【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】高分子膜的剥离方法、电子器件的制造方法以及剥离装置
[0001]本专利技术涉及高分子膜的剥离方法
、
电子器件的制造方法以及剥离装置
。
技术介绍
[0002]近年来,以半导体元件
、MEMS
元件
、
显示元件
、
传感器元件等功能元件的轻量化
、
小型
/
薄型化
、
柔性化为目的,或者以精细制作加热器
、
多层电路板
、
半导体用布线部分或将在耐热膜上进行制作为目的,对于在高分子膜上形成这些元件的技术开发非常活跃
。
即,作为信息通信设备
(
广播设备
、
移动无线
、
便携通信设备等
)、
雷达
、
高速信息处理装置等电子部件的基材的材料,以往使用具有耐热性且能够应对信息通信设备的信号频带的高频化
(
达到
GHz
频带
)
的陶瓷,但陶瓷不是柔性的,也难以薄型化,因此存在可适用领域受限的缺点,因此最近使用高分子膜作为基板
。
[0003]在高分子膜表面形成半导体元件
、MEMS
元件
、
显示元件
、
传感器元件等功能元件,或加热器
、
多层电路板
、
半导体用布线部分时,理想的是通过利用作为高分子膜的特性的柔软性的所谓辊
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.
一种第1高分子膜的剥离方法,其特征在于,包括:工序
A
,准备第1高分子膜与无机基板密合而成的层叠体,所述第1高分子膜上形成有电子器件,工序
B1
,以所述层叠体的所述第1高分子膜面与真空吸附板接触的方式设置并固定,在所述层叠体的侧面设有隔壁,在所述层叠体的所述无机基板面上层叠比所述无机基板更大的第2高分子膜,通过所述真空吸附板
、
所述第2高分子膜和所述隔壁设有密闭空间,以及,工序
C
,在所述层叠体的所述第1高分子膜与所述无机基板之间,设有剥离部分,通过向所述剥离部分注入气体,将所述第1高分子膜保持大致平面地剥离
。2.
一种第1高分子膜的剥离方法,其特征在于,包括:工序
A
,准备第1高分子膜与无机基板密合而成的层叠体,所述第1高分子膜上形成有电子器件,工序
B2
,在所述层叠体的所述第1高分子膜面上层叠比所述第1高分子膜更大的第3高分子膜,以所述第3高分子膜与真空吸附板接触的方式设置并固定,在所述层叠体的侧面设有隔壁,在所述层叠体的所述无机基板面上层叠比所述无机基板更大的第2高分子膜,通过所述第2高分子膜
、
所述第3高分子膜和所述隔壁设有密闭空间,以及,工序
C
,在所述层叠体的所述第1高分子膜与所述无机基板之间设有剥离部分,通过向所述剥离部分注入气体,将所述第1高分子膜保持大致平面地剥离
。3.
根据权利要求1或2所述的第1高分子膜的剥离方法,其特征在于,所述工序
C
通过向所述剥离部分注入气体,使所述密闭空间内的压力上升到比所述密闭空间外的压力高
0.02
个大气压以上
。4.
根据权利要求1~3中任一项所述的第1高分子膜的剥离方法,其特征在于,所述真空吸附板的表面层叠有粘合性保护膜
。5.
根据权利要求4所述的第1高分子膜的剥离方法,其特征在于,所述层叠体在真空吸附板上的固定为真空吸附或粘合,或者,真空吸附和粘合两者
。6.
根据权利要求1~5中任一项所述的第1高分子膜的剥离方法,其特征在于,所述电子器件为厚度
10
μ
m
以上
3mm
以下的功能元件
。7.
根据权利要求1~6中任一项所述的第1高分子膜的剥离方法,其特征在于,在所述工序
C
之前,在所述第1高分子膜的与所述无机基板反向一侧上,配置形状为所述功能元件形状的反转形状的嵌入用真空卡盘和
/
或间隔物
。8.
根据权利要求1~7中任一项所述的第1高分子膜的剥离方法,其特征在于,在所述第2高分子膜的与所述无机基板反向一侧上,设置限制所述无机基板变形的限制板,所述限制板与所述第2高分子膜的间隔为
0.5mm
以上
5mm
以下
。9.
根据权利要求1~7中任一项所述的第1高分子膜的剥离方法,其特征在于,在所述第2高分子膜的与所述无机基板反向一侧上,设置限制所述无机基板变形的限制板,所述限制板与所述第2高分子膜接触
。10.
根据权利要求1~9中任一项所述的第1高分子膜的剥离方法,其特征在于,所述无机基板与所述第2高分子膜的剥离强度
...
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