【技术实现步骤摘要】
本技术属于靶材制造领域，具体涉及一种靶材生产用的离心甩干机。
技术介绍
镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。其中基板经过制粉、煅烧、烧结之后，制成基板毛料，基板毛料经过平面磨床抛光打磨之后需要进行干燥处理，目前干燥处理采用风枪吹干，工作效率不高，劳动强度大，不适合大批量生产。
技术实现思路
本技术为了解决上述现有技术中存在的问题，本技术提供了一种靶材生产用的离心甩干机，能够极大提高基板的干燥处理进度，适合大批量生产使用。本技术采用的具体技术方案是：一种靶材生产用的离心甩干机，包括基座、风扇筒，风扇筒呈筒形结构，风扇筒包括都为圆环状的上固定盘及下固定盘，上固定盘及下固定盘之间借助竖直设置的扇叶固定，基座下端面固定有电动机，电动机输出轴贯穿基座底面并与风扇筒的下固定盘连接，基座底面还设置有一组多个基板固定座，一组多个的基板固定座围绕风扇筒呈圆环形分布。所述的基座上还设置有壳体，壳体套装在风扇筒及基板固定座外侧，壳体的侧壁上对应基板固定座的位置设置有透气窗。所述的壳体上端面还设置有加热风道，加热风道设置在风扇筒上方，加热风道内设置有加热棒。所述的加热棒借助固定杆悬挂设置在加热风道内，加热棒呈螺旋弹簧状。所述的基板固定座呈U型槽体结构，基板固定座的U型槽体结构的轴线与基板固定座到风扇筒中心连线的...
【技术保护点】
一种靶材生产用的离心甩干机，其特征在于：包括基座(1)、风扇筒，风扇筒呈筒形结构，风扇筒包括都为圆环状的上固定盘(2)及下固定盘(3)，上固定盘(2)及下固定盘(3)之间借助竖直设置的扇叶(4)固定，基座(1)下端面固定有电动机(5)，电动机(5)输出轴贯穿基座(1)底面并与风扇筒的下固定盘(3)连接，基座(1)底面还设置有一组多个基板固定座(6)，一组多个的基板固定座(6)围绕风扇筒呈圆环形分布。
【技术特征摘要】
1.一种靶材生产用的离心甩干机，其特征在于：包括基座(1)、风扇
筒，风扇筒呈筒形结构，风扇筒包括都为圆环状的上固定盘(2)及下固定
盘(3)，上固定盘(2)及下固定盘(3)之间借助竖直设置的扇叶(4)固
定，基座(1)下端面固定有电动机(5)，电动机(5)输出轴贯穿基座(1)
底面并与风扇筒的下固定盘(3)连接，基座(1)底面还设置有一组多个
基板固定座(6)，一组多个的基板固定座(6)围绕风扇筒呈圆环形分布。
2.根据权利要求1所述的一种靶材生产用的离心甩干机，其特征在于：
所述的基座(1)上还设置有壳体(7)，壳体(7)套装在风扇筒及基板固
定座(6)外侧，壳体(7)的侧壁上对应基板固定座(...
【专利技术属性】
技术研发人员：崔娜，朱辉，闫丽娜，张卫，康林杰，郄奕，
申请(专利权)人：河北东同光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13
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