一种硅片开槽机制造技术

一种硅片开槽机，包括机架，在机架上设有机台，机台的上方为控制部分，机台上设有酸液槽，开槽机包括设置在酸液槽上方的花篮吊装部件，花篮吊装部件包括电机，电机的输出轴连接偏心轮，偏心轮上固定有连接杆，连接杆的底部设有花篮吊架。本开槽机通过偏心轮升降花篮，且腐蚀后的花篮可静置于酸液槽上方，以防止酸液对机台造成污染；降温管中通有氟利昂用于酸液的降温，保证反应温度的稳定；液位计直观显示了酸液液位的高低；本开槽机具有操作便利、污染小、反应效果好之优点。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体材料加工
，尤其是涉及一种硅片开槽机。
技术介绍
在半导体晶片加工中，需在硅片表面由酸行开槽处理。现有技术中，硅片开槽用开槽机的使用方法是：将待开槽硅片装入花篮内，花篮整个放入混合酸液中，待腐蚀时间达到，将花篮提出酸液。该机存在以下缺点：1）酸液在腐蚀硅片过程中，将释放大量反应热，该热能不能及时散去，其结果是导致酸液温度升高，而高温酸液必将影响反应的正常进行；2）反应完成后，从酸液取出的花篮带出大量酸液，该酸液不能得到很好处理，容易造成机台的污染。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术中存在的缺点，提供一种硅片开槽机，该机通过花篮吊架将装有硅片的花篮放入酸液槽内，反应后先提升花篮后将花篮置于容纳槽内控液；本开槽机还设有对酸液进行降温的降温管，采用的技术方案是：一种硅片开槽机，包括机架，在所述机架上设有机台，所述机台的上方为控制部分，所述机台上设有酸液槽，其特征在于：所述开槽机包括设置在所述酸液槽上方的花篮吊装部件，所述花篮吊装部件包括电机，所述电机的输出轴连接偏心轮，所述偏心轮上固定有连接杆，所述连接杆的底部设有花篮吊架。本技术的技术特征还有：所述花篮吊架包括底板，所述底板的周边固定有花篮吊件。本技术的技术特征还有：固定在所述底板上的花篮吊件为四个。本技术的技术特征还有：所述酸液槽还连接降温管，所述降温管上设有控制阀。本技术的技术特征还有：所述降温管为金属管，所述金属管表面上设有四氟乙烯层。本技术的技术特征还有：所述机台上、酸液槽的一侧还设有容纳槽。<br>本技术的技术特征还有：所述酸液槽上还设有液位计。本技术的有益效果在于：本开槽机通过偏心轮升降花篮，且酸腐蚀后的花篮可静置于酸液槽上方，使得酸液从花篮或者花篮内的硅片上流出，以防止酸液对机台造成污染；降温管中通有氟利昂用于酸液的降温，保证反应温度的稳定；液位计直观显示了酸液液位的高低；本开槽机具有操作便利、污染小、反应效果好之优点。附图说明附图1是本技术结构示意图，附图2是本技术去掉透明罩板后结构示意图，附图3是花篮吊架结构示意图，其中1是机架，2是机台，3是酸液槽，4是花篮吊装部件，41是电机的输出轴，42是偏心轮，43是连接杆，44是花篮吊架，441是底板，442是花篮吊件，5是控制阀，6是降温管，7是液位计，8是控制面板，9是透明罩板，10是容纳槽。具体实施方式下面结合附图，对本技术的具体实施方式进行说明。本技术公开了一种硅片开槽机，将硅片放入开槽机上的酸液槽内，腐蚀一定时间后，完成硅片的腐蚀开槽。该开槽机包括机架1，在机架1上设有机台2，机台2的上方为控制部分，该控制部分包括控制面板8，在控制面板8上有启动按钮、电流计等部件，机台2上设有酸液槽3和容纳槽10。开槽机还包括设置在酸液槽3上方的花篮吊装部件4，使用时，将装有硅片的花篮挂在花篮吊装部件4的花篮吊架44上，具体结构是：花篮吊装部件4包括电机（图中未示出），电机的输出轴41连接偏心轮42，偏心轮42上固定有连接杆43，连接杆43的底部设有花篮吊架44。本实施例中花篮吊架44包括底板441，底板441的周边固定有花篮吊件442。本处固定在底板441上的花篮吊件442为四个，即可同时将四个花篮挂在花篮吊件上实现硅片的腐蚀。酸液槽3还连接降温管6，降温管6中充有氟利昂，降温管6上还设有控制阀5。本实施例中降温管6为金属管，为保温目的，在金属管表面上设有四氟乙烯层。机台2上、酸液槽3的一侧还设有容纳槽10，酸液槽3上还设有液位计7。使用时，将花篮挂接在花篮吊架44上，打开电机，偏心轮42转动，花篮下降至酸液槽中液面至下，开始腐蚀开槽；待时间达到后，电机反转，花篮升高后离开酸液槽，静置一段时间，使得硅片上的酸液回流到酸液槽中；最后，将花篮放置于容纳槽10中继续控酸，直至酸液不再流下，花篮提离开槽机。当然，上述说明并非对本技术的限制，本技术也不仅限于上述举例，本
的普通技术人员在本技术的实质范围内所做出的变化、改型、添加或替换，也属于本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅片开槽机，包括机架，在所述机架上设有机台，所述机台的上方为控制部分，所述机台上设有酸液槽，其特征在于：所述开槽机包括设置在所述酸液槽上方的花篮吊装部件，所述花篮吊装部件包括电机，所述电机的输出轴连接偏心轮，所述偏心轮上固定有连接杆，所述连接杆的底部设有花篮吊架。

【技术特征摘要】
1.一种硅片开槽机，包括机架，在所述机架上设有机台，所述机台的上方为控制部分，所述机台上设有酸液槽，其特征在于：所述开槽机包括设置在所述酸液槽上方的花篮吊装部件，所述花篮吊装部件包括电机，所述电机的输出轴连接偏心轮，所述偏心轮上固定有连接杆，所述连接杆的底部设有花篮吊架。
2.按照权利要求1所述的硅片开槽机，其特征在于：所述花篮吊架包括底板，所述底板的周边固定有花篮吊件。
3.按照权利要求2所述的硅片开槽机，其特征在于：...

【专利技术属性】
技术研发人员：张运，孙者利，
申请(专利权)人：济南卓微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37