【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅片超声波清洗设备
，尤其是一种摇摆式硅片清洗槽。
技术介绍
当前，企业在对硅片进行超声波清洗时，均采用人工送料的方式，这种方式使得人为性质的不确定因素较大，存在较大误差，同时容易导致硅片破裂，存在不足。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种摇摆式硅片清洗槽，为克服上述的不足，采用摇摆式推进送料的方式，代替人工操作，避免人为性质的不确定因素对硅片造成破坏，有利于提高成品率。本技术的技术方案：一种摇摆式硅片清洗槽，包括电机、曲柄、导向套、摇杆、液压缸、活塞、活塞杆、壳体、固定板、真空管、真空泵、真空吸盘、支架、超声波振子、槽体、横梁；其中：超声波振子与槽体固定连接，槽体与支架固定连接，支架与壳体固定连接，壳体内部设有横梁，横梁与电机固定连接，电机与曲柄固定连接，曲柄通过导向套与摇杆连接，摇杆与固定板接，液压缸内壁与活塞连接，活塞与活塞杆固定连接，活塞杆与固定板连接，固定板与真空泵固定连接，真空泵通过真空管与真空吸盘连通。一种摇摆式硅片清洗槽，其中：摇杆的长度为活塞杆的长度的1.5倍。本技术的优点在于：本装置采用摇摆式推进送料的方式，代替人工操作，避免人为性质的不确定因素对硅片造成破坏，有利于提高成品率。附图说明图1为本技术的结构示意简图。附图标记：电机1、曲柄2、导向套3、摇杆4、液压缸5、活塞6、活塞杆7、壳体8、固定板9、真空管10、真空泵11、真空吸盘12、支架13、超声波振子14、槽体15、横梁16。具体实施方式实施例1、一种摇摆式硅片清洗槽，包括电机1、曲柄2、导向套3、摇杆4、液压缸5、活塞6、活塞杆7、壳体8、固定板9、真空管10...
【技术保护点】
一种摇摆式硅片清洗槽，包括电机（1）、曲柄（2）、导向套（3）、摇杆（4）、液压缸（5）、活塞（6）、活塞杆（7）、壳体（8）、固定板（9）、真空管（10）、真空泵（11）、真空吸盘（12）、支架（13）、超声波振子（14）、槽体（15）、横梁（16）；其特征在于：超声波振子（14）与槽体（15）固定连接，槽体（15）与支架（13）固定连接，支架（13）与壳体（8）固定连接，壳体（8）内部设有横梁（16），横梁（16）与电机（1）固定连接，电机（1）与曲柄（2）固定连接，曲柄（2）通过导向套（3）与摇杆（4）连接，摇杆（4）与固定板（9）连接，液压缸（5）内壁与活塞（6）连接，活塞（6）与活塞杆（7）固定连接，活塞杆（7）与固定板（9）连接，固定板（9）与真空泵（11）固定连接，真空泵（11）通过真空管（10）与真空吸盘（12）连通。
【技术特征摘要】
1.一种摇摆式硅片清洗槽，包括电机（1）、曲柄（2）、导向套（3）、摇杆（4）、液压缸（5）、活塞（6）、活塞杆（7）、壳体（8）、固定板（9）、真空管（10）、真空泵（11）、真空吸盘（12）、支架（13）、超声波振子（14）、槽体（15）、横梁（16）；其特征在于：超声波振子（14）与槽体（15）固定连接，槽体（15）与支架（13）固定连接，支架（13）与壳体（8）固定连接，壳体（8）内部设有横梁（16），横梁（16）...
【专利技术属性】
技术研发人员：支秉旭，
申请(专利权)人：江西大杰新能源技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江西;36
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