【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种硅片烘干箱。
技术介绍
在硅片制作工艺中,传统的硅片烘烤都采用专用烤箱,但烤箱成本高,结构复杂,维修困难,如果发生损坏,需要返厂维修,不仅维修成本高,而且对生产造成影响,而且,烤箱内的气体也不能循环流动,硅片烘烤时间长。
技术实现思路
为了克服上述现有技术存在的缺点,本技术的目的在于提供一种结构简单,维修方便,烤箱内气体可循环流动的硅片烘干箱。 为了解决上述问题,本技术采用以下技术方案:一种硅片烘干箱,其特征在于,包括箱体、红外线灯、回流管道和管道风机,在所述箱体内的左侧、右侧及上侧分别设置所述红外线灯;所述回流管道的一端与箱体顶端贯通连接,另一端与箱体底端贯通连接,所述管道风机贯通连接在所述回流管道中;所述箱体上设置有门体。 进一步的,在所述箱体内的底部设置有气流分散盒,所述气流分散盒的上端设置有若干通孔,所述回流管道的下端与气流分散盒贯通连接。 优选的,若干所述红外线灯并联,每一所述红外线灯对应一个开关按钮。 进一步的,在所述箱体上设置有耐高温温度计。 本技术的有益效果是:它通过红外线灯对硅片进行烘烤,不采用电热丝,维修方便,而且红外灯的数量根据需求投入,使用方便;通过在箱体上设置回流管道,使箱内气体循环,提高了硅片烘烤效率。附图说明 下面结合附图和实施例对本技术做进一步的说明:图1为本技术的整体结构示意图;图2为本技术气流分散盒的剖视图。图中,1箱体、11门体、12耐高温温度计、2 ...
【技术保护点】
一种硅片烘干箱,其特征在于,包括箱体、红外线灯、回流管道和管道风机,在所述箱体内的左侧、右侧及上侧分别设置所述红外线灯;所述回流管道的一端与箱体顶端贯通连接,另一端与箱体底端贯通连接,所述管道风机贯通连接在所述回流管道中;所述箱体上设置有门体。
【技术特征摘要】
1.一种硅片烘干箱,其特征在于,包括箱体、红外线灯、回流管道和管道风机,在所述箱体内的左侧、右侧及上侧分别设置所述红外线灯;所述回流管道的一端与箱体顶端贯通连接,另一端与箱体底端贯通连接,所述管道风机贯通连接在所述回流管道中;所述箱体上设置有门体。
2.根据权利要求1所述的硅片烘干箱,其特征在于,在所述箱体内的底部...
【专利技术属性】
技术研发人员:彭雷,
申请(专利权)人:济南晶博电子有限公司,
类型:新型
国别省市:山东;37
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