一种自动硅片匀胶机制造技术

本实用新型专利技术涉及一种自动硅片匀胶机，包括机柜、上料机构、涂胶机构、烘干机构、移片机构、下料机构、片篮和电气控系统，其特征在于：上料机构、下料机构分别固定于机柜的工作台长向两端并同一条中心线上，在工作台的同一条中心线上并上料机构和下料机构间，依次固定涂胶机构、烘干机构，移片机构固定工作台的下面，移片机构的载片位于涂胶机构、烘干机构的上方，技术效果是实现了自动上下料、涂胶、烘干等工艺流程，自动化高、精度高，涂胶均匀，厚度可控，减少了员工的劳动量，同时也避免了对硅片的表面划伤。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种硅片涂胶设备，特别涉及一种自动硅片匀胶机。
技术介绍
硅片的涂胶处理，是将硅片的表面涂上一层薄厚均匀的胶,目前,工艺流程是手动放置片篮到上料待料位、硅片搬运至上料位置、移片机构取硅片、涂胶机构涂胶、烘干机构烘干、硅片搬运至下料位片篮中，片篮装满后手动下料，费工费时，效率低、劳动强度大。
技术实现思路
鉴于现有技术存在的问题，本技术提供一种自动硅片涂胶机整机，主要功能是将硅片自动上料、涂胶、烘干并自动下料到片篮内，具体技术方案是，一种自动硅片匀胶机，包括机柜、上料机构、涂胶机构、烘干机构、移片机构、下料机构和片篮、其特征在于：上料机构、下料机构分别固定于机柜的工作台长向两端并同一条中心线上，在工作台的同一条中心线上并上料机构和下料机构间，依次固定涂胶机构、烘干机构，移片机构固定工作台的下面，移片机构的载片位于涂胶机构、烘干机构的上方，所述的上料机构，包括托举气缸、运送带、升降架、上料座、丝杠螺母、滑块，托举气缸固定在机柜工作台上，运送带通过垫块固定在机柜工作台上，上料座通过侧板与固定，升降架固定在滑块上，滑块连接在导轨上，导轨固定在上料座内，丝杠螺母中的丝杠固定在上料座内、螺母固定在升降架内；所述的涂胶机构，包括胶管、点胶机、真空吸盘、调速电机、升降气缸、主轴套管、升降板、导轨和滑块，导轨固定在自动硅片匀胶机下侧机板上，升降气缸通过滑块固定于导轨上并顶住升降板控制升降板上下运动，升降板通过主轴套管与真空吸盘连接，控制真空吸盘的上下运动，调速电机与真空吸盘主轴相连，控制真空吸盘的转速，真空吸盘置于自动硅片匀胶机的工作台的点胶工位上，胶管固定于点胶机上，点胶机固定于自动硅片匀胶机的工作台上，使胶管正对准真空吸盘中心点；所述的烘干机构，由筋板、支撑螺钉、支撑架、烘干托盘、加热棒、钢丝支架、隔热托盘、升降块、气缸组成，筋板固定在机柜工作台下端面，隔热托盘固定在机柜工作台上，烘干托盘通过支撑螺钉支撑在隔热托盘上，支撑架固定在隔热托盘下方，气缸固定在支撑架下方，升降块通过浮动接头连接在气缸杆上来完成上下运动，钢丝支架固定在升降块上，加热棒放在烘干托盘的圆孔内；所述的下料机构的机械结构与上料机构相同，运动方向与上料机构(2)运动方向相反；所述的移片机构，包括三位置气缸、直线轴承、光轴、载板、联动块，其中，硅片置于载板上，三位置气缸固定在机柜工作台下方，联动块穿在机柜工作台中，联动块的下端与气缸活塞杆连接，上端与载板连接，使载板位于机柜工作台上的涂胶机构、烘干机构上方，直线轴承固定在机柜工作台上，光轴穿入直线轴承且光轴两端分别固定在两个导轨固定块上，导轨固定块固定在载板上，使联动块带动载板做直线往返运动。本技术的技术效果是实现了自动上下料、涂胶、烘干等工艺流程，自动化高、精度高，涂胶均匀，厚度可控，减少了员工的劳动量，同时也避免了对硅片的表面划伤。附图说明图1是本技术的结构立体图。图2是本技术的俯视图。图3是本技术的上料机构结构示意图。图4是本技术的涂胶机构结构示意图。图5是本技术的烘干机构结构示意图。图6是本技术的移片机构结构示意图。具体实施方式如图1、2所示，包括机柜1、上料机构2、涂胶机构3、烘干机构4、移片机构5、下料机构6、片篮7和电气控系统，其特征在于：上料机构2、下料机构6分别固定于机柜1的工作台长向两端并同一条中心线上，在工作台的同一条中心线上并上料机构2和下料机构6间，依次固定涂胶机构3、烘干机构4，移片机构5固定工作台的下面，移片机构5的载片28位于涂胶机构3、烘干机构4的上方，主要功能是将硅片自动上料、涂胶、烘干并自动下料到片篮内。片篮放置于上、下料机构中的自动升降机构上，可通过导轨丝杠传动实现升降，从而使片篮中的插槽依次下降或上升。移片机构将硅片搬运至各个工位，涂胶机构将硅片的表面进行涂胶，烘干机构将硅片表面的胶进行烘干。所述的上料机构2，包括托举气缸20、运送带21、升降架22、上料座23、丝杠螺母24、滑块25，托举气缸20固定在机柜1工作台上，运送带21通过垫块固定在机柜1工作台上，上料座23通过侧板26与机柜1工作台固定，升降架22固定在滑块25）上，滑块25连接在导轨上，导轨固定在上料座23内，丝杠螺母24中的丝杠固定在上料座23内、螺母固定在升降架22内。人工将片篮放在升降架22内，升降座23通过丝杠螺母24来实现上升和下降，使片篮能够依次下降到指定位置。片蓝达到指定位置后，固定在上料运送带21内的电机开始旋转，通过运送带21传动，将片蓝内部的硅片运送到上料待料位，托举气缸20升起，将硅片托起。移片机构5，包括三位置气缸25、直线轴承26、光轴27、载板28、联动块29，其中，硅片置于载板28上，三位置气缸25固定在机柜1工作台下方，联动块29穿在机柜1工作台中，联动块29的下端与气缸活塞杆连接，上端与载板28连接，使载板28位于机柜1工作台上的涂胶机构3、烘干机构4上方，直线轴承26固定在机柜1工作台上，光轴27穿入直线轴承26且光轴两端分别固定在两个导轨固定块上，导轨固定块固定在载板28上，使联动块29带动载板28做直线往返运动。当托举气缸20升起，硅片被托起时，移片机构5运动到上料位，然后气缸20下降，使硅片落在移片机构5上。移片机构5继续运动到涂胶机构3位。涂胶机构3，包括胶管1、点胶机2、真空吸盘3、调速电机4、升降气缸5、主轴套管6、升降板7、导轨8和滑块9，导轨8固定在自动硅片匀胶机下侧机板上，升降气缸5通过滑块9固定于导轨8上并顶住升降板7控制升降板7上下运动，升降板7通过主轴套管6与真空吸盘3连接，控制真空吸盘3的上下运动，调速电机4与真空吸盘3主轴相连，控制真空吸盘3的转速，真空吸盘3置于自动硅片匀胶机的工作台的点胶工位上，胶管1固定于点胶机2上，点胶机2固定于自动硅片匀胶机的工作台上，使胶管1正对准真空吸盘3中心点。当移片机构5带动硅片运动到涂胶机构3位，涂胶机构3的升降气缸5控制真空吸盘3的向上运动，通过气道抽真空吸住硅片将硅片落在真空吸盘3上，调速电机可以使涂胶工位高速旋转硅片，从而使胶液均匀覆盖整个硅片，控制调速电机4速度即可控制涂胶厚度和均匀度，通过气道硅片被真空吸盘3松开，升降气缸5控制涂胶工位的升起。移片机构5运动到涂胶机构3位，升降气缸5下落，硅片被放到移片机构5的载片上。移片机构5继续运动到烘干机构4位。所述的烘干机构4，由筋板10、支撑螺钉12、支撑架13、烘干托盘14、加热棒15、钢丝支架16本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种自动硅片匀胶机，包括机柜(1)、上料机构(2)、涂胶机构(3)、烘干机构(4)、移片机构(5)、下料机构(6)和片篮（7），其特征在于：上料机构(2)、下料机构(6)分别固定于机柜(1)的工作台长向两端并同一条中心线上，在工作台的同一条中心线上并上料机构(2)和下料机构(6)间，依次固定涂胶机构(3)、烘干机构(4)，移片机构(5) 固定工作台的下面，移片机构(5)的载片（28）位于涂胶机构(3)、烘干机构(4)的上方，所述的上料机构(2)，包括托举气缸（20）、运送带（21）、升降架（22）、上料座（23）、丝杠螺母（24）、滑块（25），托举气缸（20）固定在机柜(1) 工作台上，运送带（21）通过垫块固定在机柜(1) 工作台上，上料座（23）通过侧板（26）与固定，升降架（22）固定在滑块（25）上，滑块（25）连接在导轨上，导轨固定在上料座（23）内，丝杠螺母（24）中的丝杠固定在上料座（23）内、螺母固定在升降架（22）内；所述的涂胶机构(3)，包括胶管（1）、点胶机（2）、真空吸盘(3)、调速电机（4）、升降气缸（5）、主轴套管（6）、升降板（7）、导轨（8）和滑块（9），导轨（8）固定在自动硅片匀胶机下侧机板上，升降气缸（5）通过滑块（9）固定于导轨（8）上并顶住升降板（7）控制升降板（7）上下运动，升降板（7）通过主轴套管（6）与真空吸盘(3)连接，控制真空吸盘(3) 的上下运动，调速电机（4）与真空吸盘(3)主轴相连，控制真空吸盘(3) 的转速，真空吸盘(3)置于自动硅片匀胶机的工作台的点胶工位上，胶管（1）固定于点胶机（2）上，点胶机（2）固定于自动硅片匀胶机的工作台上，使胶管（1）正对准真空吸盘（3）中心点；所述的烘干机构(4)，由筋板（10）、支撑螺钉（12）、支撑架（13）、烘干托盘（14）、加热棒（15）、钢丝支架（16）、隔热托盘（17）、升降块（18）、气缸（19）组成，筋板（10）固定在机柜(1) 工作台下端面，隔热托盘（17）固定在机柜(1) 工作台上，烘干托盘（14）通过支撑螺钉（12）支撑在隔热托盘（17）上，支撑架（13）固定在隔热托盘（14）下方，气缸（19）固定在支撑架（13）下方，升降块（18）通过浮动接头连接在气缸（19）杆上来完成上下运动，钢丝支架（16）固定在升降块（18）上，加热棒（15）放在烘干托盘的圆孔内；所述的下料机构(6)的机械结构与上料机构(2)相同，运动方向与上料机构(2)运动方向相反； 所述的移片机构(5)，包括三位置气缸（25）、直线轴承（26）、光轴（27）、载板（28）、联动块（29），其中，硅片置于载板（28）上，三位置气缸（25）固定在机柜(1) 工作台下方，联动块（29）穿在机柜(1) 工作台中，联动块（29）的下端与气缸活塞杆连接，上端与载板（28）连接，使载板（28）位于机柜(1) 工作台上的涂胶机构(3)、烘干机构(4)上方，直线轴承（26）固定在机柜(1) 工作台上，光轴（27）穿入直线轴承（26）且光轴两端分别固定在两个导轨固定块上，导轨固定块固定在载板（28）上，使联动块（29）带动载板（28）做直线往返运动。...

【技术特征摘要】
1.一种自动硅片匀胶机，包括机柜(1)、上料机构(2)、涂胶机构(3)、烘干机构(4)、移
片机构(5)、下料机构(6)和片篮（7），其特征在于：上料机构(2)、下料机构(6)分别固定于机
柜(1)的工作台长向两端并同一条中心线上，在工作台的同一条中心线上并上料机构(2)和
下料机构(6)间，依次固定涂胶机构(3)、烘干机构(4)，移片机构(5)固定工作台的下面，移
片机构(5)的载片（28）位于涂胶机构(3)、烘干机构(4)的上方，所述的上料机构(2)，包括托
举气缸（20）、运送带（21）、升降架（22）、上料座（23）、丝杠螺母（24）、滑块（25），托举气缸
（20）固定在机柜(1)工作台上，运送带（21）通过垫块固定在机柜(1)工作台上，上料座
（23）通过侧板（26）与固定，升降架（22）固定在滑块（25）上，滑块（25）连接在导轨上，导轨固
定在上料座（23）内，丝杠螺母（24）中的丝杠固定在上料座（23）内、螺母固定在升降架（22）
内；所述的涂胶机构(3)，包括胶管（1）、点胶机（2）、真空吸盘(3)、调速电机（4）、升降气缸
（5）、主轴套管（6）、升降板（7）、导轨（8）和滑块（9），导轨（8）固定在自动硅片匀胶机下侧机
板上，升降气缸（5）通过滑块（9）固定于导轨（8）上并顶住升降板（7）控制升降板（7）上下运
动，升降板（7）通过主轴套管（6）与真空吸盘(3)连接，控制真空吸盘(3)的上下运动，调速
电机（4）与真空吸盘(3)主轴相连，控制真空吸盘(3)的转速，真空吸盘(3)置于自动硅片匀
胶机的工作...

【专利技术属性】
技术研发人员：靳立辉，张学强，崔振强，白聪轩，高树良，李宇佳，
申请(专利权)人：天津中环半导体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12