夹持设备及检测系统技术方案

本公开提供一种夹持设备及检测系统，包括基板，被构造成沿竖直方向布置，基板的中部设置有适用于容纳外部的薄板的通孔；多个吸附机构，间隔的环绕通孔布置，吸附机构的吸附口面向通孔设置，适用于抵靠在薄板的一侧表面并形成负压，以将薄板保持在通孔内；以及消振机构，被构造成在与薄板的外沿接触的接触位置及与薄板相脱离的脱离位置之间移动，以在处于接触位置的状态下抵靠在薄板的外沿，以抑制薄板发生的至少一部分振动

【技术实现步骤摘要】
夹持设备及检测系统


[0001]本公开的至少一种实施例涉及半导体材料设备
，更具体地，涉及一种夹持设备及检测系统
。

技术介绍

[0002]对于一些被构造成圆形结构的半导体材料，如圆晶
、
光栅薄板及其他圆形结构的薄板在生产
、
运输
、
检测及使用过程中均需对该类材料进行夹持
。
[0003]例如，圆晶
(
即硅半导体集成电路制作所用的硅芯片
)
是生产集成电路所用的载体，依据直径可分为4英寸
、5
英寸
、6
英寸
、8
英寸甚至
12
英寸以上
。
针对直径越大的圆晶，其制造难度也相应增加，因此，需对制备的圆晶的各类参数进行相应的检测，具体包括
TTV(
总厚度变化
)
，
BOW(
弯曲度
)
及
Wrap(
翘曲度
)
等
。
[0004]目前，针对圆晶的检测过程，基于圆晶的不同布置方法主要可分为平置检测
、
浮液检测及立式检测
。
在平置检测中，由于重力的影响会导致圆晶发生应力变形，从而干扰检测的结果；浮液检测相较于平置检测可通过液体提供的浮力对重力导致的应力变形进行补偿，但由于需配置加注有液体的容器，因此，所占体积较大；立式检测则可至少部分克服上述两种布置方法的不足，但是，为使圆晶在检测过程中保持立式姿态则需配置相应的夹持设备，而夹持设备对圆晶所施加的夹持力则可能导致圆晶发生应力变形
。
为此，如何在维持圆晶的立式姿态的基础上，减少夹持设备对圆晶所施加的夹持力，以减小圆晶的应力形变成为亟待解决的技术问题
。

技术实现思路

[0005]为解决现有技术中的所述以及其他方面的至少一种技术问题，本公开提供一种夹持设备及检测系统
。
通过吸附机构将薄板吸附于基板上，有利于减小薄板由于应力作用所导致的应力形变，消振机构抵靠在薄板的外沿，适用于抑制由于外部环境的影响导致的薄板的至少一部分振动
。
[0006]本公开的实施例提供一种夹持设备，包括：基板，被构造成沿竖直方向布置，上述基板的中部设置有适用于容纳外部的薄板的通孔；多个吸附机构，间隔的环绕上述通孔布置，上述吸附机构的吸附口面向上述通孔设置，适用于抵靠在上述薄板的一侧表面并形成负压，以将上述薄板保持在上述通孔内；以及消振机构，被构造成在与上述薄板的外沿接触的接触位置及与上述薄板相脱离的脱离位置之间移动，以在处于上述接触位置的状态下抵靠在上述薄板的外沿，以抑制上述薄板发生的至少一部分振动
。
[0007]根据本公开的实施例，上述吸附机构设置于上述基板的第一面内
。
[0008]根据本公开的实施例，上述消振机构设置于上述基板的与上述第一面相背离的第二面内
。
[0009]根据本公开的实施例，上述消振机构被构造成对上述薄板所施加的力的延伸方向与上述薄板的延伸方向大致重合
。
[0010]根据本公开的实施例，夹持设备还包括多个限位机构，多个上述限位机构围绕上述通孔呈圆心对称和
/
或轴对称布置，具有向上述通孔的中心靠近的聚拢状态及远离上述通孔的收缩状态；上述限位机构响应于上述吸附机构的吸附动作，由上述收缩状态调节为上述聚拢状态，适用于在上述聚拢状态下，在多个上述限位机构之间限定小于上述通孔的面积的容纳空间，并与薄板的相面对的外沿形成间隙，以限制上述薄板偏移和
/
或翻转
。
[0011]根据本公开的实施例，上述通孔包括圆形孔
。
[0012]根据本公开的实施例，多个上述吸附机构沿上述通孔的周向间隔设置，一部分上述吸附机构被构造成适用于吸附上述薄板的下部，另一部分上述吸附机构被构造成适用于吸附上述薄板的上部
。
[0013]根据本公开的实施例，夹持设备还包括支承机构，设置于上述通孔的内缘的外沿的下部，以支承上述薄板
。
[0014]根据本公开的实施例，上述消振机构被构造成面对上述支承机构设置
。
[0015]本公开的实施例还提供一种检测系统，包括：机体；检测设备，配置于上述机体内，面向上述机体的中部设置；以及夹持设备，设置于上述机体内，适用于夹持半导体圆晶，以使上述半导体圆晶被立式的并面对上述检测设备的检测端布置
。
[0016]根据本公开提供的夹持设备及检测系统，沿竖直方向设置的基板用作夹持设备的安装基础
。
吸附机构适用于形成负压，并通过所设置的吸附口作用于薄板的表面，以对薄板施加沿厚度方向延伸的力吸附力，使薄板被吸附于基板所形成的通孔内，沿厚度方向的吸附力相较于沿薄板的径向方向施加的夹持力，不易使薄板发生应力形变，并且，还有利于提供较大的受力面积，使薄板受力均匀
。
消振机构适用于在接触位置抵靠在薄板的外沿，以抑制由于环境因素导致的薄板发生的至少一部分振动
。
附图说明
[0017]图1是根据本公开的一种示意性的实施例的夹持设备的立体图；
[0018]图2是图1所示的示意性的实施例的夹持设备的后视图；
[0019]图3是图1所示的示意性的实施例的夹持设备的正视图；以及
[0020]图4是根据本公开的一种示意性的实施例的检测系统的立体图
。
[0021]所述附图中，附图标记含义具体如下：
[0022]1、
夹持设备；
[0023]11、
限位机构；
[0024]12、
消振机构；
[0025]13、
基板；
[0026]131、
凹陷部；
[0027]132、
通孔；
[0028]14、
支承机构；
[0029]15、
吸附机构；
[0030]151、
吸附头；
[0031]2、
薄板；
[0032]3、
转移设备；
[0033]31、
驱动部；
[0034]32、
第一夹持臂；
[0035]33、
第二夹持臂；以及
[0036]4、
机体
。
具体实施方式
[0037]为使本公开的目的
、
技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本公开作进一步的详细说明
。
[0038]在此使用的术语仅仅是为了描述具体实施例，而并非意在限制本公开
。
在此使用的术语“包括”、“包含”等表明了所述特征
、
步骤
、
操作和
/
或部件的存在，但是并不排除存在或本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种夹持设备，其特征在于，包括：基板
(13)
，被构造成沿竖直方向布置，所述基板
(13)
的中部设置有适用于容纳外部的薄板
(2)
的通孔
(132)
；多个吸附机构
(15)
，间隔的环绕所述通孔
(132)
布置，所述吸附机构
(15)
的吸附口面向所述通孔
(132)
设置，适用于抵靠在所述薄板
(2)
的一侧表面并形成负压，以将所述薄板
(2)
保持在所述通孔
(132)
内；以及消振机构
(12)
，被构造成在与所述薄板
(2)
的外沿接触的接触位置及与所述薄板
(2)
相脱离的脱离位置之间移动，以在处于所述接触位置的状态下抵靠在所述薄板
(2)
的外沿，以抑制所述薄板
(2)
发生的至少一部分振动
。2.
根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述吸附机构
(15)
设置于所述基板
(13)
的第一面内
。3.
根据权利要求2所述的设备，其特征在于，所述消振机构
(12)
设置于所述基板
(13)
的与所述第一面相背离的第二面内
。4.
根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述消振机构
(12)
被构造成对所述薄板
(2)
所施加的力的延伸方向与所述薄板
(2)
的延伸方向大致重合
。5.
根据权利要求1所述的设备，其特征在于，还包括多个限位机构
(11)
，多个所述限位机构
(11)
围绕所述通孔
(132)
呈圆心对称和
/
或轴对称布置，具有向所述通孔
(132)
的中心靠近的聚拢状态及远离所述通孔
(132)
的收缩...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋德怀，张文喜，张逸博，赵思泽鹏，李学鑫，王悦飞，宋佳慧，伍洲，
申请(专利权)人：中国科学院空天信息创新研究院，
类型：发明
国别省市：