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本实用新型涉及一种摇摆式硅片清洗槽。当前,企业在对硅片进行超声波清洗时,均采用人工送料的方式,这种方式使得人为性质的不确定因素较大,存在较大误差,同时容易导致硅片破裂,存在不足。本实用新型涉及一种摇摆式硅片清洗槽,其中:壳体内部设有横梁,横...该专利属于江西大杰新能源技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江西大杰新能源技术有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及一种摇摆式硅片清洗槽。当前,企业在对硅片进行超声波清洗时,均采用人工送料的方式,这种方式使得人为性质的不确定因素较大,存在较大误差,同时容易导致硅片破裂,存在不足。本实用新型涉及一种摇摆式硅片清洗槽,其中:壳体内部设有横梁,横...