【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶体硅制备装置
，具体涉及一种对硅片进行甩干的硅片甩干装置。
技术介绍
在硅片生产过程中，需要对硅片进行清洗并甩干，现有的甩干设备多为进口设备，其价格高、结构复杂。
技术实现思路
针对上述技术问题，本专利技术提供一种结构简单、使用方便的硅片甩干装置。实现本专利技术的技术方案如下：硅片甩干装置，包括上端开口、下端密封的壳体，壳体内设置有旋转桶，以及驱动旋转桶旋转的驱动机构，所述旋转桶上具有容放硅片的容置腔，旋转桶上开有出水孔，出水孔与容置腔连通，所述容置腔内周壁还设有对硅片进行限位的限位柱。将需要甩干的硅片放置在容置腔中，并由限位柱对硅片进行限位，保证在甩干过程中，硅片不会碰到容置腔内壁，从而起到保护硅片的作用。所述壳体内横向设有分隔板，所述风隔板将壳体分为放置旋转桶的甩干上腔、放置驱动机构的驱动下腔，驱动机构的输出端穿过分隔板伸入甩干腔内。所述分隔板的上端面为锥形面。另外在壳体的侧壁设有排水口，排水口位于分隔板的上方，这样在由旋转桶上出水孔排出的水，就会很快的从排水口中排出。所述驱动机构伸入甩干上腔的输出端设置有旋转盘，所述旋转桶固定设置在旋转盘上。所述限位柱设有四根，其均匀的分布在容置腔内。所述驱动机构为驱动电机。采用了上述方案，在使用本专利技术时，将需要甩干的硅片放置在容置腔内，由容置腔内中的四根限位柱对硅片进行限位保护，在启动驱动电机带...
【技术保护点】
硅片甩干装置，其特征在于：包括上端开口、下端密封的壳体，壳体内设置有旋转桶，以及驱动旋转桶旋转的驱动机构，所述旋转桶上具有容放硅片的容置腔，旋转桶上开有出水孔，出水孔与容置腔连通，所述容置腔内周壁还设有对硅片进行限位的限位柱。
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.硅片甩干装置，其特征在于：包括上端开口、下端密封的壳体，壳体内
设置有旋转桶，以及驱动旋转桶旋转的驱动机构，所述旋转桶上具有容放硅片
的容置腔，旋转桶上开有出水孔，出水孔与容置腔连通，所述容置腔内周壁还
设有对硅片进行限位的限位柱。
2.根据权利要求1所述的硅片甩干装置，其特征在于：所述壳体内横向设
有分隔板，所述风隔板将壳体分为放置旋转桶的甩干上腔、放置驱动机构的驱
技术研发人员：周建国，夏利荣，
申请(专利权)人：常州市立威刀具有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。