一种用于直拉炉的锥形水冷套装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种用于直拉炉的锥形水冷套装置，包括管路和锥形水冷套,所述锥形水冷套为内部中空的双层封闭结构，外壁和内壁之间的空腔形成一环形水道，所述锥形水冷套上端设有分别与所述环形水道连通的锥形水冷套进水口和锥形水冷套出水口，所述锥形水冷套进水口和锥形水冷套出水口分别与管路连接。本实用新型专利技术所述的一种用于直拉炉的锥形水冷套装置，能够深入导流筒内部，增加单位高度内的水流面积，增强冷却效果，加快提拉速度，最终提高产品的生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于直拉炉的锥形水冷套装置
本技术属于直拉炉附属设备
，尤其是涉及一种用于直拉炉的锥形水冷套装置。
技术介绍
单晶硅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料；直拉炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，目前多晶硅转化成单晶硅生产过程中所使用的直拉炉配套的水冷却装置一般都是直筒型，由于在高温环境下熔融状态的单晶硅的温度较高,距离液面较近的位置有锥形导流筒的限制，普通直筒型水冷套空间上有局限，不能加快提拉速度，以致影响产品生产效率。
技术实现思路
有鉴于此，本技术旨在提出一种用于直拉炉的锥形水冷套装置，以快速降低熔融状态的单晶硅的温度,加快提拉速度，达到单位时间内提高产量的目的。为达到上述目的，本技术的技术方案是这样实现的：一种用于直拉炉的锥形水冷套装置，包括管路和锥形水冷套,所述锥形水冷套为内部中空的双层封闭结构，外壁和内壁之间的空腔形成一环形水道，所述锥形水冷套上端设有分别与所述环形水道连通的锥形水冷套进水口和锥形水冷套出水口，所述锥形水冷套进水口和锥形水冷套出水口分别与管路连接。进一步的，所述管路包括进水管和出水管，所述进水管和出水管对称设置，进水管上端和出水管上端之间的距离大于进水管下端和出水管下端之间的距离。进一步的，所述进水管和出水管均为一体成型设计，所述进水管和出水管上端和下端竖直设置，上端和下端之间通过水平管路连接，所述进水管和出水管的上端分别通过螺纹与直拉炉炉体固定连接，所述进水管和出水管的下端分别与锥形水冷套进水口和锥形水冷套出水口连接。进一步的，所述锥形水冷套上端设有上端座，下端设有下端座，所述上端座和下端座均与外壁和内壁焊接，所述锥形水冷套进水口和锥形水冷套出水口设于上端座上；所述炉体上设有与进水管和出水管对应的炉体进水口和炉体出水口。相对于现有技术，本技术所述的一种用于直拉炉的锥形水冷套装置具有以下优势：本技术所述的一种用于直拉炉的锥形水冷套装置，进水管和出水管的上端通过螺纹与直拉炉固定连接，进水管与出水管的下端连接锥形水冷套，同时，进水管和出水管上端之间的距离大于进水管和出水管下端之间的距离，这样设计可以将锥形水冷套深入直拉炉体内部，更加靠近液面，而且拆装方便快捷；锥形水冷套的外筒和内筒之间设置有环形水道，既不影响水冷套内的水的流动，又避免了内套与外套的热变形问题，同时锥形的外筒和内筒与锥形导流筒的形状匹配，能够深入导流筒内部，更加靠近液面，加快提拉速度，与普通圆柱形水冷套相比锥形水冷套能够增加单位高度内的水流面积，增强冷却效果，加快提拉速度，最终提高产品的生产效率。附图说明构成本技术的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：图1为本技术实施例所述的一种用于直拉炉的锥形水冷套装置的主视结构示意图；图2为本技术实施例所述的一种用于直拉炉的锥形水冷套装置的上端座俯视结构示意图。附图标记说明：1-进水管；2-出水管；3-锥形水冷套；301-外壁；302-内壁；303-上端座；304-下端座；305-锥形水冷套进水口；306-锥形水冷套出水口；307-环形水道。具体实施方式需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。实施例1本技术所述的一种用于直拉炉的锥形水冷套装置，如图1，图2所示，包括管路和锥形水冷套3，其中，管路包括对称设置的进水管1和出水管2，进水管1和出水管2均为折线形一体成型设计，上端和下端均为竖直设置，上端与下端之间通过水平管路连接，进水管1上端和出水管2上端之间的距离大于进水管1下端和出水管2下端之间的距离，这样设计可以使进水管与出水管深入炉体内部，进水管1和出水管2的上端分别通过螺纹与直拉炉炉体固定连接，安装拆卸方便，同时，炉体上设有与进水管1和出水管2对应的炉体进水口和炉体出水口；进水管1和出水管2的下端分别与锥形水冷套进水口305和锥形水冷套出水口306连接，锥形水冷套与锥形导流筒的形状匹配，能够深入导流筒内部，所述锥形水冷套为内部中空的双层封闭结构，外壁和内壁之间的空腔形成一环形水道307，环形水道分别与锥形水冷套进水口305和锥形水冷套出水口306连通，冷却水经过进水管1和锥形水冷套进水口305进入环形水道307对单晶硅进行冷却，并通过锥形水冷套出水口306和出水管2完成循环冷却过程，环形水道的设计既不影响水冷套内的水的流动，又避免了内套与外套的热变形问题，与普通圆柱形水冷套相比锥形水冷套能够增加单位高度内的水流面积，增强冷却效果，加快提拉速度，最终提高产品的生产效率。实施例2一种用于直拉炉的锥形水冷套装置，包括管路和锥形水冷套3，管路包括对称设置的进水管1和出水管2，进水管1和出水管2均为一体成型设计，其中，进水管和出水管的上端倾斜设置呈锥形结构，下端竖直设置，上端与下端之间通过水平管路连接，其他与实施例1相同。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于直拉炉的锥形水冷套装置，其特征在于：包括管路和锥形水冷套(3),所述锥形水冷套(3)为内部中空的双层封闭结构，外壁(301)和内壁(302)之间的空腔形成一环形水道(307)，所述锥形水冷套上端设有分别与所述环形水道(307)连通的锥形水冷套进水口(305)和锥形水冷套出水口(306)，所述锥形水冷套进水口(305)和锥形水冷套出水口(306)分别与管路连接。

【技术特征摘要】
1.一种用于直拉炉的锥形水冷套装置，其特征在于：包括管路和锥形水冷套(3),所述锥形水冷套(3)为内部中空的双层封闭结构，外壁(301)和内壁(302)之间的空腔形成一环形水道(307)，所述锥形水冷套上端设有分别与所述环形水道(307)连通的锥形水冷套进水口(305)和锥形水冷套出水口(306)，所述锥形水冷套进水口(305)和锥形水冷套出水口(306)分别与管路连接。2.根据权利要求1所述的用于直拉炉的锥形水冷套装置，其特征在于：所述管路包括进水管(1)和出水管(2)，所述进水管(1)和出水管(2)对称设置，进水管(1)上端和出水管(2)上端之间的距离大于进水管(1)下端和出水管(2)下端之间的距离。3.根据权利要求2所述的一种用于直拉炉的锥形水冷套装置，其特征在于：所...

【专利技术属性】
技术研发人员：靳立辉，姚长娟，刘旭光，
申请(专利权)人：天津中环半导体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：天津,12