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本实用新型属于工业技术领域，尤其为一种硅片烘干设备，包括烘干箱体和安装在所述烘干箱体表面的驱动电机以及设置在所述烘干箱体内的送料机构，还包括设置在所述烘干箱体外表面的烘干组件；所述烘干组件包括设置在所述烘干箱体一侧表面的固定板和开设在所述烘...
该专利属于济南晶博电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过济南晶博电子有限公司授权不得商用。

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