一种硅片烘干设备制造技术

本实用新型专利技术属于工业技术领域，尤其为一种硅片烘干设备，包括烘干箱体和安装在所述烘干箱体表面的驱动电机以及设置在所述烘干箱体内的送料机构，还包括设置在所述烘干箱体外表面的烘干组件；所述烘干组件包括设置在所述烘干箱体一侧表面的固定板和开设在所述烘干箱体内的插槽以及设置在所述固定板靠近所述烘干箱体一侧表面的多个红外线灯管，通过在烘干箱体内开设插槽通过将固定板上的红外线灯管通过插槽插接到烘干箱体内，对滚筒内的硅片进行烘干，通过启动驱动电极带动滚筒转动，并配合导热板可以使滚筒内部的硅片不断翻转，受热均匀，烘干效果好，并且在此设备上加入了更换组件，可以方便将红外线灯管从固定座上拆卸，方便使用与更换

【技术实现步骤摘要】
一种硅片烘干设备


[0001]本技术属于工业
，具体涉及一种硅片烘干设备
。

技术介绍

[0002]硅片烘干设备就是对硅片进行热烘干的一种设备，硅片一般是指由单晶硅切割成的薄片，地壳中含量达
25.8
％的硅元素，为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉，由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一，对太阳能电池这样注定要进入大规模市场的产品而言，储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一；
[0003]经查公开
(
公告
)
号：
CN202955946U
公开了一种用于硅片烘干的氮气加热装置，此技术中公开了“一种用于硅片烘干的氮气加热装置，包括空气加热包，其内设有加热管道；氮气加热包，其内设有与空气换热的氮气盘管；连接空气加热包出口和氮气加热包入口的抽风管道，该抽风管道上设有抽风机；连接氮气加热包中空气出口与空气加热包入口的回气管道；所述的氮气盘管的出口通过保温管和分流管与烘箱连接等
技术实现思路
，并公开了该种用于硅片烘干的氮气加热装置，能够有效烘干硅片，且保证了硅片的高纯本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种硅片烘干设备，包括烘干箱体
(1)
和安装在所述烘干箱体
(1)
表面的驱动电机
(11)
以及设置在所述烘干箱体
(1)
内的送料机构
(12)
，其特征在于：还包括设置在所述烘干箱体
(1)
外表面的烘干组件
(2)
；所述烘干组件
(2)
包括设置在所述烘干箱体
(1)
一侧表面的固定板
(21)
和开设在所述烘干箱体
(1)
内的插槽
(22)
以及设置在所述固定板
(21)
靠近所述烘干箱体
(1)
一侧表面的多个红外线灯管
(23)
，所述红外线灯管
(23)
插接在所述烘干箱体
(1)
内开设的所述插槽
(22)
内
。2.
根据权利要求1所述的硅片烘干设备，其特征在于：所述烘干箱体
(1)
内部开设的所述插槽
(22)
表面设置有镀铝膜反光贴
。3.
根据权利要求1所述的硅片烘干设备，其特征在于：所述固定板
(21)
的表面对称安装有两组第一固定块
(24)
，所述第一固定块
(24)
表面开设的插孔内插接有固定螺栓
(25)
，所述烘干箱体
(1)
表面对称设置有两组第二固定块
(26)
，所述固定螺栓
(...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋世泰，许玉雷，耿季群，田涛，
申请(专利权)人：济南晶博电子有限公司，
类型：新型
国别省市：