转接头（64）的尾端设置在筒体（60）的内部且旋转接头（64）的尾端与内管（61）的出水端之间设置有间隙，所述定接头（63）中设置有进水腔（631）、排水腔（632）、冷却水入口（633）和冷却水出口（634），冷却水入口（633）与进水腔（631）连通，冷却水出口（634）与排水腔（632）连通，所述旋转接头（64）的首端伸入进水腔（631），进水腔（631）与旋转接头（64）的内腔连通，旋转接头（64）的内腔与筒体（60）的内腔连通，旋转接头（64）与定接头（63）之间设置有第一轴承（65），旋转接头（64）与定接头（63）之间通过第一轴承（65）活动连接；所述旋转接头（64）的中央设置有横管（66），横管（66）的首端伸入内管（61）的出水端，横管（66）的首端与内管（61）的出水端之间设置有第二轴承（67），横管（66）与内管（61）之间通过第二轴承（67）活动连接，横管（66）的尾端与定接头（63）固定连接且横管（66）的内腔与排水腔（632）连通，横管（66）的内腔与内管（61）的内腔连通；所述内管（61）的进水端与后闷盖（601）之间设置有间隙，后闷盖（601）的内侧中央设置有转轴（68），转轴（68）外设置有吊链（39）和配重球（610），吊链（39）和配重球（610）均设置在筒体（60）的内部，吊链（39）的一端与转轴（68）固定连接，吊链（39）的另一端与配重球（610）固定连接。...

【技术特征摘要】
1.金属化薄膜专用真空镀膜机，包括卷绕室（1）和镀膜室（20），所述卷绕室（1）中设置有放卷辊（2）、放膜过渡辊（3）、第一张力调节辊（4）、第一展平辊（5）、冷却辊（6）、压辊（7）、第二张力调节辊（8）、导辊（9）、第二展平辊（10）、牵引辊（11）和收券辊（12），所述镀膜室（20）中设置有蒸发坩埚（13），蒸发坩埚（13）设置在冷却辊（6）的正下方，其特征在于：所述冷却辊（6）包括两端均敞开的筒体（60），筒体（60）的尾端设置有后闷盖（601），后闷盖（601）与筒体（60）固定连接；所述筒体（60）的首端设置有前闷盖（602），前闷盖（602）与筒体（60）固定连接；前闷盖（602）中央设置有安装孔，所述筒体（60）的内部设置有两端均敞开的内管（61），内管（61）与筒体（60）之间设置有连杆（62），内管（61）与筒体（60）之间通过连杆（62）固定连接；所述前闷盖（602）的外侧设置有定接头（63），定接头（63）与筒体（60）之间设置有旋转接头（64），旋转接头（64）的尾端设置在筒体（60）的内部且旋转接头（64）的尾端与内管（61）的出水端之间设置有间隙，所述定接头（63）中设置有进水腔（631）、排水腔（632）、冷却水入口（633）和冷却水出口（634），冷却水入口（633）与进水腔（631）连通，冷却水出口（634）与排水腔（632）连通...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈艺辉，
申请(专利权)人：铜陵市铜创电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34