【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种硅片盒自动传送系统，包括输送车以及工艺设备，所述输送车用于抓取硅片盒并沿着轨道行驶，所述工艺设备具有用于放置所述硅片盒的装载台；其特征在于，所述输送车上具有用于发出镭射光的镭射发射器；所述装载台可相对于所述工艺设备做水平方向上的运动，所述装载台上设有感光传感器面板、控制单元以及驱动单元；其中，所述感光传感器面板用于接收所述镭射发射器发出的镭射光，并确认所述装载台的位置和输送车的位置；所述控制单元将所述装载台的位置与输送车的位置进行对比，并确认待修正的距离，所述驱动单元用于接收所述控制单元反馈的待修正距离的信息，并调整所述装载台的位置，直至所述装载台的位置移动至输送车位置的正下方。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李佳青，
申请(专利权)人：上海集成电路研发中心有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。