硅片抓取装置及使用该装置的太阳能电池生产设备制造方法及图纸

本发明专利技术涉及太阳能电池加工装置技术领域，尤其是涉及一种硅片抓取装置及使用该装置的太阳能电池生产设备。所述的硅片抓取装置包括机架、第一机械臂、第二机械臂、电机、第一升降机构和第二升降机构；机架上安装有平移机构，电机用于驱动平移机构以使第一机械臂和第二机械臂沿机架的长度方向往复运动；第一升降机构与第一机械臂相连接，第二升降机构与第二机械臂相连接；第一机械臂与第二机械臂均设置有吸盘座，吸盘座的下表面设置有吸盘；第一机械臂的吸盘座与第二机械臂的吸盘座之间的距离为硅片边长的两倍。太阳能电池生产设备，包括载板和所述的硅片抓取装置。本发明专利技术能够节省空间，提高硅片的抓取和放置效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及太阳能电池加工装置
，尤其是涉及一种硅片抓取装置及使用该装置的太阳能电池生产设备。
技术介绍
晶硅太阳能电池具有工艺简单、太阳能转化效率较高等优点而被大规模应用，在晶硅电池的生产中，RIE干法制绒和PECVD真空镀膜是两个重要的真空工艺技术。RIE干法制绒是在真空化学气氛下经等离子激发形成低反射率的粗糙表面。而等离子强化的化学气相沉积(PECVD)真空镀膜是用在正表面氮化硅抗反射膜和背表面氧化铝和氮化硅钝化膜的形成。RIE干法制绒和PECVD真空镀膜技术的通常工艺流程为：将硅片在大气中放置在载板上，载板通过滚轮传输到装载腔中，在装载腔抽真空抽到10Pa左右；然后再传输到工艺腔接受RIE刻蚀或PECVD镀膜。工艺完成后，载板进入卸载腔(放气腔)，再将处理后的硅片从载板上取走。在这个过程中，硅片的放置速度和效率对后续工艺有着至关重要的影响。现有的硅片抓取装置占地面积大，而且对硅片的抓取和放置效率低，导致太阳能电池的生产效率下降。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种硅片抓取装置，已解决现有的硅片抓取装置存在的占用空间大、抓取和放置效率低的技术问题。本专利技术的目的还在于提供一种太阳能电池生产设备，以解决现有的太阳能电池生产设备因硅片抓取装置的抓取和放置效率低而导致的生产效率低的技术问题。基于上述第一目的，本专利技术提供了一种硅片抓取装置，包括机架、第一机械臂、第二机械臂、电机、第一升降机构和第二升降机构；所述机架上安装有平移机构，所述平移机构上连接有机械臂安装架，所述第一机械臂和所述第二机械臂均与所述机械臂安装架连接；所述电机用于驱动所述平移机构以使所述第一机械臂和所述第二机械臂沿所述机架的长度方向往复运动；所述第一升降机构与所述第一机械臂相连接，用于驱动所述第一机械臂升起或降落，所述第二升降机构与所述第二机械臂相连接，用于驱动所述第二机械臂升起或降落；所述第一机械臂与所述第二机械臂均设置有吸盘座，所述吸盘座的下表面设置有吸盘；所述吸盘用于吸附硅片；所述第一机械臂的吸盘座与所述第二机械臂的吸盘座之间的距离为所述硅片的边长的两倍。进一步的，所述平移机构包括直线导轨和丝杠；所述直线导轨固定安装于所述机架上，且所述直线导轨的长度方向与所述机架的长度方向相平行；所述丝杠设置在所述直线导轨的内部，所述丝杠上设置有平移滑块，所述平移滑块能够沿所述丝杠的长度方向往复移动；所述平移滑块设置有与所述直线导轨相配合的滑槽，所述电机用于驱动所述丝杠转动；所述机械臂安装架与所述平移滑块固定连接。进一步的，所述机架包括两个平行设置的架梁，所述平移机构为两个，其中，两个所述直线导轨分别固定安装于两个所述架梁上；所述电机通过同步传动装置驱动两个所述丝杠转动。进一步的，所述同步传动装置包括同步轴，所述电机通过所述同步轴驱动所述丝杠转动；所述同步轴固定连接有第一主锥齿轮和第二主锥齿轮；两个所述丝杠分别固定连接有第一从锥齿轮和第二从锥齿轮，所述第一主锥齿轮与所述第一从锥齿轮相啮合，所述第二主锥齿轮与所述第二从锥齿轮相啮合。进一步的，所述机械臂安装架的与所述机架长度方向相垂直的两个侧面上分别设置有第一升降滑轨和第二升降滑轨；所述第一机械臂包括第一机械臂连接板和吸盘安装架，所述第一机械臂连接板与所述吸盘安装架固定连接，所述第一机械臂连接板上设置有与所述第一升降滑轨相配合的第一滑块；所述第二机械臂包括第二机械臂连接板和所述吸盘安装架，所述第二机械臂连接板与所述吸盘安装架固定连接，所述第二机械臂连接板上设置有与所述第二升降滑轨相配合的第二滑块。进一步的，所述第一升降机构为第一升降气缸，所述第一升降气缸的活塞杆与所述第一机械臂连接板固定连接；所述第二升降机构为第二升降气缸，所述第二升降气缸的活塞杆与所述第二机械臂连接板固定连接。进一步的，所述机械臂安装架与所述平移滑块之间设置有加强筋板。进一步的，所述吸盘座设置在所述吸盘安装架上。进一步的，所述吸盘为伯努利吸盘。基于上述第二目的，本专利技术还提供了一种太阳能电池生产设备，包括载板和所述的硅片抓取装置，所述硅片抓取装置用于将所述硅片放置于所述载板上或将所述硅片从所述载板上取下。本专利技术提供的硅片抓取装置，通过在机械臂安装架上同时设置第一机械臂和第二机械臂，能够节省空间，提高硅片的抓取和放置效率。在使用时，放置有硅片的承接板到位后，通过电机驱动平移机构，以使第一机械臂和第二机械臂同时向载板所在的方向移动，当第一机械臂到达预吸附的硅片的正上方后，即当吸盘座的中心与硅片的中心的连线垂直于硅片所在平面时，由于第一机械臂的吸盘座与第二机械臂的吸盘座之间的距离为硅片的边长的两倍，此时，第二机械臂也处于其预吸附的硅片的正上方，电机停止工作；第一升降机构驱动第一机械臂下降，同时，第二升降机构驱动第二机械臂下降，直至吸盘到达吸取位置，通气，将硅片吸牢，然后第一升降机构驱动第一机械臂上升，同时，第二升降机构驱动第二机械臂上升；电机继续工作，第一机械臂和第二机械臂向载板所在的方向移动。到达载板的上方后，第一升降机构和第二升降机构分别同时驱动第一机械臂和第二机械臂下降，直至吸盘到达放置位置，停止对吸盘供气，将所吸附的硅片平稳地放置于载板的预定位置。本专利技术提供的硅片抓取装置，通过第一机械臂和第二机械臂同时对硅片进行抓取和放置，提高了硅片的抓取和放置效率，节约了时间。本专利技术提供的太阳能电池生产设备，通过使用本专利技术提供的硅片抓取装置，提高了硅片的抓取和放置效率，从而提高了太阳能电池的生产效率。附图说明为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例一提供的硅片抓取装置的结构示意图；图2为图1的主视图；图3为图1的俯视图；图4为图1中A处的局部放大图。图标：101-第一机械臂；102-第二机械臂；103-电机；104-机械臂安装架；105-吸盘；106-直线导轨；107-平移滑块；108-滑槽；109-架梁；110-承接板；111-载板；112-同步轴；113-第一升降滑轨；114-第二升降滑轨；115-第一机械臂连接板；116-吸盘安装架；117-第一滑块；118-第二机械臂连接板；119-第二滑块；120-加强筋板；121-第一升降气缸；122-第二升降气缸；123-吸盘座；124-真空吸盘；125-电磁阀；126-硅片。具体实施方式下面将结合附图对本专利技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅片抓取装置，其特征在于：包括机架、第一机械臂、第二机械臂、电机、第一升降机构和第二升降机构；所述机架上安装有平移机构，所述平移机构上连接有机械臂安装架，所述第一机械臂和所述第二机械臂均与所述机械臂安装架连接；所述电机用于驱动所述平移机构以使所述第一机械臂和所述第二机械臂沿所述机架的长度方向往复运动；所述第一升降机构与所述第一机械臂相连接，用于驱动所述第一机械臂升起或降落，所述第二升降机构与所述第二机械臂相连接，用于驱动所述第二机械臂升起或降落；所述第一机械臂与所述第二机械臂均设置有吸盘座，所述吸盘座的下表面设置有吸盘；所述吸盘用于吸附硅片；所述第一机械臂的吸盘座与所述第二机械臂的吸盘座之间的距离为所述硅片的边长的两倍。

【技术特征摘要】
1.一种硅片抓取装置，其特征在于：包括机架、第一机械臂、第二机械臂、电机、第一升降机构和第二升降机构；所述机架上安装有平移机构，所述平移机构上连接有机械臂安装架，所述第一机械臂和所述第二机械臂均与所述机械臂安装架连接；所述电机用于驱动所述平移机构以使所述第一机械臂和所述第二机械臂沿所述机架的长度方向往复运动；所述第一升降机构与所述第一机械臂相连接，用于驱动所述第一机械臂升起或降落，所述第二升降机构与所述第二机械臂相连接，用于驱动所述第二机械臂升起或降落；所述第一机械臂与所述第二机械臂均设置有吸盘座，所述吸盘座的下表面设置有吸盘；所述吸盘用于吸附硅片；所述第一机械臂的吸盘座与所述第二机械臂的吸盘座之间的距离为所述硅片的边长的两倍。2.根据权利要求1所述的硅片抓取装置，其特征在于：所述平移机构包括直线导轨和丝杠；所述直线导轨固定安装于所述机架上，且所述直线导轨的长度方向与所述机架的长度方向相平行；所述丝杠设置在所述直线导轨的内部，所述丝杠上设置有平移滑块，所述平移滑块能够沿所述丝杠的长度方向往复移动；所述平移滑块设置有与所述直线导轨相配合的滑槽，所述电机用于驱动所述丝杠转动；所述机械臂安装架与所述平移滑块固定连接。3.根据权利要求2所述的硅片抓取装置，其特征在于：所述机架包括两个平行设置的架梁，所述平移机构为两个，其中，两个所述直线导轨分别固定安装于两个所述架梁上；所述电机通过同步传动装置驱动两个所述丝杠转动。4.根据权利要求3所述的硅片抓取装置，其特征在于：所述同步传动装置包括同步轴，所述电机通过所述同步轴驱动所述丝杠转...

【专利技术属性】
技术研发人员：上官泉元，聂文杰，李跃平，
申请(专利权)人：江西比太科技有限公司，上海客辉自动化设备有限公司，
类型：发明
国别省市：江西;36