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本发明提供了一种硅片连接结构，其结构简单，能可靠固定住硅片连接件便于清洗，针对多个硅片输送时，无需增设输送架。其包括硅片连接件、支撑杆，硅片粘连于所述硅片连接件上，所述支撑杆的一端设置有限位环，其特征在于：所述硅片连接件的中部设置有螺纹孔，...
该专利属于无锡市福曼科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡市福曼科技有限公司授权不得商用。

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