一种硅片用显影机，包括机台，在机台上设有显影液槽，显影机还包括花篮传动部分，花篮传动部分包括动力部件，动力部件包括转轴，在转轴上安装有偏心轮，偏心轮连接挂架。本新型在现有技术的基础上增设了花篮传动部分，该部分可带动连接在其上的花篮上升或者下降，从而可将硅片浸入显影液或者从显影液中提出，提出后花篮高于显影液液面，残留在硅片的液体可直接流入显影液槽内，避免了显影液对机台及周围环境造成污染，显影中还可通过传动部分晃动花篮，以改善显影效果；本新型具有显影效果好、使用便利、对机台无污染之优点。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体材料生产
，尤其是涉及一种硅片用显影机。
技术介绍
在半导体芯片制造过程中，硅片经涂胶、曝光后需由显影机将硅片上的图形进行显影，机台显影能力直接影响硅片内图形线宽的均匀性和缺陷数目的多少。硅片在进行显影处理时，为了提高显影效率、节约处理时间，一般是将盛放多片硅片的花篮置于显影液中，然后显影液将覆盖整个花篮中各个硅片，这样就存在这样一个问题:将花篮从显影液中取出较为困难，即便是采用夹子等辅助工具，也难以避免从花篮流出的显影液的污染问题。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术中存在的缺点，提供一种在动力部分带动下能升降花篮的显影机，显影前，将花篮挂接在挂架上，显影完成后，挂架将花篮带离显影液，同时还可在显影过程中晃动花篮，以保证显影的均匀性，采用的技术方案是:一种硅片用显影机，包括机台，在所述机台上设有显影液槽，其特征在于:所述显影机还包括花篮传动部分，所述花篮传动部分包括动力部件，所述动力部件包括转轴，在所述转轴上安装有偏心轮，所述偏心轮连接挂架。本技术的技术特征还有:所述偏心轮上设有销轴，所述销轴连接所述挂架。本技术的技术特征还有:所述挂架包括与所述销轴连接的连杆，所述连杆连接连接板，所述连接板连接挂板，在所述挂板的端部设有挂钩。本技术的技术特征还有:装有硅片的花篮连接在所述挂钩上。本技术的技术特征还有:所述机台上设有4个显影液槽，每个显影液槽均对应一套花篮传动部分。本技术的有益效果在于:本新型在现有技术的基础上增设了花篮传动部分，该部分可带动连接在其上的花篮上升或者下降，从而可将硅片浸入显影液或者从显影液中提出，提出后花篮高于显影液液面，残留在硅片的液体可直接流入显影液槽内，避免了显影液对机台及周围环境造成污染，显影中还可通过传动部分晃动花篮，以改善显影效果;本新型具有显影效果好、使用便利、对机台无污染之优点。【附图说明】附图1是本技术结构示意图，其中I是机台，2是动力部件，3是转轴，4是销轴，5是挂架，51是连杆，52是连接板，53是挂板，54是挂钩，6是显影液槽，7是控制面板，8是偏心轮。【具体实施方式】下面结合附图，对本技术的【具体实施方式】进行说明。本技术公开了一种硅片用显影机，该显影机包括机台1、花篮传动部分和控制部分，在机台I上设有盛放显影液的显影液槽6，花篮传动部分包括动力部件，动力部件包括转轴3，在转轴3上安装有偏心轮8，在偏心轮8上设有销轴4，销轴4连接挂架5，挂架5活动连接花篮(图中未示出)。挂架5包括与销轴固定连接的连杆51，连杆51连接连接板52，连接板52连接挂板53，在挂板53的端部设有挂钩54，装有硅片的花篮连接在挂钩54上。本实施例中机台上设有4个显影液槽，每个显影液槽均对应一套花篮传动部分。当然，上述说明并非对本技术的限制，本技术也不仅限于上述举例，本
的普通技术人员在本技术的实质范围内所做出的变化、改型、添加或替换，也属于本技术的保护范围。【主权项】1.一种硅片用显影机，包括机台，在所述机台上设有显影液槽，其特征在于:所述显影机还包括花篮传动部分，所述花篮传动部分包括动力部件，所述动力部件包括转轴，在所述转轴上安装有偏心轮，所述偏心轮连接挂架。2.按照权利要求1所述的显影机，其特征在于:所述偏心轮上设有销轴，所述销轴连接所述挂架。3.按照权利要求2所述的显影机，其特征在于:所述挂架包括与所述销轴连接的连杆，所述连杆连接连接板，所述连接板连接挂板，在所述挂板的端部设有挂钩。4.按照权利要求3所述的显影机，其特征在于:装有硅片的花篮连接在所述挂钩上。5.按照权利要求2所述的显影机，其特征在于:所述机台上设有4个显影液槽，每个显影液槽均对应一套花篮传动部分。【专利摘要】一种硅片用显影机，包括机台，在机台上设有显影液槽，显影机还包括花篮传动部分，花篮传动部分包括动力部件，动力部件包括转轴，在转轴上安装有偏心轮，偏心轮连接挂架。本新型在现有技术的基础上增设了花篮传动部分，该部分可带动连接在其上的花篮上升或者下降，从而可将硅片浸入显影液或者从显影液中提出，提出后花篮高于显影液液面，残留在硅片的液体可直接流入显影液槽内，避免了显影液对机台及周围环境造成污染，显影中还可通过传动部分晃动花篮，以改善显影效果；本新型具有显影效果好、使用便利、对机台无污染之优点。【IPC分类】G03F7/26【公开号】CN205210515【申请号】CN201520930863【专利技术人】张运, 孙者利 【申请人】济南卓微电子有限公司【公开日】2016年5月4日【申请日】2015年11月23日本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种硅片用显影机，包括机台，在所述机台上设有显影液槽，其特征在于：所述显影机还包括花篮传动部分，所述花篮传动部分包括动力部件，所述动力部件包括转轴，在所述转轴上安装有偏心轮，所述偏心轮连接挂架。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张运，孙者利，
申请(专利权)人：济南卓微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37
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