干式分片机制造技术

本申请公开了一种干式分片机，包括一对输送带

【技术实现步骤摘要】
干式分片机


[0001]本申请涉及半导体晶圆生产领域，特别是一种干式分片机
。

技术介绍

[0002]半导体晶圆在生产过程中需要进行分片，现有的分片为单独的机械手在花篮和输送带之间来回摆动进行输送，每放置一个晶圆需要一次往复摆动的时间，效率较低
。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种干式分片机，以克服现有技术中的不足
。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0005]本申请实施例公开了干式分片机，其特征在于：包括一对输送带
、
横向电缸和支撑台，一对所述输送带左右对称设置在支撑台的两侧，所述横向电缸水平设置在一对输送带和支撑台的上方，所述横向电缸上配合滑动连接有移动板，所述移动板上左右对称设有一对升降气缸，一对所述升降气缸分别设置在支撑台及其中一个输送带的正上方，所述升降气缸的输出端竖直向下设置且固定有升降板，所述升降板的底面固定有真空吸盘，所述真空吸盘具有进风端和出风端，所述支撑台上放置有花篮，所述支撑台的底面与升降电缸配合升降连接
。
[0006]优选的，在上述的干式分片机中，所述横向电缸与输送带垂直设置
。
[0007]优选的，在上述的干式分片机中，所述支撑台上方凹设有配合花篮卡入的卡槽
。
[0008]与现有技术相比，本技术的优点在于：
[0009]该干式分片机在移动板来回的同时，两个真空吸盘来回错位吸放，来回摆动一次的时间即可完成两个晶圆的输送，提高效率
。
附图说明
[0010]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动以根据这些附图获得其他的附图
。
[0011]图1所示为本技术具体实施例中干式分片机的主视图；
[0012]图2所示为本技术具体实施例中干式分片机的立体图
。
具体实施方式
[0013]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行详细的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围
。
[0014]参图1～2所示，本实施例中的干式分片机，包括一对输送带
1、
横向电缸2和支撑台3，一对输送带1左右对称设置在支撑台3的两侧，横向电缸2水平设置在一对输送带1和支撑台3的上方，横向电缸2上配合滑动连接有移动板4，移动板4上左右对称设有一对升降气缸5，一对升降气缸5分别设置在支撑台3及其中一个输送带1的正上方，升降气缸5的输出端竖直向下设置且固定有升降板6，升降板6的底面固定有真空吸盘7，真空吸盘7具有进风端8和出风端9，支撑台3上放置有花篮
10
，支撑台3的底面与升降电缸
11
配合升降连接
。
[0015]进一步的，横向电缸2与输送带1垂直设置
。
[0016]进一步的，支撑台3上方凹设有配合花篮
10
卡入的卡槽
12。
[0017]在该技术方案中，该干式分片机在移动板来回的同时，两个真空吸盘来回错位吸放，来回摆动一次的时间即可完成两个晶圆的输送，提高效率
。
[0018]需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序
。
而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程
、
方法
、
物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程
、
方法
、
物品或者设备所固有的要素
。
在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括要素的过程
、
方法
、
物品或者设备中还存在另外的相同要素
。
[0019]以上仅是本申请的具体实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围
。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种干式分片机，其特征在于：包括一对输送带
、
横向电缸和支撑台，一对所述输送带左右对称设置在支撑台的两侧，所述横向电缸水平设置在一对输送带和支撑台的上方，所述横向电缸上配合滑动连接有移动板，所述移动板上左右对称设有一对升降气缸，一对所述升降气缸分别设置在支撑台及其中一个输送带的正上方，所述升降气缸的输出端竖直向下设置且固定有升降板，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨宣教，刘荣轩，
申请(专利权)人：张家港市德昶自动化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：