一种硅片自动清洗定位机构制造技术

技术编号:39357161 阅读:8 留言:0更新日期:2023-11-18 11:03
本实用新型专利技术属于硅片技术领域,尤其为一种硅片自动清洗定位机构,包括清洗器和设置在所述清洗器上方的花篮,还包括安装在所述清洗器表面的定位组件,所述定位组件包括对称安装在所述清洗器表面的两组安装板和转动连接在两个所述安装板之间的双向丝杆以及两个螺纹连接在所述双向丝杆表面的移动板,所述移动板的一侧表面安装有定位板,所述移动板的表面安装有导板;在此装置上设置了定位组件,用户通过此定位组件,可以对清洗过程中的硅片进行定位,提高硅片清洗过程中的稳定性,防止清洗时发生晃动,从而影响清洗效果,并且在此机构上加入了驱动组件,可以进一步提高对硅片定位的效率。效率。效率。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片自动清洗定位机构


[0001]本技术属于硅片
,具体涉及一种硅片自动清洗定位机构。

技术介绍

[0002]单晶硅是一种比较活泼的非金属元素,是晶体材料的重要组成部分,处于新材料发展的前沿,其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等;
[0003]经查公开(公告)号:CN213529930U,公开了一种硅片清洗装置,此技术中公开了“一种硅片清洗装置,硅片清洗装置包括槽体和气管组件。待清洗的硅片置于槽体内的清洗液中,槽体的底部设置有出水口,出水口处设置有过滤网。气管组件包括气管和支架,支架固定在槽体底面,气管上开设多个通气孔,气管置于硅片的下方并固定在支架上;气管组件与过滤网沿竖直方向间隔设置,且过滤网位于气管组件在槽体底面上的投影外等技术方案,本技术,降低了清理的难度,避免了碎片在槽体内部残留,保证后续的清洗效果等技术效果”;
[0004]虽然该设计能够降低了清理的难度,避免了碎片在槽体内部残留,保证后续的清洗效果,但是此设计在实际使用时,当对硅片进行清洗时,由于该装置上无法对硅片进行清洗定位,导致硅片放上清洗之后会导致晃动,不方便清洗。
[0005]为解决上述问题,本申请中提出一种硅片自动清洗定位机构。

技术实现思路

[0006]为解决上述
技术介绍
中提出的问题。本技术提供了一种硅片自动清洗定位机构,具有可以对硅片清洗过程中进行定位,防止在清洗过程中发生晃动,影响清洗效率的特点。
[0007]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种硅片自动清洗定位机构,包括清洗器和设置在所述清洗器上方的花篮,还包括安装在所述清洗器表面的定位组件;
[0008]所述定位组件包括对称安装在所述清洗器表面的两组安装板和转动连接在两个所述安装板之间的双向丝杆以及两个螺纹连接在所述双向丝杆表面的移动板,所述移动板的一侧表面安装有定位板。
[0009]作为本技术一种硅片自动清洗定位机构优选的,所述移动板的表面安装有导板,所述导板表面开设的通孔内滑动连接有导杆,所述导杆的两端均安装在所述安装板的一侧表面。
[0010]作为本技术一种硅片自动清洗定位机构优选的,所述定位板的一侧表面安装有防滑板。
[0011]作为本技术一种硅片自动清洗定位机构优选的,所述定位板的表面安装有磁吸块。
[0012]作为本技术一种硅片自动清洗定位机构优选的,所述清洗器的表面开设有与所述导板相匹配的滑槽,所述导板通过此滑槽和所述移动板滑动连接在所述清洗器的表
面。
[0013]作为本技术一种硅片自动清洗定位机构优选的,还包括安装在所述清洗器表面的驱动组件,所述驱动组件包括设置在所述定位板一侧表面的锥齿轮一和安装在所述清洗器一侧表面的支撑块以及转动连接在所述支撑块表面开设通孔内的连杆,所述双向丝杆的一端贯穿所述定位板,并与所述锥齿轮一相连接,所述连杆的外表面对称安装有锥齿轮二,所述连杆的两端均转动连接在所述定位板的一侧表面,所述锥齿轮一和所述锥齿轮二相啮合。
[0014]作为本技术一种硅片自动清洗定位机构优选的,所述定位板的一侧表面安装有驱动电机,所述驱动电机的输出端贯穿所述定位板,并与所述连杆的一端相连接。
[0015]与现有技术相比,本技术的有益效果是:
[0016]在此装置上设置了定位组件,用户通过此定位组件,可以对清洗过程中的硅片进行定位,提高硅片清洗过程中的稳定性,防止清洗时发生晃动,从而影响清洗效果,并且在此机构上加入了驱动组件,可以进一步提高对硅片定位的效率。
附图说明
[0017]附图用来提供对本技术的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本技术的实施例一起用于解释本技术,并不构成对本技术的限制。在附图中:
[0018]图1为本技术的结构示意图;
[0019]图2为本技术中清洗器和双向丝杆等结构示意图;
[0020]图3为本技术中定位组件结构示意图;
[0021]图4为本技术中驱动组件结构示意图;
[0022]图中:1、清洗器;4、花篮;
[0023]2、定位组件;21、安装板;22、双向丝杆;23、移动板;24、定位板;25、导板;26、导杆;27、防滑板;28、磁吸块;
[0024]3、驱动组件;31、锥齿轮一;32、支撑块;33、连杆;34、锥齿轮二;35、驱动电机。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0026]实施例1
[0027]如图1—图4所示;
[0028]一种硅片自动清洗定位机构,包括清洗器1和设置在清洗器1上方的花篮4。
[0029]本实施方案中:经查公开(公告)号:CN213529930U,公开了一种硅片清洗装置,此技术中公开了“一种硅片清洗装置,硅片清洗装置包括槽体和气管组件。待清洗的硅片置于槽体内的清洗液中,槽体的底部设置有出水口,出水口处设置有过滤网。气管组件包括气管和支架,支架固定在槽体底面,气管上开设多个通气孔,气管置于硅片的下方并固定在支架上;气管组件与过滤网沿竖直方向间隔设置,且过滤网位于气管组件在槽体底面上的投影
外等技术方案,本技术,降低了清理的难度,避免了碎片在槽体内部残留,保证后续的清洗效果等技术效果”,虽然该设计能够降低了清理的难度,避免了碎片在槽体内部残留,保证后续的清洗效果,但是此设计在实际使用时,当对硅片进行清洗时,由于该装置上无法对硅片进行清洗定位,导致硅片放上清洗之后会导致晃动,不方便清洗等问题,结合实际使用而言,此问题显然是现实存在且比较难以解决的问题,鉴此,为解决此技术问题,在本申请文件上加入了定位组件2和驱动组件3。
[0030]结合上述内容,还包括安装在清洗器1表面的定位组件2,定位组件2包括对称安装在清洗器1表面的两组安装板21和转动连接在两个安装板21之间的双向丝杆22以及两个螺纹连接在双向丝杆22表面的移动板23,移动板23的一侧表面安装有定位板24。
[0031]本实施方案中:当对硅片清洗时,首先将硅片放置在清洗器1上方的花篮4内,这时将花篮4挂在清洗器1上的挂杆上,这时花篮4在清洗器1内的清洗槽中进行清洗,在清洗过程中进行定位时,首先转动双向丝杆22,这时双向丝杆22在两个安装板21之间进行转动,由于移动板23螺纹连接在双向丝杆22的表面,在双向丝杆22转动过程中带动移动板23进行位置移动,从而使得两个定位板24相互靠近,使得两个定位板24能够将花篮4进行夹持,从而达到进行定位,可以对清洗过程中对花篮4进行定位,从而提高硅片在清洗过程中的稳定性,防止在清洗时发生晃动。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片自动清洗定位机构,包括清洗器(1)和设置在所述清洗器(1)上方的花篮(4),其特征在于:还包括安装在所述清洗器(1)表面的定位组件(2);所述定位组件(2)包括对称安装在所述清洗器(1)表面的两组安装板(21)和转动连接在两个所述安装板(21)之间的双向丝杆(22)以及两个螺纹连接在所述双向丝杆(22)表面的移动板(23),所述移动板(23)的一侧表面安装有定位板(24)。2.根据权利要求1所述的硅片自动清洗定位机构,其特征在于:所述移动板(23)的表面安装有导板(25),所述导板(25)表面开设的通孔内滑动连接有导杆(26),所述导杆(26)的两端均安装在所述安装板(21)的一侧表面。3.根据权利要求1所述的硅片自动清洗定位机构,其特征在于:所述定位板(24)的一侧表面安装有防滑板(27)。4.根据权利要求1所述的硅片自动清洗定位机构,其特征在于:所述定位板(24)的表面安装有磁吸块(28)。5.根据权利要求2所述的硅片自动清洗定位机构,其特征在于:所述清...

【专利技术属性】
技术研发人员:许玉雷宋世泰田涛耿季群
申请(专利权)人:济南晶博电子有限公司
类型:新型
国别省市:

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