【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及硅片清洗工装领域，具体为一种硅片连接结构。
技术介绍
硅片清洗是硅棒在经过切割机切割后，将切割好的硅片与尚粘连的连接件一起运至清洗工位上进行清洗，现有一般采用硅棒夹具，其配置有传动机构及输送架，一旦生产流水线上需要多个硅片输送时，则对匹配输送架的数量要求高，相对来说增加了成本。
技术实现思路
针对上述问题，本专利技术提供了一种硅片连接结构，其结构简单，能可靠固定住硅片连接件便于清洗，针对多个硅片输送时，无需增设输送架。其技术方案是这样的，其包括硅片连接件、支撑杆，硅片粘连于所述硅片连接件上，所述支撑杆的一端设置有限位环，其特征在于：所述硅片连接件的中部设置有螺纹孔，所述支撑杆的另一端设置有螺纹，两根所述支撑杆的螺纹端连接所述螺纹孔。本专利技术的有益效果在于：硅片连接件的中部设置螺纹孔，两根一端设有螺纹的支撑杆的螺纹端连接螺纹孔，这样在运送硅片时，只要将两根支撑杆拧入硅片连接件，支撑杆架在输送机构上，再由限位环限位，即可很方便地进行运送，不需要配设更多的输送架等设备，成本相对降低。附图说明图1为本专利技术的结构示意图。具体实施方式见图1，本专利技术包括硅片连接件1、支撑杆2，硅片3粘连于硅片连接件1上，支撑杆2的一端设置有限位环4，硅片连接件1的中部设置螺纹孔5，支撑杆2的另一端设置螺纹，两根支撑杆2的螺纹端连接螺纹孔5。
【技术保护点】
一种硅片连接结构，其包括硅片连接件、支撑杆，硅片粘连于所述硅片连接件上，所述支撑杆的一端设置有限位环，其特征在于：所述硅片连接件的中部设置有螺纹孔，所述支撑杆的另一端设置有螺纹，两根所述支撑杆的螺纹端连接所述螺纹孔。
【技术特征摘要】
1.一种硅片连接结构，其包括硅片连接件、支撑杆，硅片粘连于所述硅片连接件上，所述支撑杆的一端设置有限位环，其特征在于：...
【专利技术属性】
技术研发人员：田芸，
申请(专利权)人：无锡市福曼科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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