一种硅片烘干装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公布了一种硅片烘干装置，包括烘干槽，所述烘干槽上部设置有热风管道，通过风机将热风从热风管道吹入烘干槽；其特征在于：所述烘干槽内下部设置有多个喷嘴，所述喷嘴将设置在烘干槽下部的风机和热风通道提供的热风向上吹送。本实用新型专利技术对现有的硅片清洗机的硅片烘干装置进行改造，在烘干槽的下方另外增加了一路向上吹送热风的热风回路，使得热风能够均匀的吹到硅片上，且可以控制好热风的风向，与原有的热风回路相配合，提高硅片的烘干效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于硅片切割
，特别是涉及一种硅片烘干装置。
技术介绍
现有的硅片清洗机的硅片烘干装置通常是热风通过风机吹入烘干槽内。原烘干槽风量不均匀，热风从管道出来到槽体后没有一个均风系统，导致风口近端没有风或有少量风。这样会导致靠近风口处硅片不容易烘干。另外现有的烘干装置风向控制不良，热风从风口吹出后，是大部分先吹到对面槽壁上，再通过槽壁折射到底部，这样导致热风不是均匀向下流动。底部硅片不容烘干。
技术实现思路
本技术目的在于针对现有硅片清洗机的硅片烘干装置的缺陷，提供一种烘干效果更好的硅片烘干装置。本技术为实现上述目的，采用如下技术方案：一种硅片烘干装置，包括烘干槽，所述烘干槽上部设置有热风管道，通过风机将热风从热风管道吹入烘干槽；其特征在于：所述烘干槽内下部设置有多个喷嘴，所述喷嘴将设置在烘干槽下部的风机和热风通道提供的热风向上吹送。其进一步特征在于：所述烘干槽内设置有回风管道将烘干槽内的热风回流至风机，形成循环。优选的：所述风机包括第一风机和第二风机，所述热风管道包括第一热风管道和第二热风管道，所述回风管道包括第一回风管道和第二回风管道；所述第一风机、第一热风管道和第一回风管道形成一个热风回路；所述第二风机、第二热风管道、喷嘴和第二回风管道形成另一个热风回路。所述喷嘴为设置在多根热风管上的扇形喷嘴，使热风经过喷嘴后形成一个扇形风面。所述热风管为三根。本技术对现有的硅片清洗机的硅片烘干装置进行改造，在烘干槽的下方另外增加了一路向上吹送热风的热风回路，使得热风能够均匀的吹到硅片上，且可以控制好热风的风向，与原有的热风回路相配合，提高硅片的烘干效率。附图说明图1为本技术示意图。具体实施方式如图1所示一种硅片烘干装置，包括烘干槽5，所述烘干槽5上部设置有热风管道，通过风机将热风从热风管道吹入烘干槽；所述烘干槽5内设置有回风管道将烘干槽5内的热风回流至风机，形成循环，通过热风的循环减少热量的损失。所述烘干槽5内下部设置有三根热风管，所述热风管上设置有多个扇形的喷嘴1，使热风经过喷嘴1后形成一个扇形风面，所述喷嘴1将设置在烘干槽5下部的风机和热风通道提供的均匀的热风向上吹送。所述风机包括第一风机7和第二风机3，所述热风管道包括第一热风管道8和第二热风管道2，所述回风管道包括第一回风管道6和第二回风管道4；所述第一风机7、第一热风管道8和第一回风管道6形成一个热风回路；所述第二风机3、第二热风管道2、喷嘴1和第二回风管道4形成另一个热风回路。本技术对现有的硅片清洗机的硅片烘干装置进行改造，在烘干槽的下方另外增加了一路向上吹送热风的热风回路，使得热风能够均匀的吹到硅片上，且可以控制好热风的风向，与原有的热风回路相配合，提高硅片的烘干效率。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅片烘干装置，包括烘干槽，所述烘干槽上部设置有热风管道，通过风机将热风从热风管道吹入烘干槽；其特征在于：所述烘干槽内下部设置有多个喷嘴，所述喷嘴将设置在烘干槽下部的风机和热风通道提供的热风向上吹送。

【技术特征摘要】
1.一种硅片烘干装置，包括烘干槽，所述烘干槽上部设置有热风管道，通过风机将热风从热风管道吹入烘干槽；其特征在于：所述烘干槽内下部设置有多个喷嘴，所述喷嘴将设置在烘干槽下部的风机和热风通道提供的热风向上吹送。2.根据权利要求1所述的硅片烘干装置，其特征在于：所述烘干槽内设置有回风管道将烘干槽内的热风回流至风机，形成循环。3.根据权利要求2所述的硅片烘干装置，其特征在于：所述风机包括第一风机和第二风机，所述热...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘锋，刘爱军，陈新军，
申请(专利权)人：无锡隆基硅材料有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32