一种晶圆卡盘台制造技术

本发明专利技术的实施例提供了一种晶圆卡盘台，涉及晶圆加工技术领域

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆卡盘台


[0001]本专利技术涉及晶圆加工
，具体而言，涉及一种晶圆卡盘台
。

技术介绍

[0002]半导体晶片等被加工物的正面被格子状的间隔道划分成多个区域，在该划分出的区域内形成有
IC、LSI
等器件
。
在器件制造工序中，通过将被加工物沿着间隔道切断而形成各个器件芯片
。
该被加工物的分割是通过切削装置或激光加工装置等加工装置来实施的
。
在各加工装置中设置有对被加工物进行吸引保持的晶圆卡盘台
。
在晶圆卡盘台中，卡盘工作台以能够旋转且能够吸引的方式经由旋转连接而安装在固定轴上
。
[0003]现有技术中的晶圆卡盘台存在密封件更换作业繁琐且需要长时间维护的问题
。

技术实现思路

[0004]本专利技术提供了一种晶圆卡盘台，其能够简化密封件的更换作业，同时提高密封件的耐久性，避免密封件需要长时间维护的问题
。
[0005]本专利技术可以这样实现：本专利技术提供了一种晶圆卡盘台，其包括：吸盘；旋转接头，所述旋转接头包括接头本体和连接法兰，所述接头本体和所述吸盘连通，所述连接法兰套设于所述接头本体的外部；中心盘，所述中心盘套设于所述旋转接头的外部，所述连接法兰和所述中心盘可拆卸地连接；第一密封件，所述第一密封件设置于所述中心盘和所述吸盘之间，所述第一密封件用于对所述中心盘和所述吸盘之间的缝隙进行密封；第二密封件，所述第二密封件设置于所述连接法兰和所述中心盘之间，所述第二密封件用于对所述中心盘和所述旋转接头之间的缝隙进行密封
。
[0006]可选地，所述晶圆卡盘台还包括中心盘基体，所述中心盘基体设有安装槽，所述中心盘设置于所述安装槽，且所述中心盘和所述中心盘基体可拆卸地连接，所述中心盘基体和所述吸盘可拆卸地连接
。
[0007]可选地，所述晶圆卡盘台还包括第三密封件，所述第三密封件设置于所述中心盘和所述中心盘基体之间，所述第三密封件用于对所述中心盘和所述中心盘基体之间的缝隙进行密封
。
[0008]可选地，所述晶圆卡盘台还包括绝缘底座，所述绝缘底座设置于所述中心盘基体的底部，并与所述中心盘基体的底部可拆卸地连接
。
[0009]可选地，所述晶圆卡盘台还包括转角电机，所述转角电机设置于所述绝缘底座的底部，并与所述绝缘底座可拆卸地连接，所述转角电机用于带动所述吸盘转动
。
[0010]可选地，所述晶圆卡盘台还包括转向接头，所述转向接头的一端和所述旋转接头
的底部连通，所述转向接头的另一端用于和气源连通
。
[0011]可选地，所述晶圆卡盘台还包括溜板，所述溜板设置于所述转向接头的底部
。
[0012]可选地，所述晶圆卡盘台还包括基准板，所述基准板设置于所述转角电机的底部并与所述转角电机连接
。
[0013]可选地，所述第一密封件和所述第二密封件均为密封环
。
[0014]本专利技术的一种晶圆卡盘台的有益效果包括，例如：该晶圆卡盘台包括吸盘
、
旋转接头
、
中心盘
、
第一密封件以及第二密封件，旋转接头和吸盘连通，中心盘套设于旋转接头的外部，第一密封件设置于中心盘和吸盘之间，第一密封件用于对中心盘和吸盘之间的缝隙进行密封，第二密封件设置于中心盘和旋转接头之间，第二密封件用于对中心盘和旋转接头之间的缝隙进行密封
。
该晶圆卡盘台在使用时，旋转接头和吸盘连通，中心盘套设在旋转接头的外部，第一密封件用于对中心盘和吸盘之间的缝隙进行密封，第二密封件用于对中心盘和旋转接头之间的缝隙进行密封
。
采用了多层密封确保晶圆卡盘台在工作时的密封性，耐久性更好，避免密封件需要长时间维护的问题；同时在需要更换密封件的情况下，只需拆除吸盘和中心盘就可以完成第一密封件以及第二密封件的更换工作，该晶圆卡盘台的第一密封件和第二密封件设置在了容易更换的位置，简化了密封件的更换作业
。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它相关的附图
。
[0016]图1为本实施例提供的晶圆卡盘台的第一视角结构的示意图；图2为本实施例提供的晶圆卡盘台的第二视角结构的示意图；图3为本实施例提供的晶圆卡盘台的第三视角结构的示意图
。
[0017]图标：
10
‑
吸盘；
20
‑
旋转接头；
21
‑
接头本体；
22
‑
连接法兰；
30
‑
中心盘；
40
‑
第一密封件；
50
‑
第二密封件；
60
‑
中心盘基体；
70
‑
第三密封件；
80
‑
绝缘底座；
90
‑
转角电机；
100
‑
转向接头；
110
‑
溜板；
120
‑
基准板；
1000
‑
晶圆卡盘台
。
具体实施方式
[0018]为使本专利技术实施例的目的
、
技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
通常在此处附图中描述和示出的本专利技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计
。
[0019]因此，以下对在附图中提供的本专利技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本专利技术的范围，而是仅仅表示本专利技术的选定实施例
。
基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本专利技术保护的范围
。
[0020]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一
个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释
。
[0021]在本专利技术的描述中，需要说明的是，若出现术语“上”、“下”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该专利技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位
、
以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制
。
[0022]此外，若本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种晶圆卡盘台，其特征在于，包括：吸盘（
10
）；旋转接头（
20
），所述旋转接头（
20
）包括接头本体（
21
）和连接法兰（
22
），所述接头本体（
21
）和所述吸盘（
10
）连通，所述连接法兰（
22
）套设于所述接头本体（
21
）的外部；中心盘（
30
），所述中心盘（
30
）套设于所述旋转接头（
20
）的外部，所述连接法兰（
22
）和所述中心盘（
30
）可拆卸地连接；第一密封件（
40
），所述第一密封件（
40
）设置于所述中心盘（
30
）和所述吸盘（
10
）之间，所述第一密封件（
40
）用于对所述中心盘（
30
）和所述吸盘（
10
）之间的缝隙进行密封；第二密封件（
50
），所述第二密封件（
50
）设置于所述连接法兰（
22
）和所述中心盘（
30
）之间，所述第二密封件（
50
）用于对所述中心盘（
30
）和所述旋转接头（
20
）之间的缝隙进行密封
。2.
根据权利要求1所述的晶圆卡盘台，其特征在于，所述晶圆卡盘台（
1000
）还包括中心盘基体（
60
），所述中心盘基体（
60
）设有安装槽，所述中心盘（
30
）设置于所述安装槽，且所述中心盘（
30
）和所述中心盘基体（
60
）可拆卸地连接，所述中心盘基体（
60
）和所述吸盘（
10
）可拆卸地连接
。3.
根据权利要求2所述的晶圆卡盘台，其特征在于，所述晶圆卡盘台（
1000
）还包括第三密封件（
70
），所述第三密封件（
70
）设置于所述中心盘（
30

【专利技术属性】
技术研发人员：张明明，余胡平，石文，王晓禹，吴洪柏，徐双双，
申请(专利权)人：沈阳和研科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：